关于上海证券交易所
《关于上海盛剑科技股份有限公司向不特定对象发行可转换
公司债券申请文件的审核问询函》
有关财务问题回复的专项说明
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关于上海证券交易所
《关于上海盛剑科技股份有限公司向不特定对象发行可转
换公司债券申请文件的审核问询函》
有关财务问题回复的专项说明
中汇会专20250220 号
上海证券交易所：
由上海盛剑科技股份有限公司(以下简称“盛剑科技”、“发行人”或“公司”)转
来的贵所于 2024 年 12 月 29 日下发的《关于上海盛剑科技股份有限公司向不特
定对象发行可转换公司债券申请文件的审核问询函》(上证上审(再融
资)2024306 号，以下简称问询函)奉悉。我们作为盛剑科技公司向不特定对象发
行可转换公司债券的申报会计师，对问询函中需要我们回复的财务问题进行了审
慎核查。现就问询函有关财务问题回复如下:
注 1：报告期指 2021 年度、2022 年度及 2023 年度和 2024 年 1-9 月。其中：
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问题1：关于本次募投项目必要性
根据申报材料，1）本次募投项目为“国产半导体制程附属设备及关键零部
件项目”的一期子项目，计划生产产品主要包括工艺废气处理设备、真空设备以
及温控设备，并提升运维服务规模；报告期内，公司已开展工艺废气处理设备的
生产，最近一年一期的产能利用率较低，主要系产品预计销量未实现。2）项目
实施主体为公司控股子公司盛剑半导体，盛剑半导体原为公司全资子公司，2023
年9月通过增资扩股引入外部投资者榄佘坤企管及盛剑半导体员工持股平台勤顺
聚芯、勤顺汇芯，增资完成后，公司直接持有盛剑半导体股份的比例为85.11%；
本次募投项目的建设资金拟由公司单方面以股东借款的形式投入盛剑半导体。3）
建设项目”相关内容及募集资金拟投入金额。
请发行人说明：
（1）本次募投项目的具体内容，结合募投项目相关产品在报
告期内的生产及销售情况、产能利用率情况及其波动原因、市场竞争情况等，进
一步说明公司开展本次募投项目的主要考虑及必要性；
（2）结合公司现有产品结
构及收入情况，分析本次募投项目是否涉及新产品或新业务，与公司现有业务的
协同效应，在原材料、技术、工艺、应用领域、下游客户等方面的区别与联系，
公司是否已具备实施本次募投项目的相关能力，目前产品研发及验证测试进度，
是否存在技术障碍，是否具有明确的销售渠道及商业化安排，本次募集资金是否
符合投向主业要求；
（3）结合本项目拟生产产品或提供服务的细分市场空间及发
展情况、上下游供需情况、同行业公司产能建设情况、发行人市场占有率、客户
验证进展或预计订单情况等，说明本项目新增产能规模的合理性及具体产能消化
措施；
（4）结合盛剑半导体业务开展具体情况，分析本次通过盛剑半导体实施募
投项目的背景，前期引入榄佘坤企管及员工持股平台的原因及合理性，对本次实
施募投项目的具体影响，上述机构的股权结构及股东情况，与公司的具体关系，
是否存在退出安排、是否实缴出资，未同比例提款借款的主要考虑；
（5）前次募
集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例是否超过
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请保荐机构对上述事项进行核查并发表明确意见。请保荐机构及发行人律师
结合《监管规则适用指引―发行类第6号》第8条对问题（4）进行核查并发表明
确意见。请申报会计师对问题（5）进行核查并发表明确意见。
【回复】
一、前次募集资金投向变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的
比例是否超过30%
（一）公司前次募集资金投向变更前用于非资本性支出占募集资金总额的比
例为59.61%，相关比例已超过30%
根据公司**公开发行招股说明书披露内容，公司前次募集资金非资本性支
出合计为36,700.50万元（包括补充流动资金27,758.99万元），占募集资金总额比
例为59.61%，具体情况如下：
单位：万元
环保装备智能 新技术研发 上海总部运营**
制造项目 建设项目 建设项目
补充流动
类别 项目 募集资
募集资金 募集资金 资金
占比 占比 金投资 占比
投资金额 投资金额
金额
资本性 工程建
支出 设费用
工程建
设其他 3,290.45 2,158.11 527.42
费用
非资本
基本预 47.48% 20.12% 15.88% 27,758.99
性支出 197.40 232.96 74.32
备费
铺底流
动资金
合计 12,528.27 100.00% 11,881.25 100.00% 3,790.36 100.00% 27,758.99
因此，公司前次募集资金投向变更前募集资金用于非资本性支出占募集资金
总额的比例超过30%。
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（二）公司前次募集资金投向变更后用于非资本性支出占募集资金总额的比
例为60.78%，相关比例与前次募集资金投向变更前比例差异不大
公司于2022年2月25日召开2022年**次临时股东大会，审议通过《关于调
整部分募集资金投资项目实施内容及募集资金投入计划的议案》，同意公司调整
环保项目实施内容及相应总投资金额、调整环保项目及“新技术研发建设项目”
的募集资金拟投入金额。公司“环保装备智能制造项目”的总投资金额由22,566.14
万元调整为13,100.27万元，原计划投入募集资金12,528.27万元减少至9,228.27万
元，减少3,300.00万元；
“新技术研发建设项目”的总投资金额不变，原计划投入
募集资金11,881.25万元增加至15,181.25万元，增加3,300.00万元。
截至2023年7月，公司前次募集资金投资项目已**建设完毕，达到可使用
状态。
截至前次募集资金账户注销之日，公司前次募集资金投向变更后用于非资本
性支出占募集资金总额的比例为60.78%（考虑前次募集资金投资项目结余资金全
部为非资本性支出），相关比例与前次募集资金投向变更前比例差异不大，具体
如下：
单位：万元
环保装备智能 新技术研发 上海总部运营**
制造项目 建设项目 建设项目 结项转
募集资 **补 补充流动
类别 项目 募集资金 募集资金
金实际 充流动 资金
占比 实际使用 占比 实际使用 占比
使用金 资金
金额 金额
额
资本性 工程建
支出 设费用
工程建
设其他 800.11 2,654.34 540.19
费用
非资本
基本预 24.11% 20.62% 15.89% 4,729.47 27,758.99
性支出 59.00 291.05 71.11
备费
铺底流
动资金
合计 4,851.48 100.00% 15,276.45 100.00% 3,847.39 100.00% 4,729.47 27,758.99
综上所述，公司前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本
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性支出占募集资金总额的比例均超过30%，变更前后实际募集资金非资本性支出
占比相差不大。
二、中介机构核查情况
申报会计师核查程序及核查意见
针对问题（5），申报会计师履行了如下核查程序：
查阅发行人前次募集资金银行账户银行存款日记账，分析前次募集资金投向
变更前后，实际用于非资本性支出占募集资金总额的比例。
前次募集资金投向变更前后，实际募集资金投资用于非资本性支出占募集资
金总额的比例均超过30%，变更前后实际募集资金非资本性支出占比无重大差
异。
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问题2：关于融资规模和效益测算
根据申报材料，1）发行人本次募集资金不超过5亿元，其中用于“国产半导
体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”3.5亿元、用于补充公司流动资金1.5
亿元。2）本次募投项目建成且达产后，预计内部收益率为12.16%。
请发行人说明：
（1）建筑工程费、设备购置及安装费等具体内容及测算过程，
建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，建筑单价、设备单价以及安装费
与公司已投产项目是否存在明显差异；
（2）本次募投项目实质上用于补流的规模
及比例，是否存在置换董事会前投入的情形；
（3）结合公司资产负债情况、现有
资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本次融资规模的合理性；
（4）效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程及依据，与公司现
有水平及同行业可比公司的对比情况。
请保荐机构及申报会计师根据《监管规则适用指引―发行类第7号》第5条、
《证券期货法律适用意见**8号》第5条进行核查并发表明确意见。
【回复】
一、本次募投项目建筑工程费、设备购置及安装费等具体内容及测算过程，
建筑面积、设备购置数量的确定依据及合理性，建筑单价、设备单价以及安装费
与公司已投产项目是否存在明显差异
本次募集资金投资项目“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一
期）”建设内容主要包括购置土地、投资建设新厂房、引进先进的生产设备及生
产系统等，拟通过建造高度自动化的生产线，打造先进国产半导体制程附属设备
平台，建设国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地，以进一步扩大设备
及关键零部件产品的生产能力，并同步提升运维服务能力。
本次募集资金投资项目的建设总投资为46,203.51万元，其中建筑工程费
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单位：万元
募集资金拟使 募集资金拟使 是否为资
序号 项目名称 投资总额
用金额 用金额占比 本性支出
合计 46,203.51 35,000.00 100.00% -
（一）本次募投项目建筑工程费具体内容、测算过程、建筑面积确定依据及
合理性、建筑单价与公司已投产项目是否存在明显差异
本次募投项目拟投资建设四幢建筑物，分别为主厂房1幢、宿舍楼及食堂1
幢、门卫室1幢和配电所1幢，总建筑面积为47,050平方米。
本 次募投项目计划场 地建设 投资共 28,725.81 万元，其中土地购 置费为
置费主要包括土地出让合同款及相关契税、印花税，场地建造费主要内容为工程
建设投入和工程建设其他费用，场地装修费主要包括洁净室装修和一般装修。
本次募投项目场地建造费中各项费用根据向相关单位询价、公司历史建设经
验并依据工程量大小及计费标准测算得出，具体如下：
序号 项目 金额（万元）
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序号 项目 金额（万元）
合计 22,985.51
本次募投项目场地装修费主要包括洁净室装修和一般装修投入，具体如下：
序号 工程名称 面积（平方米） 总金额（万元） 单价（万元/平方米）
本次募投项目主厂房内部规划有测试间，用于产品测试，规划面积为5,000
平方米，装修标准较高，为洁净室级别装修标准，因此装修单价按照2,500元/平
方米测算；主厂房内部规划有其他公共区域4,000平方米，外加厂区内规划有宿
舍区6,608平方米，装修标准为一般装修，装修单价按照1,000元/平方米测算。
本项目拟建设厂区的具体面积规划如下：
序号 建筑名称 建筑面积(平方米) 建设用途
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序号 建筑名称 建筑面积(平方米) 建设用途
总建筑面积 47,050 -
本项目的建筑面积依据拟建设产能生产工艺所须产线设备的占地面积、生产
流程的布局、生产经营所必须的配套设施面积等综合考虑对所需场地面积的需
求，并考虑容积率、绿地率等多方面的要求进行规划，**确定建设规划以及厂
房设计图，建筑面积能够满足生产需求，具备合理性。
（1）本次募投项目建设及装修单价与公司已投产项目比较情况
单位：万元/平方米
本次募投项目（位于嘉定区） 公司总部大厦（位于嘉定区）
建设和装修合计 建设和装修合
建设单价 装修单价 建设单价 装修单价
单价 计单价
本次募投项目建设用地和公司总部大厦均位于上海市嘉定区，本次募投项目
建设设施和公司总部大厦均为混凝土结构。本次募投项目建设及装修单价与公司
同在嘉定区的总部大厦的建设及装修单价数据接近，差异较小。
（2）本次募投项目建设及装修单价与上海地区同类型项目比较情况
建设单价
融资 总建设面积 建设投资
公司简称 项目名称 地点 （万元/平
类型 （平方米） （万元）
方米）
单片湿法工艺模
组、核心零部件
至纯科技 再融资 上海 48,700.65 28,765.00 0.59
研发及产业化项
目
上海临港研发及
芯源微 再融资 上海 53,644.75 26,360.90 0.49
产业化项目
中微临港产业化
上海 180,000.00 140,000.00 0.78
基地项目
中微公司 再融资
中微临港总部和
上海 105,000.00 108,000.00 1.03
研发**项目
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雅创汽车电子总
雅创电子 再融资 上海 28,500.00 24,400.00 0.86
部基地项目
碳化硅半导体材
天岳先进 IPO 上海 92,998.46 86,000.00 0.92
料项目
同行业上市公司在上海地区的募投项目的建设单价在0.49万元/平方米至
（二）本次募投项目设备购置及安装费具体内容、测算过程、设备购置数量
的确定依据及合理性、设备单价及安装费与公司已投产项目是否存在明显差异
公司本次募投项目产品的工艺原理为通过机加工、预组装、总装以及测试等
工序，**制造成符合客户要求的半导体附属装备以及核心零部件，故本项目中
拟购置的软硬件设备主要用于产线搭建和生产管理。
本次募集资金投资项目计划投入软硬件设备购置费（含安装费）9,709.00万
元，其中硬件设备购置及安装共计投资9,439.00万元，软件购置及安装共计投资
序 单 数 单价 总金额
设备名称 品牌/型号
号 位 量 （万元） （万元）
硬件设备合计 9,439.00
车削加工** 机器人自动
线
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软件合计 270.00
软硬件总计 9,709.00
本次募集资金投资项目设备数量根据项目产能规划、生产工艺流程需要及历
史项目生产经验等拟定；公司针对单价高于100万的设备进行了市场询价，询价
设备总投资占本次软硬件投资总额的66.80%。其他单价较低的设备参照相同或类
似规格/型号设备的市场价格并结合公司历史采购经验得出。
本次募集资金投资项目中工艺废气处理设备生产产线的募集资金投入是新
购高度自动化设备并利用公司部分现有设备进行新产线建造，进一步提高产品生
产工艺精度、生产工艺智能化及丰富产品型号，主要购置设备与已投产项目购置
的设备是互补关系，暂不存在可比性；本次募投项目的真空设备和温控设备生产
设备为新购置的生产产线，暂不存在可比性。
从单位产能设备投资金额角度分析，本项目募集资金投资项目投资强度与现
有产线的对比情况如下：
单位产能设备投
项目 主要产品 投资额（万元）
资（万元/台）
工艺废气处理设备（等离子水洗式单
现有产线 1,744.12 2.96
腔、电加热水洗式单腔）
（1）工艺废气处理设备（电加热水
洗式单腔；等离子水洗式单、双腔；
燃烧水洗式双腔）
本次募投项目 11,453.12 3.69
（2）真空设备
（3）温控设备
（4）运维所需零部件
注：本次募投项目为技改项目，原有产线设备将迁入本项目，表中投资额包括本次募投
项目技改投资9,709.00万元以及历史产线设备原值对应投资额1,744.12万元。
本次募集资金投资的项目主要产品与现有产线存在显著差异。具体而言，工
艺废气处理设备将从现有型号升级为更复杂、附加值更高的新型号，如燃烧水洗
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式双腔和等离子水洗式双腔等。同时，真空设备和温控设备均为全新产品，产品
和机型的变化导致本项目的生产设备与现有产线存在较大差异。此外，本次募集
资金投资项目实施后，生产运维所需的零部件未纳入本项目的整机产能计算中，
从而进一步增加了单位产能设备投资额。
本次募投项目实施后将作为公司国产半导体制程附属设备及关键零部件的
研发平台，为工艺废气处理设备、真空设备和温控设备等产品的产业化及新产品
的研发提供保障，因此公司本次募投项目选取的产线生产设备生产精度和自动化
程度较高，相应设备价格更高。
综上所述，由于本次募投项目产品种类、生产设备类型和工艺流程等方面存
在明显差异，致使设备单价与公司现有产线存在**差异；而零部件运维对产能
的占用，使得本项目的单位产能设备投资额高于公司现有产线，具备合理性。
二、本次募投项目实质上用于补流的规模及比例，是否存在置换董事会前投
入的情形
（一）本次募投项目实质上用于补流的规模及比例
本次向不特定对象发行可转换公司债券募集资金总额不超过50,000.00万元
（含50,000.00万元），扣除发行费用后，募集资金拟用于以下项目：
单位：万元
序 拟使用募集资 募集资金用于 募集资金用于
项目名称 投资总额
号 金投入金额 资本性支出 非资本性支出
国产半导体制程附属
目（一期）
合计 61,203.51 50,000.00 35,000.00 15,000.00
本次向不特定对象发行可转债募集的资金中实质上用于补流的规模为
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（二）本次募投项目是否存在置换董事会前投入的情形
本次募投项目中的“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）”
于董事会前投入的资金为3,429.50万元（土地购置费），该费用未列入本次募集资
金投资构成中。公司未来也不会将董事会前投入的资金土地购置费3,429.50万元
进行置换。
因此，公司不存在置换董事会前投入资金的情形。
三、结合公司资产负债情况、现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本
性支出等，说明本次融资规模的合理性
（一）公司资产负债情况
报告期内，公司合并口径的资产负债率为38.35%、45.19%、53.76%及55.62%，
公司正处于快速发展阶段，债务融资规模的逐渐扩大，使得资产负债率逐步提升。
截至2024年9月，公司短期借款余额42,693.84万元，一年内到期的非流动负债余
额3,858.79万元，长期借款余额25,342.34万元，公司有息负债超过7亿元。
本次募投项目补充流动资金可以**财务风险和经营风险，优化财务结构，
有效避免因资金期限错配问题造成的偿债压力，有利于保障公司现有项目和在建
项目顺利开展，以更低的成本扩大规模，实现公司的长期发展战略。
（二）结合现有资金规模、未来现金流入净额、各项资本性支出等，说明本
次融资规模的合理性
考虑到公司未来三年预计经营活动现金流量净额、现金分红以及满足公司日
常经营等需要，公司未来三年存在资金缺口合计约为 52,689.00 万元，具体测算
如下：
单位：万元
资金用途 计算公式 金额
截至 2024 年 9 月 30 日货币资金余额 ① 32,007.02
截至 2024 年 9 月 30 日银行承兑汇票保证金等受限资金 ② 14,948.60
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截至 2024 年 9 月 30 日可自由支配资金 ③=①-② 17,058.42
未来三年预计经营活动现金流量净额 ④ 0
未来三年预计现金分红金额 ⑤ 5,211.43
**货币资金保有量 ⑥ 44,262.58
已审议投资项目资金需求（不含本次募投项目） ⑦ 20,273.41
总体资金需求合计 ⑧=⑤ ⑥ ⑦ 69,747.42
总体资金缺口/剩余（缺口以负数表示） ⑨=③ ④-⑧ -52,689.00
在财务管理实践中企业通常会考虑其现金流的稳定性和可持续性，为了能应
对可能的经营风险、市场波动或突发的资金需求，企业会倾向于保持**水平的
现金储备。
如选取公司最近一期各月平均经营性现金流出金额的三倍作为**货币资
金保有量，根据计算结果，公司**货币资金保有量为 44,262.58 万元。
如选取公司最近一期各月末**货币资金余额的三倍作为**货币资金保
有量，根据计算结果，公司**货币资金保有量为 44,430.32 万元。
如选取以最近一年年度付现成本及货币资金周转次数进行测算**货币资
金保有量，根据计算结果，公司**货币资金保有量为 76,744.45 万元。
基于谨慎性原则，公司选取上述三种测算结果中**值作为**货币资金保
有量测算结果，即 44,262.58 万元。
三个月的经营活动现金流出在实践中通常被认为能够覆盖企业短期内的大
部分运营成本和潜在的紧急支出，从而为企业提供**的财务缓冲，结合公司日
常经营活动现金需求量较大的情况，公司选取最近一期各月平均经营性现金流出
金额的三倍作为**货币资金保有量具有合理性。
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影响较大，使得公司 2021 年至 2023 年平均经营活动现金流量净额存在小于零的
情形。公司预计未来业务发展将保持稳健，基于资金缺口测算谨慎性原则，预计
未来三年经营活动现金流量净额合计为 0。
根据《公司章程》，公司每年以现金方式分配的利润不少于当年实现的可供
分配利润的 10%。根据公司最近一年归属于上市公司股东的净利润为基础进行计
算，假设公司未来三年归属于上市公司股东的净利润保持不变，则公司未来三年
预计归属于上市公司股东的净利润合计 52,114.32 万元。
假设公司未来三年现金分红比例为 10%，公司未来三年预计现金分红金额为
公司于 2022 年 8 月 23 日召开第二届董事会第十四次会议，审议通过《关于
投资电子专用材料研发制造及相关资源化项目的议案》，公司拟在合肥新站区管
委会辖区内购置土地投资建设“上海盛剑电子专用材料研发制造及相关资源化项
目”，项目总投资 3 亿元。
截至 2024 年 9 月 30 日，该项目已投入资金 9,726.59 万元，尚需投入资金
近年来，公司业务持续快速发展。随着业务规模的迅速扩大，公司仅依靠内
部经营积累和间接融资已经较难满足业务持续快速扩张对资金的需求。本次公司
拟将募集资金中的 15,000.00 万元用于补充流动资金，符合公司所处行业发展现
状及公司业务发展需求。“补充流动资金”项目实施后，公司营运资金需求将得
到有效满足，资产结构更加稳健，可提升抗风险的能力，保障公司的持续稳定发
展，具备必要性和合理性。
综上所述，报告期内公司资产负债率逐步提升。截至 2024 年 9 月，公司有
息负债超过 7 亿元；同时，根据公司现有资金规模、未来现金流入净额、各项资
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本性支出等进行合理测算，公司未来三年存在资金缺口合计约为 52,689.00 万
元。本次募投项目实施后，可以**公司财务风险和经营风险，故本次募集资金
投资项目融资规模具有合理性。
四、本次募投项目效益预测中产品价格、成本费用等关键指标的预测过程及
依据，与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况
（一）本次募投项目收入预测过程
本次募投项目测算期为10年，收入主要来源于半导体附属装备及核心零部件
产品的生产及销售，以及后续运维服务收入，主要产品包括工艺废气处理设备、
真空设备和温控设备等多个系列的产品。
营业收入的预测系根据各系列产品每年的销售情况、产能释放情况与各系列
产品的预测综合单价等因素确定。
本次募投项目达产后可实现1,600台工艺废气处理设备、1,200台真空设备和
务能力和400套真空设备运维服务能力规划。
本次募投项目中，预测销售数量按照当年产量即为当年销量进行假设，预测
产品单价基于公司历史同类产品的单价数据、竞争对手的公开数据、券商研究报
告数据、未来市场竞争预测等综合确定。本次募投项目营业收入预测如下：
产品类型 项目 **年 第二年 第三年 第四年 第五年
总收入（万元） - 17,889.47 30,227.65 48,202.99 60,591.34
总收入（万元） - 15,475.66 24,262.67 38,108.89 46,551.01
工艺废气
（1）产品收入（万元） - 15,077.43 23,316.87 36,311.88 43,990.26
处理设备
（2）运维收入（万元） - 398.23 945.80 1,797.01 2,560.74
总收入（万元） - 1,486.73 3,716.81 6,823.01 9,809.73
真空设备
（1）产品收入（万元） - 1,486.73 3,716.81 6,769.91 9,557.52
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（2）运维收入（万元） - - - 53.10 252.21
温控设备 产品收入（万元） - 927.08 2,248.17 3,271.08 4,230.60
产品类型 项目 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
总收入（万元） 61,501.20 63,083.39 64,498.06 64,498.06 64,498.06
总收入（万元） 47,233.87 48,612.40 49,844.98 49,844.98 49,844.98
工艺废气
（1）产品收入（万元） 43,990.26 43,990.26 43,990.26 43,990.26 43,990.26
处理设备
（2）运维收入（万元） 3,243.61 4,622.14 5,854.71 5,854.71 5,854.71
总收入（万元） 10,036.73 10,240.39 10,422.48 10,422.48 10,422.48
真空设备 （1）产品收入（万元） 9,557.52 9,557.52 9,557.52 9,557.52 9,557.52
（2）运维收入（万元） 479.20 682.87 864.96 864.96 864.96
温控设备 产品收入（万元） 4,230.60 4,230.60 4,230.60 4,230.60 4,230.60
注：以上所示**年为 2024 年，第二年为 2025 年，以此类推，下同。
（1）工艺废气处理设备销售收入
产品类型 项目（不含税） **年 第二年 第三年 第四年 第五年
产品收入（万元） - 15,077.43 23,316.87 36,311.88 43,990.26
工艺废气
销量（台） - 480.00 800.00 1,280.00 1,600.00
处理设备
综合单价（万元/台） - 31.41 29.15 28.37 27.49
产品类型 项目（不含税） 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
产品收入（万元） 43,990.26 43,990.26 43,990.26 43,990.26 43,990.26
工艺废气
销量（台） 1,600.00 1,600.00 1,600.00 1,600.00 1,600.00
处理设备
综合单价（万元/台） 27.49 27.49 27.49 27.49 27.49
公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了工艺废气处理设备产品
的销售计划。**年项目建设，第二年产线完成技改并投产开始贡献收入。基于
谨慎性考虑，预计第二年产能释放率为30%，第三年为50%，第四年为80%，第
五年**达产为100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，产能按照逐步释放，
具备合理性。
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工艺废气处理设备产品机型包括电加热水洗式、等离子水洗式、燃烧水洗式
等多种类型，面向 CVD 工艺和 ETCH 工艺等不同工艺制程的多领域客户，由于
技术差异，产品单价各有不同。
故采用以下方式测算未来工艺废气处理产品的综合单价：
A、已有机型基于公司历史产品价格，新机型综合考虑本次募投项目产品特
点、相关客户市场需求、产品成本等因素进行定价，确定各类机型产品**年的
预计销售价格，价格区间在**18万至**70万（含税价）之间；
B、以**年的价格为基准，考虑销售规模逐年放大及国产替代加速等因素，
按照第二年至第五年，**机型单价按照每年同比下降6%、6%、3%、3%预测
未来每年的单价，至第五年本次募投项目满产后，单价稳定；
C、根据下游主要客户未来2-3年内的项目投资计划，预测主要客户对不同机
型的采购量，以及公司能够获取的市场份额，根据各自机型预测目标销量/总销
量得出未来2-3年不同机型的产品结构权重，根据该权重*单价，计算出工艺废气
处理设备产品的综合平均单价。
（2）工艺废气处理设备运维收入
产品类型 项目（不含税） **年 第二年 第三年 第四年 第五年
运维收入（万元） - 398.23 945.80 1,797.01 2,560.74
工艺废气
运维量（套） - 90.00 225.00 450.00 675.00
处理设备
运维单价（万元/套） - 4.42 4.20 3.99 3.79
产品类型 项目（不含税） 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
运维收入（万元） 3,243.61 4,622.14 5,854.71 5,854.71 5,854.71
工艺废气
运维量（套） 900.00 1,350.00 1,800.00 1,800.00 1,800.00
处理设备
运维单价（万元/套） 3.60 3.42 3.25 3.25 3.25
工艺废气处理设备运行过程中存在损耗，需要定期进行维修保养，公司提供
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**质保期限内的运维服务，超出质保期后，客户仍存在运维需求，公司为客户
提供的运维服务会形成收入。
随着公司工业废气处理设备销售量不断积累，预计本次募投项目测算期内运
维量会持续增加，从第二年的90套逐步提升至第八年的1,800套。
基于同类产品市场报价及公司获取合理利润的定价，确定第二年运维单价为
（1）真空设备产品收入
产品类型 项目（不含税） **年 第二年 第三年 第四年 第五年
产品收入（万元） - 1,486.73 3,716.81 6,769.91 9,557.52
真空设备 销量（台） - 240.00 600.00 900.00 1,200.00
综合单价（万元/台） - 6.19 6.19 7.52 7.96
产品类型 项目（不含税） 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
产品收入（万元） 9,557.52 9,557.52 9,557.52 9,557.52 9,557.52
真空设备 销量（台） 1,200.00 1,200.00 1,200.00 1,200.00 1,200.00
综合单价（万元/台） 7.96 7.96 7.96 7.96 7.96
公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了真空设备产品的销售计
划。**年项目建设，第二年真空设备产线投产并贡献收入。基于谨慎性考虑，
预计第二年产能释放率为20%，第三年为50%，第四年为75%，第五年**达产
为100%。随着公司在行业内竞争力不断提升，产能按照逐步释放，具备合理性。
真空设备可用于半导体领域和光伏领域，产品单价不同，半导体专用真空设
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备对技术要求较高，其产品对应单价亦高于光伏领域专用真空设备。
根据公司的产品规划，公司第二年率先开始量产光伏领域用真空设备，项目
第二年产品单价为6.19万元/台，随后开始量产半导体领域用真空设备，并且随着
半导体领域真空设备销售比重的提升，预计产品综合单价也会不断提高，基于谨
慎性考虑，预计第五年真空设备实现价格稳定，为7.96万元/台。
（2）真空设备运维服务收入
产品类型 项目（不含税） **年 第二年 第三年 第四年 第五年
运维收入（万元） - - - 53.10 252.21
真空设备 运维量（套） - - - 20.00 100.00
运维单价（万元/套） - - - 2.65 2.52
产品类型 项目（不含税） 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
运维收入（万元） 479.20 682.87 864.96 864.96 864.96
真空设备 运维量（套） 200.00 300.00 400.00 400.00 400.00
运维单价（万元/套） 2.40 2.28 2.16 2.16 2.16
真空设备运行过程中存在损耗，需要定期进行维修保养，公司提供**质保
期限内的运维服务，超出质保期后，客户仍存在运维需求，公司为客户提供的运
维服务会形成收入。
随着公司真空设备销售量不断积累，预计本次募投项目测算期内运维量会持
续增加，基于谨慎考虑，预计第四年开始出现真空设备运维需求，为20套，至第
八年逐步提升至400套。
基于同类产品的市场报价及公司获取合理利润的定价，确定第四年运维单价
为2.65万元/套，并基于谨慎性原则，假设第五年至第八年，按照每年服务单价有
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温控设备收入测算过程及关键数据如下：
产品类型 项目（不含税） **年 第二年 第三年 第四年 第五年
产品收入（万元） - 927.08 2,248.17 3,271.08 4,230.60
温控设备 销量（台） - 60.00 150.00 225.00 300.00
综合单价（万元/台） - 15.45 14.99 14.54 14.10
产品类型 项目（不含税） 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
产品收入（万元） 4,230.60 4,230.60 4,230.60 4,230.60 4,230.60
温控设备 销量（台） 300.00 300.00 300.00 300.00 300.00
综合单价（万元/台） 14.10 14.10 14.10 14.10 14.10
（1）产品销量测算过程
公司根据预计市场拓展情况、项目投入进度等确定了项目产品的销售计划。
**年项目建设，第二年温控设备产线投产并贡献收入。基于谨慎性考虑，预计
第二年产能释放率为20%，第三年为50%，第四年为75%，第五年完成达产为
（2）产品单价测算过程
预计第二年开始量产温控设备，单价为15.45万元/台，基于谨慎性考虑，并
考虑到销售规模放大及国产替代加速等因素，第三年至第五年期间按照每年单价
**3%，第五年达产后温控设备价格稳定，为14.10万元/台。
综上所述，本次募投产品及服务测算过程中公司充分考虑了下游客户需求规
划、未来产品结构等多方面的情况，单价测算体现出合理性。对于新机型、新产
品及新业务，均按照相对**的节奏规划产能的释放，并充分考虑了规模效益和
国产替代带来的产品单价保守性下调因素，测算过程具有谨慎性。
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（二）本次募投项目成本费用预测过程
本次募投项目成本费用预测过程如下：
单位：万元
序号 项目 **年 第二年 第三年 第四年 第五年 第六年 第七年 第八年 第九年 第十年
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（1）材料费
本次募投项目材料费参照2022-2023年公司工艺废气处理设备业务的材料费
占收入的比重水平，基于谨慎性原则，按照未来毛利率有所下降、材料费占收入
比重有所提升考虑，按照57.5%的收入占比测算未来材料费。
（2）生产、运维人工费
本次募投项目人工费主要包括生产人工费和质保期之外的运维人工成本。计
算期工资及福利参考公司现有岗位人员工资福利水平并考虑每年5%的上浮计
算。
（3）折旧与摊销
本次募投项目折旧按平均年限法计算，房屋及建筑物折旧年限按20年计算，
残值率为5%；机器设备折旧年限按10年计算，残值率为5%，其他机器设备折旧
年限按5年计算，残值率为5%。土地使用权按20年摊销，残值率为0%；软件按5
年摊销，残值率0%，装修是产线的重要组成部分，与产线折旧年限保持一致，
按10年摊销，残值率为0%。
（4）其他费用
本次募投项目其他费用包括燃料及动力、加工费、通讯费、办公费、修理费
等其他费用，参照2022-2023年公司工艺废气处理设备业务的其他费用占收入的
比重水平，基于谨慎性原则，按照0.6%的收入占比测算未来其他费用。
（1）销售费用：参考公司2023年的销售费用率数据，按本次募投项目预测
营业收入的同等比例计算销售费用，并与本次募投项目可测算的销售费用（本项
目销售、分摊质保期内运维人员工资）比较，取孰高值。
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（2）管理费用：参考公司2023年的管理费用率数据，按本次募投项目预测
营业收入的同等比例计算管理费用，并与本次募投项目可测算的管理费用（本项
目管理人员工资、土地使用权摊销）比较，取孰高值。
（3）研发费用：基于谨慎性原则，考虑到新机型、新设备的研发投入较大，
本次募投项目研发费用率取13%（高于公司2023年的研发费用率数据5.59%），按
本次募投项目预测营业收入的同等比例计算研发费用，并与本次募投项目可测算
的研发费用（本项目研发人员工资）比较，取孰高值。
城市维护建设税按免抵税额与实际缴纳流转税税额的7%计缴；教育费附加
按免抵税额与实际缴纳流转税税额的5%计缴；地方教育费附加按免抵税额与实
际缴纳流转税税额的2%计缴；企业所得税税率按15%测算。
（三）本次募投项目与公司现有水平及同行业可比公司的对比情况
（1）工艺废气处理设备
公司本次募投项目与现有同类产品的单价和型号情况比较如下：
单位：万元/台
公司本次募投项目 公司现有同类产品
项目
建设第二年 建设达产年 2022 年度 2023 年度
工艺废气处理设备
平均单价
该机型在该期
单腔电加热
是 是 间非主要出货
水洗式
机型
是否为当 单腔等离子
是 是 是
年主要出 水洗式
货机型 双腔等离子 是，该机型为本次募投项目
该机型在该期间未生产销售
水洗式 拟量产的新机型
双腔燃烧水 是，该机型为本次募投项目
该机型在该期间未生产销售
洗式 拟量产的新机型
公司工艺废气处理设备细分类型包括燃烧水洗式、等离子水洗式、电加热水
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洗式等不同机型，在技术指标、适用场景等方面对比情况如下：
项目 技术指标 适用场景
可覆盖半导体的刻蚀工艺、薄膜工艺、
废气处理量 400-1600slm；废气
燃烧水洗式 扩散工艺，具体依据客户厂务条件及制
处理效率>99%
程选择
主要覆盖半导体的刻蚀工艺，在薄膜工
废气处理量 400-800slm；废气处
等离子水洗式 艺、扩散工艺也开始应用，具体依据客
理效率>99%
户厂务条件及制程选择
废气处理量 600-800slm；废气处 主要覆盖半导体的薄膜工艺、扩散工艺，
电加热水洗式
理效率>99% 具体依据客户厂务条件及制程选择
工艺废气处理设备不同技术路线类型之间的主要区别是产生高温环境的能
量方式不同，相互之间不存在迭代或替代关系。
本次募投项目拟扩产的工艺废气处理设备达产年单价为27.49万元/台，高于
价之间的差异主要是因为产品结构变化导致。2022年公司主要出货机型是单腔电
加热水洗式和单腔等离子水洗式，2023年由于下游需求的变化，主要出货机型为
单价更高的单腔等离子水洗式，单价相对较低的单腔电加热水洗式机型出货量较
少。
本次募投项目中拟扩产的工艺废气处理设备机型覆盖了单腔等离子水洗式、
单腔电加热水洗式、双腔等离子水洗式、双腔燃烧水洗式等多种机型。双腔机型
的售价通常更贵，预计双腔机型出货量占比提升将抬升公司未来产品的平均单
价，故第二年产品单价高于公司产品的历史均价，而基于谨慎性原则，考虑销售
规模放大及国产替代加速等因素，按照第二年至第五年，各类机型单价同比下降
根据京仪装备公告资料，其2022年工艺废气处理设备单价55.33万元/台，收
入结构中双腔燃烧水洗式63.13%、单腔燃烧水洗式收入占比24.05%、单腔等离
子水洗式收入占比12.45%，其他类型收入占比0.36%。与同行可比公司京仪装备
相比，本次募投项目拟扩产的工艺废气处理设备单价低于京仪装备产品单价，主
要是因为机型不同，不具备可比性。
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（2）温控设备
温控设备属于公司新开发的半导体附属设备，无历史单价数据，本次募投项
目之温控设备的预测单价如下：
单位：万元/台
公司本次募投项目
项目
第二年 达产年
温控设备平均单价 15.45 14.10
按照技术路线划分，市场中半导体专用温控设备可以分为热交换器类型（覆
盖＞20℃温度区间）、单级压缩类型（覆盖-45℃至120℃温度区间）、复叠类型（覆
盖-120℃至40℃温度区间）、热电类型（覆盖-10℃至80℃温度区间）。
项目 技术指标 适用场景 单价
温控区间：20℃~120℃
半导体工艺制程对温度区间为
热交换器 温控精度：±0.05℃~±0.2℃（空载） 约 10 万元
制冷能力：6-30kW
温控区间：-45℃~90℃ 半导体工艺制程对温度区间为
单级压缩 温控精度：±0.05℃~±0.2℃（空载） -45℃~-20℃及-20℃以上的情 约 20 万元
制冷能力：3-28kW 况下适用
温控区间：-70℃~40℃
半导体工艺制程对温度区间为
复叠 温控精度：±0.1℃~±0.2℃（空载） 约 40 万元
-70℃以上的情况下适用
制冷能力：3-15kW
温控区间：-10℃至 80℃ 半导体工艺制程对温度区间为
热电类型 约 20 万元
温控精度：±0.01℃到±0.1℃之间 20℃以上的情况下适用
半导体专用温控设备不同技术路线类型的主要参数区别是温度范围不同，相
互之间不存在迭代或替代关系，此外相关产品根据通道数量的不同还进一步细分
为单通道、双通道、三通道等多种类型，不同类型的技术指标和适用场景如下：
项目 技术指标 适用场景
温控区间：-70℃~120℃
温控精度：±0.05℃~±0.2℃(空载) 工艺制程要求单独控制其他工艺
单通道
制冷能力：5kW@-40℃,3kW@-10℃，Up 设备下电极、腔体壁面的情形
to30kW@30℃
温控区间：-70℃~120℃
工艺制程要求控制其他工艺设备
温控精度：±0.05℃~±0.2℃(空载)
双通道 上下电极或切换控制工艺机台下
制冷能力：8.5kW@-60℃,3kW@-10℃,Up
电极、腔体壁面的情形
to21kW@30℃
温控区间：-45℃~170℃ 工艺制程要求切换或混合控制下
三通道
温控精度：±0.05℃~±0.2℃(空载) 电极，单独控制上电极、重要部
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制冷能力：6kW@-40℃,4kW@-10℃，Up 件的情形
to30kW@30℃
本次募集资金投资项目中温控设备产品预测价格为14.10万元/台，低于同行
可比公司京仪装备的综合单价，主要原因是产品结构差异导致。
根据京仪装备的公开资料，2020-2022年期间，Y 系列-单通道产品收入占比
价 为23.45 万元 / 台 。 温控设备 具体 型号的 单价也有 差异 ，如其 单通道产品
Y-8050SC 型号价格约12-17万元/台；单通道产品 Y-8020SC 型号价格约8-9万元/
台；双通道产品 Y-8010DC 型号价格约18-20万元/台。
温控设备根据技术路线和通道数量的不同单价差异较大，本次募集资金投资
项目中温控产品预测单价为14.10万元/台，具备合理性。
（3）真空设备
真空设备属于公司的关键零部件产品，无历史单价数据，本次募投项目之真
空设备的预测单价如下：
单位：万元/台
公司募投项目
项目 行业单价
第二年 达产年
信息来源（1）：根据浙商证券研究报告，12 �季г擦煊蚋�
式真空泵单价为 12 万元/台；8 �季г擦煊蚋墒秸婵毡梦� 8
万元/台。
信息来源（2）：根据中科仪 IPO 招股书资料，其 2020 年
真空
设备
信息来源（3）：根据中科仪 IPO 招股书资料，其测算行业
市场空间时，集成电路领域干式真空泵测算均价为 10 万元
/台；光伏领域干式真空泵测算均价为 7 万元/台。
本次募投项目建设第二年率先投产光伏领域的真空设备产品，预计单价为
升，预计第五年为7.96万元/台，随后价格趋于稳定，与行业同类产品单价信息比
较，该单价具备合理性。
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本次募集资金投资项目主要产品及服务主要为工艺废气处理设备、真空设
备、温控设备及相应的运维服务，生产同类产品的企业主要包括京仪装备、中科
仪等。
本次募投项目毛利率情况与公司历史数据及同行业可比公司对比数据如下：
公司 毛利率水平
类型 项目/业务板块
简称 2023 年 2022 年 均值
半导体专用工艺废气处理设备 42.06% 46.51% 44.29%
京仪 半导体专用温控设备 39.21% 43.17% 41.19%
装备 维护、维修等服务 21.96% 20.03% 21.00%
可比 综合毛利率 38.35% 39.98% 39.17%
公司 干式真空泵 37.09% 29.91% 33.50%
中科
维修及维护等服务 44.97% 37.13% 41.05%
仪
综合毛利率 37.40% 32.60% 35.00%
可比公司综合毛利率平均值 37.88% 36.29% 37.09%
历史
工艺废气处理设备业务 已申请豁免披露
业务
第五年达产，收入构成如下：
公司 本次 工艺废气处理设备收入占比
募投 72.60%真空设备收入占比 35.00%（达产年）
项目 15.77%温控设备收入占比
本次募投项目达产年毛利率与报告期内可比上市公司综合毛利率均值
具备合理性。
本次募集资金投资项目的期间费用率具体如下：
募集资金投 公司 2023 年度期 京仪装备 2023 年 中科仪 2023 年度
项目
资项目费率 间费用费率 度期间费用费率 期间费用费率
销售费用率 4.57% 4.57% 11.75% 8.22%
管理费用率 4.03% 4.03% 7.97% 7.65%
研发费用率 13.00% 5.59% 8.29% 9.94%
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净利率 12.73% 9.06% 16.05% 8.27%
注：因中科仪2023年度持有金融资产和金融负债产生的公允价值变动损益以及处置金
融资产和金融负债产生的损益较高，故选择中科仪2023年度扣除非经常性损益影响后净利
率进行比较；根据公告文件，中科仪2023年度净利润为60,000.85万元，归属于挂牌公司股
东的扣除非经常性损益后的净利润7,045.80万元。
本次募投项目的销售和管理费用率参照母公司2023年水平具备合理性。其
一，公**期服务于集成电路、半导体显示、新能源等领域，积累了众多客户，
本次募投项目产品的下游客户群体与母公司现有的客户资源高度重合，现有客户
资源及渠道可实现有效利用与转化。其二，在长期业务开展过程中，公司已构建
起一套成熟的服务体系，在销售、客户服务以及管理等方面均形成了相对成熟的
流程与模式。
本次募投项目测算研发费用率高于可比公司，主要因为募投项目中存在工艺
废气处理设备新机型、真空设备、温控设备等新产品，新产品后续仍有持续迭代
需求，故研发投入维持较高水平具有合理性。
可比公司京仪装备、中科仪并未披露相关同类型产品募投项目的内部收益率
数据，故选取半导体设备或零部件行业上市公司募投项目作为参照。
内部收益率
同行业公司 项目名称 产品类型
（税后）
阶半导体湿法工艺
单片湿法工艺模组、核心零部件研发
至纯科技 模块、单片式腔体、 11.24%
及产业化项目
高纯度阀等
至纯湿法清洗设备及高纯工艺设备北
至纯科技 清洗设备、零部件 10.33%
方产业基地项目
炉管及涂胶显影设
至纯科技 启东半导体装备产业化基地二期项目 18.40%
备
年产 1,000 台（套）半导体测试分选机
金海通 测试分选机零件 10.16%
机械零配件及组件项目
长川科技 转塔式分选机开发及产业化项目 分选机 12.52%
半导体装备产业化基地扩产项目（四
北方华创 各类半导体设备 16.21%
期）
同行业公司平均 13.14%
本次募集资金投资项目税后内部收益率为12.16%，与可比项目平均水平不存
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在明显差异。
综上所述，公司本次募集资金投资项目效益预测中产品价格、成本费用等关
键指标的预测过程严谨、测算依据合理，相关指标未明显偏离公司现有业务及同
行业可比公司平均水平。
五、中介机构核查情况
（一）核查程序
针对上述问题，申报会计师执行了以下核查程序：
（1）查阅了本次募投项目可行性研究报告、募投项目投资测算表，了解本
次募投项目建筑工程费、设备购置及安装费的具体内容及测算过程并分析建筑面
积、设备购置数量的合理性；获取了公司已投产项目的建筑施工合同及设备采购
台账；
（2）查阅了本次募投项目可行性研究报告、募投项目投资测算表，了解本
次募投项目实质上用于补流的规模及比例；查阅了公司公开披露文件及**税务
总局上海市嘉定区税务局一所开具的**非税收入统一票据，了解发行人本次募
投项目在董事会前投入的情况；
（3）查阅了公司报告期内的资产负债表、现金流量表、项目投资计划表、
募投项目投资测算表，分析本次融资规模的合理性；
（4）查阅公司报告期内的利润表、募投项目投资测算表并查阅了同行业上
市公司公开披露资料，对比本次募投项目预计毛利率、期间费用率等关键指标，
分析本次募投项目测算的合理性。
（二）核查意见
经核查，申报会计师认为：
（1）本次募投项目场地建造费中各项费用根据向相关单位询价、公司历史
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建设经验并依据工程量大小及计费标准测算得出，建筑面积依据拟建设产能生产
工艺所须产线设备的占地面积、生产流程的布局、生产经营所必须的配套设施面
积等综合考虑对所需场地面积的需求，并考虑容积率、绿地率等多方面的要求进
行规划，**确定建设规划以及厂房设计图，建筑面积能够满足生产需求；建筑
单价、设备单价以及安装费与公司已投产项目不存在明显差异，具备合理性。
（2）本次募投项目实质上用于补流的规模为1.5亿元，占拟募集资金总额的
比例为30%，不存在置换董事会前投入的情形。
（3）截至报告期末，公司有息负债超过7亿元，本次募投项目补充流动资金
可以**财务风险和经营风险；公司未来现金流入净额、各项资本性支出系根据
公司历史情况并结合预见性较强的资本性支出进行合理测算。募集资金到位后，
公司营运资金需求将得到有效满足，资产结构更加稳健，可提升抗风险的能力，
保障公司的持续稳定发展，具备必要性和合理性。
（4）效益预测中产品价格、成本费用等关键指标主要根据公司历史实际发
生情况及未来预计情况进行合理预测。其中，价格及收入预测系根据各系列产品
各年的销售情况、产能释放情况与各系列产品的预测综合单价等因素确定；成本
费用系根据公司历史成本费用平均占比确定，相关测算与公司现有水平不存在重
大差异，与可比公司相关指标的平均值不存在重大差异，相关测算结果、依据及
过程具有谨慎性、合理性。
（5）公司本次募投项目的实施符合《监管规则适用指引――发行类第7号》
第5条及《证券期货法律适用意见**8号》第5条的相关规定，具体情况如下：
《监管规则适用指引――发行类第 7 号》第 5 条具体规定 申报会计师核查意见
符合该条款规定。
公司已结合可研报告、内部决策文
一、对于披露预计效益的募投项目，上市公司应结合可研 件或其他同类文件的内容，披露效
报告、内部决策文件或其他同类文件的内容，披露效益预 益预测的假设条件、计算基础及计
测的假设条件、计算基础及计算过程。发行前可研报告超 算过程。
过一年的，上市公司应就预计效益的计算基础是否发生变 截至本问询回复出具之日，本次募
化、变化的具体内容及对效益测算的影响进行补充说明。 投项目可研报告出具日虽然超过一
年，但该项目预计效益的计算基础
至今未发生重大不利变化，不会对
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本募投项目效益测算产生重大不利
影响。
符合该条款规定。
发行人本次募投项目内部收益率及
二、发行人披露的效益指标为内部收益率或投资回收期的，
投资回收期的测算过程以及所使用
应明确内部收益率或投资回收期的测算过程以及所使用的
的收益数据合理，发行人已在募集
收益数据，并说明募投项目实施后对公司经营的预计影响。
说明书中披露本次发行对公司经营
管理和财务状况的预计影响。
符合该条款规定。
三、上市公司应在预计效益测算的基础上，与现有业务的
公司已与现有业务的经营情况进行
经营情况进行纵向对比，说明增长率、毛利率、预测净利
纵向对比并与可比公司的经营情况
率等收益指标的合理性，或与同行业可比公司的经营情况
进行横向对比，本次募投项目相关收
进行横向比较，说明增长率、毛利率等收益指标的合理性。
益指标具有合理性。
四、保荐机构应结合现有业务或同行业上市公司业务开展 符合该条款规定。
情况，对效益预测的计算方式、计算基础进行核查，并就 发行人会计师已结合上述情况进行
效益预测的谨慎性、合理性发表意见。效益预测基础或经 核查，并发表明确意见，具体见本题
营环境发生变化的，保荐机构应督促公司在发行前更新披 回复之“五、中介机构核查情况”之
露本次募投项目的预计效益。 “（二）核查意见”之“
（4）
”内容。
《证券期货法律适用意见第 18 号》第 5 条具体规定 申报会计师核查意见
（一）通过配股、发行优先股或者董事会确定发行对象的
向特定对象发行股票方式募集资金的，可以将募集资金全
符合该条款规定。
部用于补充流动资金和偿还债务。通过其他方式募集资金
本次向不特定对象发行可转债募集
的，用于补充流动资金和偿还债务的比例不得超过募集资
的资金中实质上用于补流的规模为
金总额的百分之三十。对于具有轻资产、高研发投入特点
的企业，补充流动资金和偿还债务超过上述比例的，应当
金总额 50,000.00 万元的 30%。
充分论证其合理性，且超过部分原则上应当用于主营业务
相关的研发投入。
不适用。
（二）金融类企业可以将募集资金**用于补充资本金。
公司非金融类企业。
（三）募集资金用于支付人员工资、货款、预备费、市场 符合该条款规定。
推广费、铺底流动资金等非资本性支出的，视为补充流动 公司本次募投项目除补充流动资金
资金。资本化阶段的研发支出不视为补充流动资金。工程 外，不存在其他非资本性支出的情
施工类项目建设期超过一年的，视为资本性支出。 况。
（四）募集资金用于收购资产的，如本次发行董事会前已
不适用。
完成资产过户登记，本次募集资金用途视为补充流动资金；
公 司 本 次 募 投 项目 不 用于 收 购 资
如本次发行董事会前尚未完成资产过户登记，本次募集资
产。
金用途视为收购资产。
符合该条款规定。
公司已于相关申请文件中披露本次
（五）上市公司应当披露本次募集资金中资本性支出、非 募集资金中资本性支出、非资本性
资本性支出构成以及补充流动资金占募集资金的比例，并 支出构成以及补充流动资金占募集
结合公司业务规模、业务增长情况、现金流状况、资产构 资金的比例，已充分考虑公司业务
成及资金占用情况，论证说明本次补充流动资金的原因及 规模、业务增长情况、现金流状况、
规模的合理性。 资产构成及资金占用情况等因素。
公司本次补充流动资金的原因及规
模具有合理性。
（六）保荐机构及会计师应当就发行人募集资金投资构成 符合该条款规定。
是否属于资本性支出发表核查意见。对于补充流动资金或 经核查，申报会计师认为：公司本
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者偿还债务规模明显超过企业实际经营情况且缺乏合理理 次募投项目的资本性支出为场地建
由的，保荐机构应当就本次募集资金的合理性审慎发表意 造及装修、软硬件设备购置，非资
见。 本性支出为补充流动资金。公司本
次募集资金投资构成中除补充流动
资金外，不存在其他非资本性支出，
本次募集资金中补充流动资金项目
金额合计 15,000.00 万元，占本次募
集资金总额比例未超过 30%。此外，
基于公司未来三年的累计营运资金
缺口情况，本次补充流动资金的规
模小于缺口规模，具备合理性。本
次募投项目的实施能够使得公司营
运资金需求得到有效满足，资产结
构更加稳健，抗风险的能力提升，
保障公司的持续稳定发展，具备必
要性和合理性。
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问题3.1：关于业务及经营情况
根据申报材料，1）公司主营业务收入包括绿色厂务系统、设备及关键零部
件以及电子化学品材料三大类，下游客户主要包括集成电路、半导体显示和新能
源领域，报告期内，公司营业收入分别为123,302.97万元、132,847.68万元、
收入占比分别为35.82%、27.67%和41.27%，公司收入以安装调试验收为确认时
点，报告期内存在期后与客户竣工决算时根据实际工作量调整收入的情形。4）
公司期间费用以销售费用、管理费用和研发费用为主，公司销售人员人均薪酬较
高，销售费用率、管理费用率和研发费用率低于同行业平均水平。5）报告期内，
公司前五大客户收入占比持续提升，分别为60.11%、59.00%、69.89%及70.07%。
请发行人说明：
（1）结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争
情况，产品销量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因，与
同行业公司的对比情况及差异原因；
（2）公司各业务类别收入的确认标准及具体
依据、凭证，是否与合同约定相符，存在差异的原因及合理性，是否符合行业惯
例，是否存在提前确认收入情形，公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，
公司会计处理是否符合《企业会计准则》相关规定；
（3）结合公司报告期内四季
度确认收入的主要项目情况，包括但不限于收入金额、对应客户、工期、合同签
署时间、验收竣工时间、回款情况等，说明公司四季度收入占比较高的原因及合
理性，与同行业可比公司是否存在较大差异，是否存在收入跨期情形；
（4）公司
各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否匹配，与同行业
可比公司的差异情况及合理性；公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订
单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规；
（5）公司主要客户背景、企业
性质、成立时间、注册资本、员工人数，以及与公司的合作情况、是否存在关联
关系，相关销售规模与客户需求的匹配情况。请保荐机构及申报会计师进行核查
并发表明确意见，说明核查方法、核查比例及核查依据。
【回复】
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一、结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销量、
售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因，与同行业公司的对比
情况及差异原因
（一）结合各业务及产品销售情况，下游应用领域及市场竞争情况，产品销
量、售价及成本变动等，分析各业务收入及毛利率的变动原因
公司围绕半导体制造领域需求与痛点展开布局，对工艺排气管道和**废气
治理设备等设备进行集成化布局和定制化设计形成绿色厂务系统整体解决方案，
并进一步形成工艺废气处理设备、真空设备、温控设备、电子化学品材料等延伸
产品，构建丰富的产品矩阵。具体如下：
半导体制造领域需求 系统类产品 延伸产品
半导体制造过程中持续产生以含氟、氯、 绿 色 厂 务 系 统 -工 艺 工艺废气处理设备
硅等元素多组分复合型有毒有害废气，危 废气治理系统
害性大且处理难度高，需先在洁净室配置 （集成了工艺排气管 真空设备
适合气体特性的源头控制设备进行预处 道和**废气治理设
理，再**配套的大型工艺废气治理系统 备，该等设备亦存在 温控设备
进行**治理 单独销售的情形）
半导体制造过程需大量使用电子化学品材
料，通过化学品供应系统输送至使用点。 绿 色 厂 务 系 统 -化 学
制程工艺中产生的部分废液具备较高经济 品供应（CDS）与回收 电子化学品材料
价值，可通过回收系统进行循环再生利用 系统（SRS）
以减少排放，节约材料成本
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公司的“绿色厂务系统-工艺废气治理系统”由工艺排气管道、**废气治
理设备等大量设备经过集成化设计、定制化布局而成；工艺排气管道由公司自主
研发并生产，**喷涂高抗腐蚀性的氟涂料，具备优异的耐热、耐腐蚀、低摩擦
等特性。**废气治理设备包括沸石转轮、蓄热式/直燃式焚化炉、洗涤塔、预
过滤器、深度冷凝器等，核心设备均由公司自主设计或生产制造。工艺废气治理
系统覆盖客户的生产工艺全过程，同步进行废气收集、处理及排放，**保障了
客户的产能利用率、产品良率、员工职业健康及生态环境，是客户生产工艺不可
分割的组成部分。自2012年公司**整体承接半导体工艺废气治理系统项目以
来，公司客户已覆盖集成电路、半导体显示及新能源行业的领军企业，市场地位
稳固。
由于工艺废气组分复杂、特性各异，在分析与处理剧毒、易爆等特殊废气时，
仅使用**治理技术无法满足先进半导体制程工艺要求，需对复杂工艺废气进行
源头控制。为此，公司针对该应用场景开发了 L/S 设备等工艺废气处理设备，该
类设备一端与半导体制程设备相连，通过真空设备抽取半导体制程设备内产生的
废气并进行分解；另一端与**治理系统相连，将分解后的气体排至**处理装
置并进行后续处理。2018年，公司成功研制单腔等离子水洗机型并实现销售。目
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前，基于对下**业发展需求的把握和自身在半导体工艺废气治理系统的深耕积
累，公司产品已实现先进半导体工艺段**覆盖。
真空设备及温控设备共同作用于对半导体制程设备反应腔的辅助控制，可使
反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是半导体
制程中的重要设备。其中，温控设备可对反应腔进行高精密的温度控制，以实现
半导体工艺制程的控温需求；真空设备可使反应腔体内部形成发生反应所必须的
真空环境，抽离工艺废气并传输至工艺废气处理设备中进行无害化处理。公司基
于半导体制程设备反应腔废气处理的技术积累和设计经验，开发了真空设备和温
控设备。目前，公司在真空设备和温控设备方面已取得技术突破并形成充足技术
储备，产品研发和验证测试工作均顺利开展。
公司的“绿色厂务系统-化学品供应与回收系统”包括两个相关联化学品系
统，即化学品供应系统和回收系统。化学品供应系统主要作用是将化学品/研磨
液自包装容器输送至使用点的工艺系统，包含充装、加压、存储、调配、纯化及
分配等功能，适用于无机酸碱类和有机溶剂类化学品；回收系统利用化学分离工
程基本原理，将半导体制程所排放废液中有效成分回收并提纯利用，同时确保回
收提纯后品质达到原液标准，可以对半导体制程工艺中产生的废液循环再生利用
以减少排放，同时助力客户节约材料成本。2017年，公司开始拓展化学品供应与
回收系统业务。报告期内，公司已成功实施多个化学品供应与回收系统项目。基
于化学品供应与回收系统技术的积淀，公司积极布局延伸电子化学品材料研发制
造业务，规划产品聚焦于剥离液、刻蚀液、清洗液等；公司电子化学品材料下游
应用领域包括集成电路、半导体显示等，主要用于显影、刻蚀、清洗等制造工艺。
目前，针对半导体显示领域的剥离液已经投产并实现收入，刻蚀液已完成研发并
等待验证测试。
公司绿色厂务系统、设备及关键零部件、电子化学品材料三类业务形成的产
品矩阵具有较强的协同效应，三类业务的关联及差异如下：
三类业务的关联和协同效应 三类业务的差异
（1）在产品应用领域方面：公司设备及关键 （1）在经营模式方面：公司的绿色厂务系统
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三类业务的关联和协同效应 三类业务的差异
零部件和电子化学品材料均应用于集成电 业务主要通过招投标、竞争性谈判获取，客
路、半导体显示、新能源等领域的制程工艺， 户包括总包建设单位和终端客户；设备及关
并与绿色厂务系统有机结合； 键零部件业务主要通过竞争性谈判、招投标
（2）在客户特点方面：公司三类业务为半导 获取，客户包括总包建设单位和终端客户；
体客户提供半导体工艺制程工艺废气治理、 电子化学品材料采用直接面对终端客户的直
温度控制、电子化学品材料等全方位服务。 销模式。
公司以绿色厂务系统建设为载体，与设备和 （2）在收入确认方面：公司的绿色厂务系统
材料的销售共享客户资源，客户粘性较强； 业务和设备及关键零部件业务的收入确认方
（3）在技术和生产方面：公司三类业务具有 式类似，如存在安装、调试义务，公司根据
技术相通性，亦可共用先进的自动化机加工 合同约定完成相应工作并取得安装、调试验
**等设备，提升公司的平台化技术实力和 收单据后确认收入；如无安装调试义务，公
生产能力。 司在发货后取得客户确认的到货验收单据或
签收单时确认收入。电子化学品材料业务在
发货后取得客户确认的到货验收单时确认收
入。
综上所述，公司绿色厂务系统、设备及关键零部件、电子化学品材料均系公
司紧紧围绕半导体制程工艺开展的业务，三者在产品应用领域、客户特点、技术
和生产等方面具有极强的关联性，在经营模式和收入确认等方面存在**差异。
（1）绿色厂务系统的收入变动与其在不同应用领域的表现有关
公司绿色厂务系统主要应用于集成电路、半导体显示和新能源等领域，报告
期内公司绿色厂务系统收入变动与其在不同应用领域的表现有关，具体如下：
单位：万元
项目
金额 比例 金额 比例 金额 比例 金额 比例
集成
电路
半导体
显示
新能源
及其他
合计 66,750.19 100.00% 121,572.07 100.00% 86,719.36 100.00% 93,871.03 100.00%
报告期初，公司产品在半导体显示领域客户收入占比较高，2021年至2023
年，公司在半导体显示领域的收入金额和占比出现**下降，主要原因系：半导
体显示行业存在**周期性特征，2021年下半年开始，随着需求增长放缓，面板
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价格开始回调；2022年以来公共卫生事件、**局势动荡、全球通胀等影响消费
预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产减少。2023年第三季度，消
费电子产品出货量环比改善，半导体显示领域市场有**程度回暖，2024年1-9
月，公司在半导体显示领域的营业收入继续回升。
公司在报告期前已积极布局集成电路和新能源领域。在集成电路领域，公司
积极开拓中芯**、华虹半导体、北方华创、格科微、卓胜微等行业龙头客户，
实现了重要客户与关键项目的不断突破。集成电路领域项目产线普遍投入巨大，
单个项目工期较长，收入金额较大，项目技术设计和安装施工等各方面要求较高，
公司2021年度和2022年度是下游应用领域从半导体显示切换到集成电路关键时
期，市场竞争力尚待进一步增强，公司2022年度收入项目数量有所减少；同时，
调配、材料及设备供应和运输等受到了**程度的不利影响，导致项目实施进度
放缓。因此2022年度集成电路领域项目的收入金额下降；2023年，随着相关不利
因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，使得2023年公司集成电路领
域收入金额和收入占比大幅提升。在新能源领域，公司积极服务于隆基绿能、天
合光能等行业龙头客户，2021年至2023年，受益于**光伏行业的快速发展，公
司新能源领域收入金额上升。
（2）不同领域项目数量、体量的差异使得绿色厂务系统销售收入总额变动
报告期内，公司不同领域绿色厂务系统项目数量和单位项目收入情况如下：
单位：个、万元
项 应用领 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
目 域 数额 占比 数额 占比 数额 占比 数额 占比
集成电
路
项 半导体
目 24 38.71% 26 32.50% 65 56.52% 54 45.76%
显示
数 新能源
量 9 14.52% 10 12.50% 16 13.91% 15 12.71%
及其他
合计 62 100.00% 80 100.00% 115 100.00% 118 100.00%
单 集成电
位 路
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项 应用领 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
目 域
项 半导体
目 显示
收 新能源
入 及其他
平均 1,076.62 / 1,519.65 / 754.08 / 795.52 /
集成电
路
收 半导体
入 17,961.02 26.91% 21,413.22 17.61% 32,592.02 37.58% 36,166.79 38.53%
显示
合 新能源
计 4,834.72 7.24% 18,041.02 14.84% 16,725.76 19.29% 9,418.44 10.03%
及其他
合计 66,750.19 100.00% 121,572.07 100.00% 86,719.36 100.00% 93,871.03 100.00%
从单位项目收入来看，集成电路项目的单位项目收入通常比半导体显示项目
高，主要原因系集成电路领域项目产线普遍投入巨大，单个项目工期较长，项目
执行难度和要求更高，因此单位项目合同金额较大。
导体显示行业整体资本性支出存在**的周期性波动，2022年度半导体显示平均
单位项目收入由2021年的669.76万元下降至501.42万元；同时，受公共卫生事件
等客观因素影响，公司主要绿色厂务系统项目的现场施工建设、人员调配、材料
及设备供应和运输等受到了**程度的不利影响，导致项目实施进度放缓，工期
较长的集成电路领域交付验收项目数量占比由2021年的41.53%下降至29.57%，使
得平均单位项目收入下降。上述因素综合使得公司2022年绿色厂务系统收入较上
年下降。
集成电路生产基地项目工艺排气系统等部分项目收入超过1亿元，同时随着外部
相关不利因素影响逐渐消退，项目施工建设恢复至正常状态，公司集成电路领域
项目数量占比由 29.57% 提升至 55.00% ，当期集成电路领域单位项目收入由
综上所述，公司不同应用领域单位收入差异较大，项目之间不具有可比性。
不同应用领域项目数量和体量的差异使得绿色厂务系统销售收入总额变动。
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报告期内，公司绿色厂务系统毛利率情况如下：
项目
毛利率 变动 毛利率 变动 毛利率 变动 毛利率
绿色厂务系统 29.73% 6.01% 23.71% -1.61% 25.33% -1.62% 26.94%
（1）公司的绿色厂务系统业务为高度定制化业务，单个收入项目单价和单
位成本相差较大，因此绿色厂务系统业务的产品销量、售价及成本变动等因素不
具有量化可比性
公司的绿色厂务系统业务以定制化的方案设计、加工制造、系统集成及运维
管理为主要生产模式。
公司半导体行业客户的大部分生产线位于洁净厂**，公司根据不同客户的
产品工艺流程、废气成分、空间布局等因素，定制化设计治理方案、设备选型、
控制系统、排放布局等，以实现绿色厂务系统与客户工艺设备的深度整合，并安
全稳定地自动化运行。
因此，公司绿色厂务系统业务的产品销量、售价及成本变动等因素不具有量
化可比性。
（2）公司的绿色厂务系统业务变动受下游应用领域及市场竞争情况影响，
部分规模较大项目的毛利率波动对业务毛利率影响较大
过程中采取有竞争力的价格影响毛利率
公司绿色厂务系统业务目前的竞争企业主要是少数**知名供应商和拥有
完整的设计、生产、服务能力的**大型供应商。产品为非标准化定制产品，主
要通过招投标和竞争性谈判的方式承接项目，通过公开方式进行市场化定价，中
标价格受到市场竞争、客户类型、项目规模等因素影响。
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年下半年开始，随着需求增长放缓，面板价格开始回调；2022年以来**局势动
荡、全球通胀等影响消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产减
少，半导体显示领域毛利率受行业周期影响存在**下滑；②公司在此期间从半
导体显示领域切入集成电路领域，市场开拓过程中采取有竞争力的价格获取更多
订单。
造成**影响
公司绿色厂务系统业务毛利率除了受到行业整体发展趋势影响外，具体还会
受到项目成本的影响。项目成本主要为直接材料、直接人工、折旧摊销等，受原
材料价格波动、项目执行周期、合同内容与合同变更等因素影响。
成本存在**上升，上述原因综合使得公司绿色厂务系统毛利率下降。
报告期各期，公司绿色厂务系统成本主要包括原材料（不锈钢、涂层风管等）
和设备（风机等）等，其成本占比超过70%，主要原材料采购单价情况如下：
物料类别 单位
采购单价 变动幅度 采购单价 变动幅度 采购单价 变动幅度 采购单价
不锈钢卷/板 元/kg 13.58 -8.88% 14.91 -19.76% 18.58 10.74% 16.78
氟材料 元/kg 356.05 5.23% 338.34 2.79% 329.17 3.30% 318.66
电气元件 元/件 17.05 -29.56% 24.20 45.74% 16.61 -36.86% 26.30
仪器仪表 元/件 882.33 -20.44% 1,109.05 43.24% 774.27 6.36% 727.97
阀类产品 元/件 24.99 -31.17% 36.31 -31.37% 52.90 59.90% 33.09
合计采购金额
/ 38.94% 38.78% 38.32% 32.77%
占比
由上表可知，公司报告期内不锈钢卷/板以及氟材料的平均采购单价存在一
定波动。公司2022年度不锈钢卷/板采购单价上涨以及2023年度氟涂料采购单价
上涨均使得绿色厂务系统单位成本存在**上升。2024年1-9月，随着公司业务
规模增大，公司在采购价格谈判上更具有优势，部分设备及材料采购价格存在一
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定下降，其中不锈钢卷/板、电气元件、仪器仪表、阀类产品等的采购单价存在
**下降，带动绿色厂务系统单位成本下降。
低单位生产成本和节省产品物流运输费用，影响毛利率数据
强属地化配套，新建广东惠州基地和湖北孝感基地，通过引入新型生产设备提升
产品生产效率并减少材料损耗，有效**单位生产成本、节省产品物流运输费用。
报告期内，公司营业收入按客户注册地拆分的区域分布构成情况如下表所
示：
单位：万元
项目
金额 比例 金额 比例 金额 比例 金额 比例
华东 26,885.89 27.06% 88,899.71 48.69% 37,766.45 28.43% 71,298.25 57.82%
华北 32,153.65 32.36% 35,277.46 19.32% 28,472.76 21.43% 18,437.29 14.95%
华南 32,705.21 32.91% 27,471.19 15.04% 26,053.06 19.61% 2,602.42 2.11%
由上表可知，公司华南区域的业务收入占比由2023年度的15.04%提升至
东惠州生产基地、湖北孝感生产基地可辐射华南、华北区域，在单位成本**的
基础上，有效**产品物流运输费用。
报告期内，公司绿色厂务系统毛利率相对稳定，该业务类型单个项目金额较
大，毛利率亦受单个项目影响较大。
公司绿色厂务系统业务由于项目竞争环境、公司战略布局和设计生产情况等
因素，毛利率存在**波动，具有合理性。
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公司设备及关键零部件可分为半导体附属设备及关键零部件、工艺排气管
道、**废气治理设备等三类业务。半导体附属设备及关键零部件主要包括 L/S
设备、LOC-VOC 设备、真空设备、温控设备；工艺排气管道主要包括不锈钢涂
层风管；**废气治理设备主要包括沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉等。
（1）公司半导体附属设备及关键零部件收入和毛利率变动分析
报告期内，公司销售的半导体附属设备及关键零部件主要包括 L/S 设备和
LOC-VOC 设备。
L/S 设备和 LOC-VOC 设备均系用于处理半导体生产制造过程中产生的有毒
有害气体，主要的不同是 L/S 设备通常与半导体制程设备相连，对半导体制程腔
排出的含氟、氯、硅等元素为代表的成分复杂的有毒有害废气进行源头处理，通
过高温氧化、还原反应，**有毒物质浓度，设备复杂程度和控制精密程度相对
较高；LOC-VOC 设备通常部署于半导体工厂洁净室，对洁净室循环风中**量
的挥发性 VOCs 气体进行吸附后排放，设备复杂程度和控制精密程度相对较低。
因此，L/S 设备的毛利率通常高于 LOC-VOC 设备。
L/S 设备根据工艺废气处理方式的不同可分类为电加热水洗式、等离子水洗
式、燃烧水洗式等多种类型。由于技术和零部件差异，通常等离子水洗式设备产
品的单价高于电加热水洗式和燃烧水洗式，公司2018年即完成单腔等离子水洗机
型的研制开发并实现销售，等离子水洗式设备是报告期内公司销售的主力机型。
发和市场**移至 L/S 设备，L/S 设备销量提升所致。2022年，公司 L/S 设备销
售单价下降，主要原因系公司着力开拓 L/S 设备市场，获取了北方华创、中芯国
际、惠科股份等行业龙头客户的批量订单，其中电加热水洗式机型出货量大幅增
加，该机型售价较公司主力机型等离子水洗式略低。
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响，产品订单量存在**下降所致；同时，当期主要出货机型为单价更高的等离
子水洗式，其销售数量占比超过90%，使得当期 L/S 设备销售单价大幅提升。上
述因素总体使得当期 L/S 设备销售收入下降。
当期 L/S 设备销售收入上升。
报告期内，L/S 设备和 LOC-VOC 设备销售占比变动是导致整体毛利率变动
的主要原因。
报告期内，公司 LOC-VOC 设备客户主要分布在半导体显示领域，L/S 设备客
户主要分布在集成电路、半导体显示和新能源领域。2022年起，受半导体显示领
域下游需求回落，相关项目投产减少影响，公司调整战略布局，将研发和市场重
心移至 L/S 设备，LOC-VOC 设备销售占比随着市场情况和公司布局变化逐步下降。
随着公司在集成电路领域市场开拓力度及影响力的提升，L/S 设备销售占比大幅
提升。
①2022年毛利率变动分析
较高的 L/S 设备销售收入快速增长所致，L/S 设备销售收入占比由55.90%提升至
更新升级；同时 L/S 设备订单量增长，产量上升使得 L/S 设备成本摊薄，综合使
得 L/S 设备平均单位成本下降，毛利率大幅上升。
钢卷/板等大宗原材料采购价格存在**上升，叠加公共卫生事件导致的物流困
难等因素，公司与客户协商适当上调了产品价格，产品毛利率较2021年保持稳定。
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②2023年毛利率变动分析
整体毛利率波动与 L/S 设备毛利率波动有关。
性维护周期）短等痛点，定向研发 PW3000机型。该产品能够显著提升客户的生
产稼动率（设备实际使用效率指标），产品附加值和定价较高，使得当期 L/S 设
备平均毛利率上升；此外，由于当期销售单价和单位成本较低的电加热水洗式销
售数量占比下降，也使得整体销售单价和单位成本均有所上升。
较小，主要原因系当期公司计划** LOC-VOC 设备相关原材料和零部件库存，使
得2023年销售单价较低，毛利率较低。
③2024年毛利率变动分析
设备毛利率下降，主要原因系集成电路行业投资持续旺盛，设备销量提升，受客
户议价等因素影响，公司对批量相对较大的订单适当降价，销售平均单价略有下
降，使得毛利率略有下降。
（2）公司工艺排气管道收入和毛利率变动分析
工艺排气管道销售单价的变动与原材料价格变动关联度较大，具体分析见下文毛
利率分析。
公司工艺排气管道型号规格较多，生产工艺亦存在**差异，其单价波动与
市场竞争情况、成本加成情况、不同型号销售占比等因素有关；工艺排气管道成
本中材料占比较高，因此其单位成本波动与不锈钢卷/板、氟材料等原材料的采
购价格因素、不同型号销售占比有关。
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报告期内，工艺排气管道主要原材料不锈钢卷/板、氟材料的采购单价变动
如下：
单位：元/kg
物料名称
采购单价 变动比例 采购单价 变动比例 采购单价 变动比例 采购单价
不锈钢卷/板 13.58 -8.88% 14.91 -19.76% 18.58 10.74% 16.78
氟材料 356.05 5.23% 338.34 2.79% 329.17 3.30% 318.66
由上表可知，2022年，不锈钢卷/板材料的采购价格大幅上升，使得工艺排
气管道2022年单位成本大幅上升；同时，受公共卫生事件影响，人工成本和制造
成本存在**上升；公司根据原材料价格变化情况和市场竞争情况适当调高了工
艺排气管道单价，但由于单价上升幅度低于单位成本上升幅度，产品毛利率下降。
格小幅上升，公共卫生事件影响减弱，综合使得工艺排气管道单位成本下降，公
司根据原材料价格变化情况和市场竞争情况适当下调了工艺排气管道单价，工艺
排气管道毛利率上升。
（3）公司**废气治理设备收入和毛利率变动分析
公司**废气治理设备主要系沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉等设
备，该部分业务收入受客户项目定制化方案需求影响较大，产品型号较多，计量
单位不同，因此各期单价和单位成本不具有可比性。报告期内，该类产品收入占
比较小，公司主要根据单位成本并加上合理毛利定价，毛利率保持稳定。
多斯市源盛光电有限责任公司（京东方集团下属子公司）、咸阳彩虹光电科技有
限公司（彩虹股份集团下属子公司）等客户，使得订单量增加，带动销售收入提
升。另一方面，公司电子化学品材料销售单价存在**下降，主要系公司仍处于
市场开拓阶段，采取了具有竞争力的报价策略所致。
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报告期内，公司电子化学品材料毛利率变动情况如下：
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
单价（万元/吨） 已申请豁免披露
单位成本（万元/吨） 已申请豁免披露
毛利率 -17.48% 7.64% - -
公司电子化学品材料2023年起形成收入，2024年1-9月毛利率为负，主要原
因系：（1）2024年1-9月，由于公司仍处于市场开拓阶段，故采取了具有竞争力
的报价策略，使得2024年1-9月平均单价下降；
（2）2024年1-9月主要原材料单乙
醇胺和二乙二醇丁醚价格存在**上涨；同时该业务仍处于市场开拓和产能爬坡
阶段，产能未**释放，单位产品的制造成本较2023年度增加，使得产品单位成
本较高，毛利率为负。公司将积极加强技术研发和市场开拓以改善产品毛利率。
（二）公司各业务毛利率与同行业公司的对比情况及差异原因
报告期内，公司绿色厂务系统业务毛利率存在**的波动，主要由于绿色厂
务系统业务存在定制化的差异，使得毛利率水平受到项目具体情况有所不同，设
备及关键零部件毛利率与同行业可比公司较为接近，电子化学品材料收入及毛利
占比较小。
报告期内，公司绿色厂务系统业务与同行业上市公司可比业务的毛利率对比
情况如下：
公司名称 相关业务 2023年度 2022年度 2021年度
正帆科技 电子工艺设备 27.56% 27.66% 24.81%
至纯科技 系统集成及材料 36.25% 36.40% 38.17%
对比企业算术平均数 31.91% 32.03% 31.49%
本公司 绿色厂务系统 23.71% 25.33% 26.94%
注：由于同行业公司未披露2024年1-9月按业务分类的毛利率情况，故此处未比较2024年1-9
月按业务分类的毛利率情况。
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科技，主要原因系公司与同行业公司下游应用领域有所差异，客户需求、项目需
求、施工情况均有不同，因此毛利率水平根据项目具体情况有所不同。
公司可比上市公司正帆科技、至纯科技具体业务情况如下：
可比公司 可比业务 下**业
为集成电路、太阳能光伏、光纤通信和生物医药等行
集成电路、太阳能光伏、
正帆科技 业提供制程关键系统与装备、关键材料和专业服务等
光纤通信和生物医药
综合服务。
为集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺
至纯科技 集成电路
系统的设计、安装、测试调试服务。
数据来源：上市公司定期报告
正帆科技可比业务系高纯气体和湿化学品供应系统，客户群是泛半导体行业
的 FAB 制造厂商，该系统是将客户生产过程中所需的高纯气体、湿化学品和先
进材料供应至客户的工艺机台设备。上述业务的销售模式、客户群与公司接近，
因此其毛利率与公司毛利率接近。
至纯科技可比业务系集成电路制造企业及泛半导体产业提供高纯工艺系统
的设计、安装、测试调试服务。高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设
备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀件等组成，其中专用设备主要包括高
纯特气设备、高纯化学品供应设备等，至纯科技已实现较高的自产率，使得整体
系统项目的采购成本**，毛利率较高。
报告期内，公司设备及关键零部件业务毛利率与同行业上市公司可比业务毛
利率的对比情况如下：
公司名称 相关业务 2023年度 2022年度 2021年度
京仪装备 半导体专用工艺废气处理设备 42.06% 46.51% 48.09%
中科仪 干式真空泵 37.09% 29.91% 13.56%
对比企业算术平均数 39.58% 38.21% 30.83%
“设备及关键零部件”之“半导
本公司 已申请豁免披露
体附属设备及关键零部件”
注：由于同行业公司未披露2024年1-9月按业务分类的毛利率情况，故此处未比较2024年1-9
月按业务分类的毛利率情况。
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公司半导体附属设备及关键零部件的毛利率整体高于同行业公司平均水平。
公司半导体附属设备及关键零部件产品毛利率在2021年和2022年低于京仪装备，
率相对较低的 LOC-VOC 设备，公司2022年起根据市场情况调整了战略布局，将
研发和市场**移至 L/S 设备；随着 L/S 设备在客户验证通过后取得批量订单，
L/S 设备销量占比大幅提升，使得整体毛利率提升。因此，公司2021年毛利率低
于京仪装备，2022年毛利率与京仪装备接近。
体附属设备及关键零部件毛利率略有上升，主要系下游应用领域略有不同所致。
京仪装备客户应用领域相对集中，2023年设备毛利率下降主要系毛利率较高的产
品销量有所减少所致。公司主要客户包括集成电路、半导体显示和新能源领域客
户，2023年，公司针对客户的 CVD 工艺生产过程中粉尘堵塞导致 PM 周期（预
防性维护周期）短等痛点，定向研发 PW3000机型。该产品能够显著提升客户的
生产稼动率，产品附加值较高，毛利率较高，使得整体毛利率上升。
中科仪主要产品系干式真空泵，而公司真空设备产品目前尚未形成收入，因
此公司毛利率与中科仪毛利率存在**差异，具有合理性。
综上所述，公司主要业务绿色厂务系统和设备及关键零部件的毛利率与同行
业公司对比存在**差异，差异具有合理性。
二、公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，是否与合同约定相
符，存在差异的原因及合理性，是否符合行业惯例，是否存在提前确认收入情形，
公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合《企业会计
准则》相关规定
（一）公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证，否与合同约定相
符，存在差异的原因及合理性
报告期内，公司产品主要包括绿色厂务系统、设备及关键零部件产品、电子
化学品材料等三类，具体收入确认标准及具体依据、凭证如下：
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收入 收入确认原则和收入确认 收入确认具体
合同约定
分类 标准 依据、凭证
根据公司与客户签订的合同约定，
如存在安装、调试义务，
公司负有安装、调试义务的，公司
公司根据合同约定完成相
在安装、调试完毕后由客户进行项 由客户确认的
绿色 应工作并取得安装、调试
目验收；如无安装调试义务，公司 安装、调试验收
厂务 验收单据后确认收入；如
在发货至客户指定地点并由客户对 单据、到货验收
系统 无安装调试义务，公司在
设备数量、质量进行检测，公司在 单据
发货后取得客户确认的到
取得客户确认的到货验收单据时确
货验收单据时确认收入。
认收入。
根据公司与客户签订的合同约定，
如存在安装、调试义务，
存公司负有安装、调试义务的，公
公司根据合同约定完成相
设备 司在完成设备安装、调试后，由客 由客户确认的
应工作并取得安装、调试
及关 户进行验收；如无安装调试义务的， 安装、调试验收
验收单据后确认收入；如
键零 公司将设备发货至客户指定地点并 单据、客户签收
无安装调试义务，公司在
部件 由客户对设备数量、质量进行检测， 单
发货后取得客户确认的签
检测合格后客户在公司送货单上签
收单时确认收入。
收确认。
电子 根据公司与客户签订的合同约定，
化学 公司将产品运输至客户指定地点并 在发货后取得客户确认的
客户签收单
品材 检验合格后客户在公司送货单上签 到货验收单时确认收入。
料 收确认。
由上表可知，公司各业务类别收入的确认标准及具体依据、凭证与合同约定
相符。
（二）公司收入确认是否符合行业惯例
公司收入确认政策符合行业惯例，同行业可比上市公司主要收入确认政策如
下：
公司 收入确认政策
该公司收入确认的具体方法如下：
以产品交付并经验收合格作为风险和报酬的转移时点（即取得验收单）确认销
售收入，收入确认依据为签订的合同、签收单及验收报告。
为客户提供系统维护、维修、检查以及人员培训等服务，以已提供给客户并经
客户验收后作为风险和报酬的转移时点（即取得服务验收报告）确认销售收入，
正帆科技
收入确认依据为签订的合同、服务验收报告。
以产品已交付客户并经客户验收合格作为风险和报酬的转移时点（取得客户签
署的送货单（签收单）时确认收入）确认销售收入，收入确认依据为签订的合
同、签收单。
除电子工艺设备和生物制药设备以外，以产品交付并经验收合格作为风险和报
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公司 收入确认政策
酬的转移时点（即取得验收单）确认销售收入，收入确认依据为签订的合同、
签收单及验收报告。
该公司销售产品及销售产品与设计、安装、调试一起签订的合同属于在某一时
点履行的履约义务。
收入确认的方法为：对于没有安装调试要求的产品销售，以货物签收作为收入
确认的依据；对于销售产品与设计、安装、调试等一起签订的合同，以客户验
至纯科技
收作为收入确认的依据。
本公司电子大宗气体业务，公司气体销售业务自通过双方指定的交付点后完成
所有权转移。公司在每月取得客户确认的气体结算确认单、已收取价款或取得
收款权利且相关的经济利益很可能流入时确认收入。
该公司销售商品属于在某一时点履行的履约义务，对于需要本公司安装及客户
验收的商品，本公司将货物运送至指定地点并进行安装调试，经客户验收后货
物控制权转移至客户，本公司在收到客户验收单时确认收入；对于无需本公司
安装的商品，本公司将货物运送至指定地点，经过客户签收后货物控制权转移
京仪装备
至客户，本公司在收到客户签收单时确认收入。
该公司为客户提供设备维护等服务，属于在某一时段内履行的履约义务，本公
司在服务期间内按照履约进度确认收入。本公司为客户提供设备维修等服务，
属于在某一时点履行的履约义务，本公司在服务完成时确认收入。
公司根据与客户签订的销售合同或订单约定的交货方式，将货物发送给客户，
合同未约定验收条款，于相关产品交付并经客户签收后确认收入；合同约定验
中科仪 收条款，相关产品交付客户并进行验收，经客户验收合格后确认收入。
对于维修及维护等服务业务，于干式真空泵、真空科学仪器设备维修及维护等
服务完成并交付，经客户验收合格后确认收入。
来源：可比公司公开披露的年度报告。
由上表可知，公司收入确认的确认标准及具体依据、凭证与同行业公司一致，
符合行业惯例。
（三）公司在竣工决算时点调整收入的规模及依据，公司会计处理是否符合
《企业会计准则》相关规定
公司在验收后调整收入存在以下几种情形：1、竣工决算审计调整：部分项
目合同定价系综合单价制，客户约定项目竣工时由第三方进行结算审计，合同价
款以**审定金额为准，公司依据竣工决算审计报告的审定金额等调整收入；2、
合同变更结算调整：由于项目规模较大、施工环境较为复杂，施工周期长，施工
过程中可能发生设计变更、材料变更、工程量增加等情况，使得项目实际工作量
发生变化，影响**收入确认金额，公司依据合同变更指令单、追加结算单等调
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整收入。
公司验收即完成合同约定的履约义务，在取得客户的完工验收单时确认收
入，按照合同金额作为“**估计数”确认收入金额；上述调整收入情形属于项
目交付服务成果、控制权转移后新发生的情形，调整收入计入结算当期。
根据公开披露信息，类似行业中类似业务中亦存在竣工结算调整收入为系统
集成业务的惯例，具体如下：
公司名称 相关业务 处理方式
公司在系统集成项目通过验收时确认收入，确认收入时审计结算
工作通常尚未完成，因此公司根据合同、补充合同、联系单等项
目资料并结合项目情况，以预计最可能实现的收入金额对项目进
城市基础设 行收入确认。
中控信息 施数智化系 待项目审计结算后，根据审计结算金额对收入预估金额进行调
统集成 整。若审计结算完成与项目通过验收时间在同一年度内，则公司
审计结算调整不涉及跨年收入调整；若不在同一年度，则公司根
据审计结算金额对以前年度已确认的项目收入进行调整，将合同
调整的金额计入当期收入。
公司在项目验收时确认项目收入，通常公司确认收入时，审计结
算工作尚未完成，因此公司根据合同、补充合同、联系单等项目
资料并结合项目实际情况，以预计最可能实现的收入金额对项目
进行收入确认。
待项目审计结算后，若审计结算金额与公司确认的项目收入金额
智慧城市信 存在差异，公司根据审计结算是否与项目验收在同一年度，对审
华是科技 息化系统集 计结算调整进行如下会计处理：（1）审计结算与项目验收在同一
成 年度：若公司项目合同金额在审计结算中发生调整，且与项目验
收发生在同一年度，则公司以审计结算的金额作为项目的收入确
认金额，不涉及跨年度收入调整。（2）审计结算发生在项目验收
以后年度：若公司审计结算调整发生在项目验收以后年度，则公
司根据审计结算金额对以前年度已确认的项目收入进行调整，将
合同调整的金额计入当期收入，并调整相应的应收账款。
根据《企业会计准则》规定，对于已履行的履约义务，其分摊的可变对价后
续变动额应当调整变动当期的收入，该调整事项不会影响公司收入确认的准确
性。因此，公司在竣工决算时点调整收入的会计处理符合《企业会计准则》相关
规定。
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单位：万元
合同金额 对收入的影
客户 项目 调整依据
（含税） 响金额
绵阳惠科光电科 薄膜晶体管液晶显示器件工 竣工决算审计
技有限公司 艺废气工程项目 调整
**电子系统工
竣工决算审计
程第四建设有限 合肥蓝科晶合二厂排气项目 1,820.00 -349.66
调整
公司
**电子系统工
集成电路研发制造用厂房及 竣工决算审计
程第四建设有限 2,736.90 -442.88
配套设施项目 调整
公司
厦门士兰集科微 竣工决算审计
酸碱废气处理装置扩容项目 772.67 -148.52
电子有限公司 调整
合计 -1,067.40 -
单位：万元
合同金额 对收入的影
客户 项目 调整依据
（含税） 响金额
厦门天马显示科 半导体显示工艺排气系统项 竣工决算审计
技有限公司 目 调整
**电子系统工
集成电路示范线（一期）无尘 竣工决算审计
程第四建设有限 2,132.11 -220.96
室系统工程 调整
公司
陕西隆基乐叶光 竣工决算审计
涂层风管项目 1,850.00 -355.28
伏科技有限公司 调整
合计 -2,977.98 -
单位：万元
合同金额 对收入的影
客户 项目 调整依据
（含税） 响金额
竣工决算审计
西安奕斯伟硅片
酸碱废气供货及安装项目 1,994.83 147.66 调整、合同变更
技术有限公司
结算调整
厦门士兰集科微 合同变更结算
酸碱废气处理装置扩容项目 607.00 146.61
电子有限公司 调整
合计 294.27 -
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单位：万元
合同金额 对收入的影
客户 项目 调整依据
（含税） 响金额
武汉天马微电子 竣工决算审计
多晶硅工艺排气系统项目 6,798.00 -187.56
有限公司 调整
绵阳惠科光电科 薄膜晶体管液晶显示器件工艺 合同变更结算
技有限公司 废气工程项目 调整
南通深南电路有 合同变更结算
多层印制电路板项目 4,557.99 494.64
限公司 调整
合计 464.13 -
综上所述，公司报告期各期收入调整金额占当期营业收入比例较低，依据充
分，公司会计处理符合《企业会计准则》相关规定。
三、结合公司报告期内四季度确认收入的主要项目情况，包括但不限于收入
金额、对应客户、工期、合同签署时间、验收竣工时间、回款情况等，说明公司
四季度收入占比较高的原因及合理性，与同行业可比公司是否存在较大差异，是
否存在收入跨期情形
（一）报告期各期第四季度确认收入前五大项目情况
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单位：万元
累计回款金
项目名称 客户 合同金额（含税） 合同签署时间 收入金额 工期 验收时间 备注
额
合同约定工期：系统
合同包含二期和多
集成电路生产基地项 调试完2024/3/30前；
客户 B 个子项，合计金额 2023年6月 17,488.08 2023年12月 17,897.85 /
目工艺排气系统 二期以发包商与供应
商协商为准
半导体显示生产线项 厦门天马光电子 合同约定为：
目（一标段） 有限公司 2023/6/15-2024/1/9
天和（上海）半
显示面板生产线项目 合同约定为：
导体制程排气工 8,868.83 2023年6月 7,736.13 2023年12月 6,747.96 /
工艺排气系统工程 2023/6/25-2024/1/9
业有限公司
集成电路模拟特色工 世源科技工程有 合同约定为：
艺生产线项目（三期） 限公司 2023/7/4-2023/12/17
**电子系统工
集成电路一期项目工 合同约定为：
程第二建设有限 7,133.68 2023年9月 6,312.99 2023年12月 4,820.14 /
艺排气工程 2023/9/10-2024/1/30
公司
合计 50,276.83 / / / /
占第四季度收入比重 66.72% / / / /
注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。
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单位：万元
合同金额 累计回款
项目名称 客户 合同签署时间 收入金额 工期 验收时间 备注
（含税） 金额
合同约定系统运行
集成电路生产基地项
客户 C 16,980.00 2022年9月 15,377.65 时间：2022/12/31之 2022年12月 14,635.54 /
目工艺排气系统
前
光伏产业园机电工程 楷德电子工程设 合同约定交付使
扩能项目 计有限公司 用：2022/12/30前
深圳市华星光电
合 同 约 定 为 ：
显示器件生产线项目 半导体显示技术 2,501.67 2022年8月 2,213.87 2022年12月 2,376.59 /
有限公司
**电子系统工 合同约定为分批到
晶圆代工生产线项目 设备及关键
程第二建设有限 17,450.00 2022年11月 1,609.25 货，最晚不得迟于 2022年12月 16,327.50
工艺排气系统工程 零部件收入
公司 2023/5/30
原合同工期：2022
半导体产业化建设项 江苏卓胜微电子 年 4 月 21 日 至 2022
目二期 股份有限公司 年8月15日：追加合
同工期：未约定
合计 29,872.77 / / / /
占第四季度收入比重 81.26% / / / /
注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。
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合同金额（含 累计回款金
项目名称 客户 合同签署时间 收入金额 工期 验收时间 备注
税） 额
合同约定为：
半导体显示工艺排气 厦门天马显示科技有
系统项目 限公司
信息产业电子第十一 合同约定为：
集成电路特色工艺研
设计研究院科技工程 7,980.00 2021年7月 7,092.96 2021/6/25-2021/ 2021年12月 7,024.54 /
发与产业化项目
股份有限公司 12/12
半导体产业化建设项 江苏卓胜微电子股份 2,977.71 2021年6月 2,635.14 合同约定为： 2021年11月
目 有限公司 1,259.87 2021年9月 1,114.93 2021年12月
合同约定为分
**电子系统工程第 批到货，最晚不
工艺排气系统三期 3,200.00 2021年11月 2,831.86 2021年12月 3,200.00 /
二建设有限公司 得迟于2021年
设备及关
北京北方华创微电子
年度框架采购协议 3,158.96 2021年11月 2,795.54 按照订单交货 2021年12月 3,141.19 键零部件
装备有限公司
收入
合计 35,390.78 / / / /
占第四季度收入比重 80.13% / / / /
注：累计回款金额系统计截至2025年2月28日的回款金额。
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由上表可知，部分项目约定工期未强制要求在年底前完工，但项目仍在年底
验收，主要原因系：1、公司绿色厂务系统系半导体生产产线洁净室的关键系统
之一，若公司分包项目绿色厂务系统无法交付验收，则整个半导体产线建设的其
他分包系统施工调试、设备搬入安装等工作将难以进行。为确保总体项目按时完
成，总包商或终端客户会要求公司提前完成工作，避免生产投产延期。2、项目
工期是发包方依据标准工程量和普通承包方产能计算的平均水平，公司绿色厂务
系统的核心设备（工艺排气管道和**废气处理设备等）产能充足，安装调试人
员工作经验丰富，使得项目工期缩短。3、根据行业惯例，大部分项目实施现场
存在春节前提前放假，春节后重新招工的情形，因此为避免元旦至春节期间的额
外人工成本，公司倾向于在年底前提高项目执行效率，提前完成交付和验收工作。
（二）公司四季度收入占比较高的原因及合理性
报告期内，公司营业收入按季节划分的数据如下：
单位：万元
项目
营业收入 占比 营业收入 占比 营业收入 占比
**季度 26,365.11 14.44% 18,940.76 14.26% 17,614.31 14.29%
第二季度 50,861.39 27.85% 36,226.87 27.27% 26,916.32 21.83%
第三季度 30,012.98 16.44% 40,916.47 30.80% 34,604.56 28.06%
第四季度 75,360.34 41.27% 36,763.58 27.67% 44,167.77 35.82%
合计 182,599.81 100.00% 132,847.68 100.00% 123,302.97 100.00%
报告期内，公司第四季度收入占比较高，收入确认呈现**季节性特征，主
要系绿色厂务系统收入具有季节性特征所致。2021年至2023年，公司绿色厂务系
统收入占总体销售收入的比例均超过60%。
公司绿色厂务系统收入具有**季节性特征，主要原因系：
（1）公司绿色厂
务系统业务执行进度受下游客户立项及投资建设节奏影响，收入确认与客户项目
实施及验收密切相关。主要客户系央企、国企与上市公司，普遍存在上半年项目
招标或集中开工，下半年尤其是第四季度进行项目具体实施并验收结算的情形；
（2）公司绿色厂务系统系半导体生产产线洁净室的关键系统之一，若公司分包
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项目绿色厂务系统无法交付验收，则整个半导体产线建设的其他分包系统施工调
试、设备搬入安装等工作将难以进行。为确保总体项目按时完成，总包商或终端
客户会要求公司在年底前提前完成工作，避免生产投产延期。
（3）根据行业惯例，
大部分项目实施现场存在春节前提前放假，春节后重新招工的情形，因此为避免
元旦至春节期间的额外人工成本，公司倾向于在年底前提高项目执行效率，提前
完成交付和验收工作。
因此，公司绿色厂务系统业务收入以及总体销售收入具有第四季度收入占比
较高的特征具有合理性。
气处理设备销售收入对总体销售收入的季度收入分布影响增大，同时当期受公共
卫生事件等客观因素影响，公司主要项目的现场施工建设、人员调配、材料及设
备供应和运输等受到了**程度的不利影响，全年绿色厂务系统收入占主营业务
收入的比例由76.31%下降至65.40%。2022年，青岛芯恩 Fab-C 项目（工艺废气处
理设备）集中在第三季度交付验收，使得第三季度销售收入较高，第四季度销售
收入占比**。若仅考虑绿色厂务系统收入，2022年第四季度收入占全年绿色厂
务系统收入的比例为33.66%，呈现第四季度收入占比较高的特征。
此外，随着公司业务规模逐步扩大，能够参与及承接的单个项目规模也逐渐
变大，部分合同金额较大的项目验收亦对收入分布产生**影响。报告期各期第
四季度收入主要项目分析详见本题回复之“三”之“（一）报告期各期第四季度
确认收入前五大项目情况”内容。
综上所述，公司存在四季度收入占比较高的情形，具有合理性。
（三）与同行业可比公司不存在较大差异，不存在收入跨期情形
报告期内，公司第四季度收入分布与同行业可比公司对比情况如下：
年份 季度 盛剑科技 正帆科技 至纯科技 京仪装备 中科仪
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年份 季度 盛剑科技 正帆科技 至纯科技 京仪装备 中科仪
第二季度 27.85% 24.35% 22.08% 33.56%
第三季度 16.44% 27.81% 22.82% 23.45%
第四季度 41.27% 37.13% 30.22% 18.61%
**季度 14.26% 13.39% 17.96% 24.78%
第二季度 27.27% 21.48% 18.76% 33.53%
第三季度 30.80% 31.83% 26.42% 22.56%
第四季度 27.67% 33.30% 36.86% 19.13%
**季度 14.29% 9.36% 11.09% 23.52%
第二季度 21.83% 33.53% 33.08% 26.25%
第三季度 28.06% 24.35% 17.37% 27.92%
第四季度 35.82% 32.75% 38.46% 22.31%
公司第四季度收入占比较高主要系绿色厂务系统的交付验收通常在四季度
完成，使得第四季度收入占比较高。系统类收入占比较高的正帆科技、至纯科技
的收入季节性特征与公司接近，具体如下：
正帆科技的主营业务包括高纯气体和湿化学品供应系统、泛半导体工艺设备
模块与子系统等系统类业务。一方面，该类业务受春节放假影响，**季度的开
工与项目验收相对较少，项目招投标手续或商务谈判一般在春节后陆续开展且项
目实施及客户验收存在时间周期；另一方面，正帆科技所处行业惯例为第四季度
对项目验收，导致公司第四季度营业收入占比相对较高。上述季节性特征与公司
接近。
至纯科技的主营业务包括高纯工艺系统业务。至纯科技的收入确认具有季节
性特点，受传统春节假期影响，**季度的开工与签约量相对较低，由于下**
业工程建设和设备安装等主要集中在下半年尤其是第四季度，因此高纯工艺系统
业务收入经常确认在下半年尤其是第四季度。上述季节性特征与公司接近。
京仪装备主营业务系半导体专用设备销售，半导体专用设备的收入季节性主
要受客户产线建设、采购和验收进度的影响。京仪装备主要客户相对集中，客户
根据各自产线规划及建设进度等综合考量后开展固定资产投资，并进行设备安装
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和验收，采购行为具有集中性且时间点不均匀，同时设备安装和验收进度亦受产
线整体建设进度、验收要求不同等多种因素影响而有所变化，导致了其各季度经
营业绩存在**波动。报告期内，公司主营业务中设备及关键零部件收入占比较
低，因此京仪装备上述季节性特征与公司不同，具有合理性。
综上，公司收入确认季节性特征和同行业可比公司不存在重大差异，公司不
存在收入跨期的情形。
四、公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否匹
配，与同行业可比公司的差异情况及合理性；公司销售人员人均薪酬较高的原因，
公司业务订单的获取方式，相关业务获取过程是否合法合规
（一）公司各类费用主要构成及变动情况，与公司经营情况及业务规模是否
匹配，与同行业可比公司的差异情况及合理性
报告期内，公司销售费用主要构成及变动情况如下：
单位：万元
项目 占收 占收 占收 占收
金额 金额 金额 金额
入比 入比 入比 入比
职工薪酬 3,944.14 3.97% 5,018.40 2.75% 4,050.78 3.05% 2,183.22 1.77%
业务招待费 878.41 0.88% 1,361.49 0.75% 600.11 0.45% 860.96 0.70%
差旅费 58.53 0.06% 109.18 0.06% 101.30 0.08% 68.82 0.06%
股份支付 62.61 0.06% 6.91 0.00% 19.67 0.01% 23.08 0.02%
销售服务费 73.12 0.07% 8.38 0.00% 694.46 0.52% 285.46 0.23%
办公费 5.54 0.01% 3.70 0.00% 30.03 0.02% 41.50 0.03%
售后维护费 - - 1,660.53 0.91% 1,157.75 0.87% 792.06 0.64%
其他 376.09 0.38% 178.93 0.10% 255.12 0.19% 183.98 0.15%
合计 5,398.45 5.43% 8,347.52 4.57% 6,909.23 5.20% 4,439.09 3.60%
公司销售费用主要包括职工薪酬、业务招待费和售后维护费等，这三类销售
费用合计占比在90%左右。
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（1）公司销售费用之职工薪酬及变动情况
报告期内，公司销售费用中列示的职工薪酬主要包括两大类人员：专职销售
人员和销售支持人员。专职销售人员的主要职责包括市场调查、制定销售策略、
开拓新的区域市场及潜在新客户、与客户进行商业谈判并完成销售订单的签署、
维护客户关系、追踪客户回款和订单执行情况等。销售支持人员主要是项目人员，
在项目验收后负责项目跟踪服务、技术检查、及时响应及配合客户需求等服务，
其薪酬按照项目进行归集计入销售费用。
报告期各期，公司专职销售人员及销售支持人员数量如下：
单位：人
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
专职销售人员 14 14 12 10
销售支持人员 233 224 176 99
注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数
专职销售人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的销售人员人次/当期月份数
公司销售收入规模逐年增长，专职销售人员随之递增。同时，随着开工项目
数量逐年增多，为更好的服务客户，提高客户满意度，销售支持人员数量整体增
加，2023年增长较快，主要系当年完工项目较多所致。
报告期内，公司销售支持人员与服务项目数量匹配关系如下：
单位：人、个、人/个
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
销售支持人员 233 224 176 99
服务项目数量 85 77 61 37
项目平均服务人数 2.7 2.9 2.9 2.7
注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数
报告期内，剔除销售支持人员数量及其薪酬后，公司专职销售人员人均薪酬
情况如下：
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
专职销售人员总薪酬（万元） 499.93 464.79 355.84 208.26
专职销售人员数量（人） 14 14 12 10
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项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
专职销售人员年均薪酬（万元） 35.71 33.20 29.65 20.83
注：专职销售人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的销售人员人次/当期月份数
报告期内，公司专职销售人员人均薪酬呈逐年递增趋势，主要系公司为更好
的激励销售人员提高了相应的薪资水平，2022年专职销售人员年均薪酬增长较
大，主要系公司招募了资深销售人员，定级薪酬较高所致。2024年1-9月，公司
专职销售人员人均薪酬较高，主要系新加坡子公司当年新入职销售人员薪酬较高
所致。
报告期内，公司销售支持人员人均薪酬情况如下：
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
销售支持人员总薪酬（万元） 3,444.21 4,553.61 3,694.94 1,974.97
销售支持人员数量（人） 233 224 176 99
销售支持人员年均薪酬（万元） 14.78 20.33 20.99 19.95
注：销售支持人员数量=当期计入销售费用职工薪酬的项目人员人次/当期月份数
报告期内，公司同行业上市公司的销售人员薪酬情况如下：
单位：万元
公司名称 2023年度 2022年度 2021年度
正帆科技（上海市） 28.06 35.90 39.58
至纯科技（上海市） 31.64 25.29 37.72
中科仪（苏州市） 23.41 14.06 23.65
京仪装备（北京市） 16.20 10.60 12.18
平均值 24.83 21.46 28.28
平均值（剔除京仪装备数据） 27.70 25.08 33.65
公司（专职销售人员） 33.20 29.65 20.83
注1：人均薪酬=销售费用之薪酬金额/（（期末销售人员数量 期初销售人员数量）/2）
；
注2：京仪装备销售人员中包括销售及技术支持人员，公开数据未披露其销售人员具体
人员构成，京仪装备技术支持人员主要在客户现场提供服务，在客户现场驻场并向客户推介
产品并与客户对接产品需求、配合客户进行产品验证、在客户现场装机、跟踪产品验收等工
作。
人员薪酬略高于公司；2022年，正帆科技和至纯科技销售人员平均薪酬均有所下
降，主要系相关年度上述公司新招聘销售人员较多所致，具体情况如下：
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项目 2023年12月31日 2022年12月31日 2021年12月31日
正帆科技销售人员数量 109 61 49
正帆科技新增销售人员数量 48 12 -
至纯科技销售人员数量 135 149 95
至纯科技新增销售人员数量 -14 54 -
了部分业内资深销售人员，销售人员平均薪酬提升。公司销售人员平均薪酬与正
帆科技和至纯科技接近。
报告期内，中科仪与京仪装备销售人员平均薪酬低于本公司。其中，中科仪
总部位于苏州市，其销售人员薪酬低于公司。京仪装备销售人员数量较多，包括
部分售后支持人员，使得其销售人员薪酬低于公司。
综上所述，公司销售人员人均薪酬与同行业可比公司不存在重大差异。
（2）公司销售费用之业务招待费及变动情况
报告期内，公司业务招待费占比较高，2022年业务招待费较低主要系卫生事
件使得业务招待减少所致，2023年，随着公共卫生事件的缓解，公司加大客户开
拓力度，使得业务招待费增加。
（3）公司销售费用之售后维护费及变动情况
公司售后维护费为公司根据合同约定及业主需求为已完工的项目履行合同
维保义务所发生的费用，企业会计准则应用指南2024年明确了关于保证类质保费
用的列报规定，公司于2024年起将原列报于销售费用的售后质保期维护费计入主
营业务成本。随着公司业务规模扩大，相关安装及售后维护费用增加。
因此，公司销售费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模
匹配一致。
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（4）公司销售费用与同行业可比上市公司比较情况
报告期内，公司可比上市公司销售费用明细占收入比情况如下：
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
职工薪酬及股份支付 0.88% 1.36% 3.73% 3.52% 2.37% 2.75%
业务招待费及差旅费 0.25% 1.11% 1.73% 1.08% 1.04% 0.81%
市场推广及展览费 0.08% 0.41% 0.16% 0.00% 0.16% 0.00%
售后服务费及质保费 0.19% 0.00% 5.90% 2.96% 2.26% 0.91%
其他 0.32% 0.41% 0.24% 0.66% 0.41% 0.10%
合计 1.73% 3.28% 11.75% 8.22% 6.25% 4.57%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
职工薪酬及股份支付 0.87% 1.24% 2.55% 2.18% 1.71% 3.06%
业务招待费及差旅费 0.31% 0.61% 1.34% 0.67% 0.74% 0.53%
市场推广及展览费 0.02% 0.49% 0.36% 0.00% 0.22% 0.52%
售后服务费及质保费 0.24% 0.00% 5.70% 3.84% 2.45% 0.87%
其他 0.32% 0.39% 0.19% 0.45% 0.34% 0.21%
合计 1.77% 2.72% 10.14% 7.14% 5.44% 5.20%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
职工薪酬及股份支付 1.06% 1.72% 1.65% 2.94% 1.84% 1.79%
业务招待费及差旅费 0.31% 0.78% 1.32% 1.58% 0.99% 0.76%
市场推广及展览费 0.11% 0.55% 0.88% 0.00% 0.39% 0.23%
售后服务费及质保费 0.30% 0.00% 4.95% 6.02% 2.82% 0.64%
其他 0.44% 0.50% 0.22% 0.63% 0.45% 0.18%
合计 2.22% 3.55% 9.02% 11.18% 6.49% 3.60%
报告期内，公司与同行业可比公司销售费用构成均以职工薪酬为主，其余主
要费用包括维修服务费、业务招待费、差旅费等，各可比公司由于各年度业务开
展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。
报告期内，公司销售费用占收入比例高于正帆科技和至纯科技，主要原因系
正帆科技和至纯科技收入规模较大，规模效应使得其单位销售费用带来的收入提
升，其销售费用占收入比例较小。公司销售费用占收入比例低于京仪装备和中科
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仪，主要原因系京仪装备和中科仪销售收入中设备收入占比高，使得售后服务费
及质保费占收入的比例较高。
报告期内，公司管理费用主要构成及变动情况如下：
单位：万元
项目 占收 占收 占收 占收
金额 金额 金额 金额
入比 入比 入比 入比
职工薪酬 3,552.72 3.58% 3,705.77 2.03% 2,753.65 2.07% 2,475.04 2.01%
折旧及摊销 736.37 0.74% 1,035.23 0.57% 261.44 0.20% 206.79 0.17%
中介咨询费 495.73 0.50% 625.57 0.34% 564.75 0.43% 495.23 0.40%
股份支付 461.23 0.46% 25.16 0.01% 333.99 0.25% 211.03 0.17%
业务招待费 275.21 0.28% 420.95 0.23% 370.05 0.28% 225.05 0.18%
租赁费 339.39 0.34% 383.59 0.21% 233.72 0.18% 161.70 0.13%
办公费 292.82 0.29% 773.14 0.42% 410.39 0.31% 254.70 0.21%
差旅费 103.27 0.10% 239.94 0.13% 128.67 0.10% 64.96 0.05%
其他 171.09 0.17% 141.64 0.08% 193.64 0.15% 242.02 0.20%
合计 6,427.83 6.47% 7,351.00 4.03% 5,250.30 3.95% 4,336.52 3.52%
公司管理费用主要包括职工薪酬、折旧及摊销、中介咨询费、办公费与业务
招待费等，其中职工薪酬金额占收入比**。
（1）公司管理费用之职工薪酬及变动情况
报告期内，公司管理费用的职工薪酬主要包括管理人员及中后台行政人员等
人员的薪酬，其中2023年增长较多主要系当年新招聘人员较多所致。
报告期内，公司管理费用人均薪酬如下：
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
管理费用人员总薪酬（万元） 4,013.95 3,730.93 3,087.64 2,686.07
管理费用人员数量（人） 117 110 90 72
管理费用人员年均薪酬（万元） 34.31 34.07 34.31 37.57
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注：管理人员总薪酬包括薪酬及股份支付费用；管理费用人员数量=（期末人员数量
期初人员数量）/2
报告期内，公司管理费用中人均薪酬较高，主要系管理人员薪酬较高且公司
实施股权激励产生股份支付费用所致。2024年1-9月，人均薪酬较高主要系当年
发生**离职补偿费用所致。
（2）公司管理费用之折旧及摊销及变动情况
系2022年底嘉定研发**及配套办公基地建设工程达到预定可使用状态，公司管
理和研发等部门搬入新办公室，使得折旧摊销及办公费用增加。
（3）公司管理费用之股份支付费用及变动情况
锁条件，股份支付费用相应减少所致。
因此，公司管理费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模
匹配一致。
（4）公司管理费用与同行业上市公司比较情况
报告期内，公司可比公司管理费用明细及占收入比重情况如下：
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
职工薪酬及
股份支付
折旧及摊销 0.74% 2.07% 0.71% 0.44% 0.99% 0.57%
中介咨询费
业务招待费
及差旅费
其他 0.92% 2.48% 1.07% 2.16% 1.66% 0.71%
合计 7.44% 10.73% 7.97% 7.65% 8.45% 4.03%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
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股份支付
折旧及摊销 1.07% 1.66% 0.47% 0.21% 0.86% 0.20%
中介咨询费
及服务费
业务招待费
及差旅费
其他 1.11% 3.40% 0.71% 1.41% 1.66% 0.63%
合计 9.82% 10.15% 7.73% 6.89% 8.65% 3.95%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
职工薪酬及
股份支付
折旧及摊销 1.22% 1.65% 0.70% 0.56% 1.03% 0.17%
中介咨询费
业务招待费
及差旅费
其他 1.11% 3.14% 0.69% 2.64% 1.90% 0.53%
合计 9.87% 9.57% 9.25% 7.16% 8.96% 3.52%
报告期内，公司与同行业可比上市公司管理费用构成均以职工薪酬为主，其
余主要费用包括折旧摊销费用、股份支付费用、办公费等，各可比上市公司由于
各年度业务开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。
公司严格管控各项费用开支，报告期内，公司管理费用占收入比重低于同行
业可比公司平均值，主要由于公司管理费用中职工薪酬支出占收入比重低于可比
公司。报告期内，公司精简中后台人员，提高人效，因此管理费用中的中后台人
员薪酬支出占收入比重较低。
报告期内，公司研发费用主要构成及变动情况如下：
单位：万元
项目 占收 占收 占收 占收
金额 金额 金额 金额
入比 入比 入比 入比
直接材料 3,005.65 3.02% 6,066.10 3.32% 4,512.59 3.40% 3,287.55 2.67%
**杭州市钱江新城新业路 8 号 UDC 时代大厦 A 座 5-8 层、12 层、23 层 www.zhcpa.cn
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职工薪酬 2,481.51 2.50% 3,239.43 1.77% 2,165.04 1.63% 1,836.91 1.49%
股份支付 71.53 0.07% 9.77 0.01% 269.78 0.20% 166.55 0.14%
折旧与摊
销
其他 388.64 0.39% 412.67 0.23% 200.02 0.15% 184.26 0.15%
合计 6,627.59 6.67% 10,215.76 5.59% 7,333.12 5.52% 5,618.64 4.56%
报告期内，公司研发费用主要为直接材料和职工薪酬，2021年至2023年呈明
显增长趋势，主要原因系：
（1）为推动公司技术迭代和产品升级，公司通过持续
加大研发投入，以保持产品的市场竞争力，公司研发人员数量持续增加，职工薪
酬随之增长；（2）公司秉持“行业延伸 产品延伸”的发展战略，进一步深化在
半导体产业链的延伸布局，加大在半导体附属设备及关键零部件相关领域的研发
及验证测试投入。
因此，公司研发费用各项明细波动及占比情况，与公司经营情况及业务规模
匹配一致。
报告期内，公司可比公司研发费用明细及占收入比情况如下：
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
直接材料 2.14% 3.42% 1.79% 3.96% 2.83% 3.59%
职工薪酬 3.30% 1.95% 5.01% 4.28% 3.63% 1.77%
股份支付 0.15% 0.00% 0.00% 0.00% 0.04% 0.01%
折旧与摊销 0.48% 1.12% 0.60% 0.16% 0.59% 0.23%
其他 0.48% 0.63% 0.89% 1.54% 0.88% 0.00%
合计 6.55% 7.11% 8.29% 9.94% 7.97% 5.59%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
直接材料 2.24% 2.02% 1.57% 2.68% 2.13% 3.54%
职工薪酬 2.76% 2.07% 4.29% 3.71% 3.21% 1.63%
股份支付 0.05% 0.00% 0.00% 0.00% 0.01% 0.20%
折旧与摊销 0.12% 1.11% 0.55% 0.10% 0.47% 0.15%
其他 0.37% 1.12% 0.89% 2.11% 1.12% 0.00%
合计 5.54% 6.32% 7.29% 8.61% 6.94% 5.52%
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正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
直接材料 1.40% 2.16% 1.07% 5.39% 2.51% 2.78%
职工薪酬 2.28% 2.37% 4.20% 4.48% 3.33% 1.49%
股份支付 0.00% 0.00% 0.00% 0.00% 0.00% 0.14%
折旧与摊销 0.07% 0.67% 0.63% 0.21% 0.39% 0.15%
其他 0.51% 1.72% 0.65% 1.90% 1.19% 0.00%
合计 4.26% 6.93% 6.55% 11.98% 7.43% 4.56%
报告期内，公司与同行业可比公司研发费用构成均以职工薪酬和直接材料为
主，其余主要费用包括折旧摊销费用和股份支付费用等，各公司由于各年度业务
开展情况的不同，从而导致费用结构略有差异。
报告期内，公司研发费用占收入比重与正帆科技接近，略低于其余上市公司，
主要受收入结构影响。其中，中科仪和京仪装备研发费用占收入比例较高，主要
系其收入规模较小所致。
报告期内，公司财务费用情况如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
利息费用净额 1,006.29 824.20 425.57 154.60
其中：利息费用总额 1,111.10 831.69 467.42 219.36
减：利息资本化 104.81 - 41.85 64.76
减：财政贴息 - 7.49 - -
利息收入（收益以“-”填列） -240.72 -366.29 -521.48 -675.84
汇兑损益（收益以“-”填列） 113.10 -18.05 -201.19 81.59
手续费支出 -3.64 268.89 96.71 116.14
合计 875.02 708.75 -200.39 -323.51
报告期内，公司财务费用分别为-323.51万元、-200.39万元、708.75万元和
报告期内，公司利息费用呈**上升趋势，主要系公司根据业务发展和项目
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建设需求，借入银行借款所致。公司财务费用各项明细波动及占比情况，与公司
经营情况及业务规模匹配一致。
报告期内，公司可比公司财务费用占收入比重情况如下：
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
利息费用净额 0.68% 4.81% 0.55% 0.41% 1.61% 0.45%
利息收入（收益以
-0.52% 0.00% -0.82% -0.73% -0.52% -0.20%
“-”填列）
“-”填列）
手续费支出 0.09% 0.37% 0.01% 0.04% 0.12% 0.15%
合计 0.37% 5.87% -0.34% -0.32% 1.39% 0.39%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
利息费用净额 0.67% 3.57% 0.58% 0.08% 1.22% 0.32%
利息收入（收益以
-0.49% 0.00% -0.08% -0.67% -0.31% -0.39%
“-”填列）
“-”填列）
手续费支出 0.08% 0.12% 0.05% 0.05% 0.07% 0.07%
合计 0.28% 2.78% 0.35% -0.55% 0.71% -0.15%
正帆 至纯 京仪 盛剑
期间 项目 中科仪 平均值
科技 科技 装备 科技
利息费用净额 0.20% 3.51% 0.46% 0.00% 1.04% 0.13%
利息收入（收益以
-0.46% 0.00% -0.05% -0.40% -0.23% -0.55%
“-”填列）
“-”填列）
手续费支出 0.06% 0.10% 0.02% 0.08% 0.06% 0.09%
合计 -0.20% 3.77% 0.68% -0.32% 0.98% -0.26%
报告期内，公司与同行业可比公司财务费用构成均以利息费用为主，其余主
要费用包括利息收入和汇兑损益，各公司由于各年度业务开展情况的不同，从而
导致费用结构略有差异。
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（二）公司销售人员人均薪酬较高的原因，公司业务订单的获取方式，相关
业务获取过程是否合法合规
报告期内，公司销售费用中列示的职工薪酬主要包括两大类人员：专职销售
人员和销售支持人员，专职销售人员人均薪酬与同行业可比公司不存在重大差
异，不存在人均薪酬较高的情形。具体详见本题回复之“四”之“（一）”之“1、
公司销售费用主要构成及变动情况”内容。
报告期内，公司的系统类业务通过招投标和商务谈判获取，公司的设备类业
务主要通过商务谈判获取。报告期内，公司主营业务收入中通过招投标和商务谈
判获取的业务对应的收入金额和占比情况如下：
单位：万元
项目
金额 占比 金额 占比 金额 占比 金额 占比
招投标 48,122.22 48.43% 45,072.66 24.68% 58,228.36 43.83% 43,106.19 34.96%
商务谈判 51,245.29 51.57% 137,527.15 75.32% 74,619.32 56.17% 80,196.77 65.04%
合计 99,367.51 100.00% 182,599.81 100.00% 132,847.68 100.00% 123,302.97 100.00%
公司以非招投标方式获取的项目均不属于《中华人民共和国招投标法》规定
的必须采用招投标采购的情形，相关业务获取过程合法合规。
五、公司主要客户背景、企业性质、成立时间、注册资本、员工人数，以及
与公司的合作情况、是否存在关联关系，相关销售规模与客户需求的匹配情况
报告期内，公司主要客户为大型央企、国企和上市公司等，主要客户成立时
间较长，注册资本金额和员工人数规模较大，与公司合作期间较长，公司与主要
客户均不存在关联关系，相关销售规模与客户需求相匹配。
报告期内，公司各期前五大客户的基本情况如下：
序 企业 注册资本 是否存在
客户名称 成立时间 员工人数 与公司合作情况
号 性质 （万元） 关联关系
**电子系统工程
第四建设有限公司
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第二建设有限公司
北京京东方创元科 上市
技有限公司 公司
团开始合作）
益科德（上海）有
限公司
国有
企业
国有
企业
国有
企业
北京北方华创微电 上市
子装备有限公司 公司
武汉华星光电技术 上市
有限公司 公司
楷德电子工程设计 民营
有限公司 企业
厦门天马光电子有 国有
限公司 企业
微电子集团合作）
厦门天马显示科技 国有
有限公司 企业
微电子集团合作）
信息产业电子第十
上市
公司
工程股份有限公司
注：员工人数数据来源为企查查公示信息。
上述主要已上市客户或其控股股东发布的定期披露数据中披露的最近一年
收入情况如下：
单位：亿元
发行人2023 销售与
序 企业 2023年度
客户名称 股票简称 股票代码 年对其销售 需求是
号 性质 收入
收入 否匹配
**电子系统工程 上市
第四建设有限公司 公司
北京京东方创元科 上市
技有限公司 公司
**电子系统工程 上市
第二建设有限公司 公司
北京北方华创微电 上市
子装备有限公司 公司
武汉华星光电技术 上市
有限公司 公司
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一设计研究院科技 公司
工程股份有限公司
注：上述列示公司主要客户均系上市公司全资或控股子公司，由于无法获取其公开渠道
数据，故此处列示收入为上市公司合并口径收入。
结合公司主要客户中已上市公司公开披露的数据来看，公司主要客户的销售
额与客户需求及客户自身规模匹配一致。
六、中介机构核查情况
（一）核查程序
针对上述问题，申报会计师执行了以下核查程序：
况；查阅下游应用领域市场情况，分析各业务收入及毛利率的变动原因；查阅同
行业公司可比业务的毛利率情况，分析差异原因；
入确认政策是否符合企业会计准则的规定；
符合行业惯例；
发行人会计处理是否符合企业会计准则的规定，核查竣工结算调整单据比例为
律，查看企业收入确认季节分布是否符合行业特征；
开票、回款资料等，询问并检查约定工期与验收时间存在较大偏差的原因，检查
项目回款情况；对销售收入执行截止测试程序，核查是否存在收入跨期或提前确
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认收入的情形。报告期各期截止测试程序核查比例分别为30.91%、31.69%、
断是否与发行人经营情况及业务规模相匹配；查询同行业可比公司的各类费用构
成情况，分析差异情况及合理性；
行人业务订单的获取方式，判断相关业务获取过程的合法合规性；
阅客户披露的财务数据，分析相关销售规模与客户需求的匹配情况。
（二）核查意见
经核查，申报会计师认为：
业公司对比及差异情况具有合理性。
合行业惯例，不存在提前确认收入情形；公司竣工决算时点调整收入的规模较小，
依据具有合理性，会计处理符合《企业会计准则》相关规定。
较大差异，公司不存在收入跨期情形。
同行业可比公司存在的差异情况具有合理性；销售人员人均薪酬较高的原因具有
合理性，公司业务订单的获取方式主要包括招投标和商务谈判，相关业务获取过
程合法合规。
有匹配性。
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问题3.2：关于业务及经营情况
根据申报材料，1）报告期各期末，公司应收账款账面价值分别为68,698.98
万元、100,637.72万元、132,674.02万元及122,027.79万元，1年以上的应收账款余
额占比分别为25.58%、37.87%、39.02%及46.53%，公司应收账款周转率低于同
行业平均水平，公司部分应收账款客户存在涉诉或破产情形。2）报告期各期末，
公 司 存 货 账 面 价 值 分 别 为 18,273.70 万 元 、 34,951.62 万 元 、 65,506.15 万 元 及
货周转率高于同行业平均水平。3）报告期各期末，公司固定资产账面价值分别
为8,951.54万元、33,337.01万元、38,902.05万元和38,467.85万元，以房屋建筑物
与机械设备为主。公司在建工程、使用权资产余额最近一期规模增长。4）报告
期各期末，公司持有**规模的有息借款和货币资金，其中有息借款以短期借款、
一年内到期非流动负债、长期借款为主，货币资金主要系银行存款和银行承兑汇
票受限保证金。5）报告期内，公司资产负债率分别为38.35%、45.19%、53.76%、
定差异。
请发行人说明：
（1）公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、
信用政策及账龄情况，分析公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提
升的原因及合理性，公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因，部分总承
包项目实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的具体影响；
（2）报
告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及涉诉、破产、
逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提情况及依据，结
合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分；
（3）公司存货规模持
续增长的原因，在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年存货的形成背景、尚未结
转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，相关设备尚未安装或完成调试
的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期是否存在差异；结合公
司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌价计提是否充分，与
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同行业公司是否存在较大差异；
（4）公司固定资产规模持续增加的原因，相关折
旧摊销政策与同行业公司是否存在较大差异；公司在建工程和使用权资产变动原
因，在建工程中相关项目情况，建设进度是否符合预期，是否存在延期转固情形；
（5）公司同时持有**规模货币资金及有息负债的原因及合理性，利息收入及
支出与存**规模是否匹配，公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等是
否匹配；
（6）报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异
较大的原因，结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在
短期偿债风险。请保荐机构及申报会计师进行核查并发表明确意见，说明核查方
法、核查比例及核查依据。
【回复】
一、公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策及账
龄情况，分析公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因及合
理性，公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因，部分总承包项目实际按
照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的具体影响
（一）公司报告期内应收账款主要客户的交易内容、销售金额、信用政策及
账龄情况
报告期各期末，公司应收账款前五名客户情况如下：
单位：万元
项目
应收账款余额前五
名合计金额
应收账款期末余额 139,723.18 148,790.69 111,407.17 74,618.98
前五名应收账款余
额合计占余额比例
公司应收账款主要客户为报告期各期末应收账款余额前五名客户，其各期应
收账款期末余额占公司应收账款总额的比例在40%以上。
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截至2024年9月30日，发行人应收账款账面余额前五名情况如下表：
单位：万元
应收账款账面 2024年1-9月 期后回款金 期后回款比
客户名称 交易内容 信用政策 1年以内 1年以上
余额 销售金额 额 例
**电子系统工程 绿色厂务系统、设 收款节点 收
第二建设有限公司 备及关键零部件 款比例
**电子系统工程 绿色厂务系统、设 收款节点 收
第四建设有限公司 备及关键零部件 款比例
北京北方华创微电 收到发票之后
子装备有限公司 90日
楷德电子工程设计 绿色厂务系统、设 收款节点 收
有限公司 备及关键零部件 款比例
收款节点 收
客户E 6,406.74 22,292.95 绿色厂务系统 6,406.74 - 3,975.90 62.06%
款比例
合计 56,045.89 43,195.58 / / 32,753.94 23,291.95 32,469.22 57.93%
注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
单位：万元
应收账款账面 2023年度销 期后回款金 期后回款比
客户名称 交易内容 信用政策 1年以内 1年以上
余额 售金额 额 例
**电子系统工程 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
第二建设有限公司 及关键零部件 款比例
**电子系统工程 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
第四建设有限公司 及关键零部件 款比例
北京北方华创微电 11,637.87 1,900.06 设备及关键零部件 收到发票之后 1,876.43 9,761.44 10,377.18 89.17%
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应收账款账面 2023年度销 期后回款金 期后回款比
客户名称 交易内容 信用政策 1年以内 1年以上
余额 售金额 额 例
子装备有限公司 90日
楷德电子工程设计 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
有限公司 及关键零部件 款比例
收款节点 收
客户B 7,554.30 17,488.08 绿色厂务系统 7,554.30 - 7,554.30 100.00%
款比例
合计 65,447.46 98,626.85 / / 47,221.89 18,225.57 60,308.62 92.15%
注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
单位：万元
应收账款 2022年度销 期后回款金 期后回款比
客户名称 交易内容 信用政策 1年以内 1年以上
账面余额 售金额 额 例
北京北方华创微电 收到发票之
子装备有限公司 后90日
**电子系统工程 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
第二建设有限公司 及关键零部件 款比例
厦门天马显示科技 收款节点 收
有限公司 款比例
中建凯德电子工程 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
设计有限公司 及关键零部件 款比例
**电子系统工程 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
第四建设有限公司 及关键零部件 款比例
合计 44,694.62 44,254.98 / / 30,797.03 13,897.60 44,694.62 100.00%
注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
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单位：万元
应收账款账面 2021年度销 期后回款金 期后回款比
客户名称 交易内容 信用政策 1年以内 1年以上
余额 售金额 额 例
**电子系统工程 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
第二建设有限公司 及关键零部件 款比例
信息产业电子第十
收款节点 收
一设计研究院科技 7,418.36 9,926.64 绿色厂务系统 7,418.36 - 6,545.31 88.23%
款比例
工程股份有限公司
北京北方华创微电 收到发票之
子装备有限公司 后90日
绵阳惠科光电科技 绿色厂务系统、设备 收款节点 收
有限公司 及关键零部件 款比例
厦门天马显示科技 收款节点 收
有限公司 款比例
合计 36,096.31 57,833.41 / / 29,418.87 6,677.44 35,223.26 97.58%
注：期后回款情况统计至2025年2月28日。
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报告期各期末，公司应收账款前五名客户合计金额分别为36,096.31万元、
别为48.37%、40.12%、43.99%及40.11%，报告期内总体保持稳定，应收账款余额
和销售规模匹配。公司应收账款主要客户销售产品包括绿色厂务系统、设备及关键
零部件等，均为公司主要产品。
公司按照项目主体与客户签订合同，并将应收账款结算方式在合同中明确约
定。公司绿色厂务系统、设备及关键零部件业务主要采用“收款节点 收款比例”
的里程碑式收款方式。合同款项一般由预付款、到货款、验收款、质保金等构成。
（二）公司应收账款规模以及账龄一年以上应收账款占比提升的原因及合理性
报告期内，公司营业收入及应收账款结构如下：
单位：万元
项目 2024年9月30日
日 日 日
应收账款余额 139,723.18 148,790.69 111,407.17 74,618.98
营业收入 99,367.51 182,599.81 132,847.68 123,302.97
应收账款余额占
营业收入比例
公司2022年末和2024年9月末的应收账款余额占当期营业收入比例均存在较大
上升的情形，公司应收账款余额及占营业收入的比例与公司产品销售情况、客户情
况、经营特点有关。
单位：万元
应收账款余 期末应收账款余额
当期收入金
客户名称 额较上年增 一年以内 一年以上
额 总额
加 金额 金额
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应收账款余 期末应收账款余额
当期收入金
客户名称 额较上年增 一年以内 一年以上
额 总额
加 金额 金额
北京北方华创微电子
装备有限公司
楷德电子工程设计有
限公司
武汉华星光电技术有
限公司
客户 C 4,724.56 15,377.65 4,724.56 4,724.56 -
深圳市华星光电半导
体显示技术有限公司
由上表可知，2022年末公司应收账款余额大幅增加，其中北京北方华创微电子
装备有限公司增加金额较大，主要系公司向该客户销售的 L/S 设备大幅增加所致。
业 龙 头 客 户 的 批 量 订 单 ， L/S 设 备 销 售 收 入 由 上 年 的 9,057.95 万 元 增 加 至
京东方、燕东微、青岛芯恩等项目中均采购本公司产品，回款受下游客户回款等因
素影响存在**延迟，使得应收账款余额较上期末大幅增加。
此外，楷德电子工程设计有限公司、武汉华星光电技术有限公司、客户 C、深
圳市华星光电半导体显示技术有限公司等公司应收账款余额增加较多，主要系当期
该等客户项目验收，销售收入较大所致。
单位：万元
应收账款余 期末应收账款余额
当期收入金
客户名称 额较上年增 一年以内 一年以上
额 总额
加 金额 金额
**电子系统工程第
二建设有限公司
**电子系统工程第
四建设有限公司
客户 B 7,554.30 17,488.08 7,554.30 7,554.30 -
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应收账款余 期末应收账款余额
当期收入金
客户名称 额较上年增 一年以内 一年以上
额 总额
加 金额 金额
天和（上海）半导体
制程排气工业有限公 5,761.97 7,736.13 5,767.47 5,767.47 -
司
厦门天马光电子有限
公司
由上表可知，2023年末应收账款较2022年末变动金额较大的客户中，期末应收
账款余额大部分为一年以内金额，因此其应收账款余额增加主要来源于当期收入金
额的增加。2023年，随着公共卫生事件等相关不利因素影响逐渐消退，项目施工建
设恢复至正常状态，同时随着下游投资力度加大，公司承接集成电路领域项目规模
也有所增加，集成电路生产基地项目工艺排气系统等部分项目收入超过1亿元，带
动当期绿色厂务系统收入由2022年度的86,719.36万元提升至121,572.07万元。中
国电子系统工程第二建设有限公司、**电子系统工程第四建设有限公司系知名半
导体厂务建设总包商，报告期内公司与该等客户合作数十个项目，收入和应收账款
增长较快。
单位：万元
应收账款余 期末应收账款余额
当期收入金
客户名称 额较上年增 一年以内 一年以上
额 总额
加 金额 金额
客户 E 6,406.74 22,292.95 6,406.74 6,406.74 -
北京京东方创元科技
有限公司
益科德（上海）有限
公司
天颂建设集团有限公
司太原分公司
北京七星华创集成电
路装备有限公司
由上表可知，2024年9月末应收账款较2023年末变动较大金额主要来源于当期
收入。公司终端客户受项目进度安排、下游客户回款等因素影响，通常四季度回款
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比例较高（2021年至2023年第四季度销售商品提供劳务收到的现金流占全年现金流
的比例平均为45.85%），因此2024年9月末应收账款余额较高具有**合理性；同时
受下游客户招投标、预算制定，施工安排的影响，公司项目主要集中在下半年尤其
是第四季度验收，总体呈现第四季度收入相对较高的特征。上述因素综合使得公司
综上所述，公司应收账款规模提升主要系报告期内 L/S 设备、绿色厂务系统收
入增长所致，与公司业务发展情况匹配。2024年9月末应收账款余额较高，主要系
公司下游客户回款和项目验收具有季节性所致。公司在2024年四季度及2025年将针
对大额和长账龄应收账款加大催收力度以控制应收账款规模。
报告期各期末，公司账龄1年以上的应收账款余额占比分别为25.58%、37.87%、
公司账龄1年以上的应收账款余额占比较高主要原因如下：①部分总包商在合
同中约定了背靠背支付条款，或虽未约定背靠背支付条款但按照上述方式执行，使
得总包商的回款时间依赖于终端客户对总包商的付款时间。由于部分终端客户受宏
观经济、行业景气度、经营情况和项目整体进度等因素影响，使得其向总包商支付
款项进度不及时，进而导致总包商向公司回款延缓。②公司承接的部分项目系国有
资金投资项目，项目投资规模较大，部分合同条款约定的里程碑付款条件包括项目
需要整体联合调试、政府审核审计等。该类付款条件在实际执行过程受项目规模等
因素影响存在未及时完成的情形，导致公司回款延缓。③部分合同中包含部分质保
金款项（通常为合同金额的3%-10%）。该等质保金款项根据合同约定，于质保期（通
常为在验收完成后2年）结束后支付。质保期间，该等款项计入合同资产，待质保
期结束后转入应收账款。由于账龄连续计算，该款项账龄往往超过1年，且该款项
受请款流程等因素影响，进一步导致1年以上应收账款金额增大。
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公司管理层对应收账款回款问题一直高度重视，也在积极采取相应措施进行应
对（例如每周开专题会议督促应收账款回款进度、把应收账款回款作为销售人员的
重要 KPI 考核指标）。未来，公司将针对账龄1年以上的项目加大催收力度，**应
收账款的信用风险。
公司账龄1年以上的应收账款余额对应的客户主要是国企、央企和上市公司，
公司截至2024年9月30日账龄1年以上的应收账款余额中客户为国企、央企和上市公
司的应收账款余额占比合计为71.92%，该部分客户资信情况较好，经营规模较大，
出现不可回收的风险较小；公司截至2024年9月30日账龄1年以上的应收账款余额中
客户为非上市民企的应收账款余额占比合计为28.08%，整体坏账计提比例24.33%，
具体结构如下：
单位：万元
截至2024年9月30日一 截至2024年9月30日
截至2024年9月30日一
客户性质 年以上应收账款对应 一年以上应收账款对
年以上应收账款余额
的坏账计提金额 应的坏账计提比例
国央企 22,294.90 3,758.08 16.86%
非上市民企 18,252.37 4,441.64 24.33%
上市公司 24,463.47 5,762.56 23.56%
合计 65,010.74 13,962.27 21.48%
公司截至2024年9月30日客户性质为非上市民企的账龄1年以上应收账款余额
显示或集成电路企业、知名半导体行业总包商，经营规模较大，与公司合作时间长，
出现不可回收的风险较小，具体如下：
单位：万元
截至2024年9月30
截至2024年9月
日一年以上非上
非上市民企客户名称 30日一年以上应 客户性质
市民企应收账款
收账款余额
余额占比
楷德电子工程设计有限公司 6,473.78 35.47% 知名总包商
益科德（上海）有限公司 2,233.63 12.24% 知名总包商
长沙惠科光电有限公司 1,791.32 9.81% 惠科光电集团成员
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绵阳惠科光电科技有限公司 1,563.70 8.57% 惠科光电集团成员
西安欣芯材料科技有限公司 981.35 5.38% 西安奕斯伟子公司
合计 13,043.78 71.46% -
报告期各期末，公司账龄1年以上的应收账款的主要客户情况如下：
（1）公司截至2024年9月30日账龄1年以上应收账款的主要客户情况
单位：万元
序 1年以上应收 期后回款 期后回款
客户名称 客户背景
号 账款余额 金额 比例
**电子系统工程第二 中电系统总包
建设有限公司 商
楷德电子工程设计有限
公司
北京北方华创微电子装 上市公司北方
备有限公司 华创之子公司
**电子系统工程第四 中电系统总包
建设有限公司 商
武汉华星光电技术有限 TCL科技集团成
公司 员
合计 27,279.01 11,703.80 42.90% -
注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至2025年2月28日。
（2）公司截至2023年12月31日账龄1年以上应收账款的主要客户情况
单位：万元
序 1 年以上应收 期后回款 期后回款
客户名称 客户背景
号 账款余额 金额 比例
北京北方华创微电子装 上市公司北方华
备有限公司 创之子公司
知名集成电路制
造企业
武汉华星光电技术有限 TCL 科技集团成
公司 员
**电子系统工程第二
建设有限公司
惠科光电集团成
员
合计 24,268.11 14,742.87 60.75% -
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序 1 年以上应收 期后回款 期后回款
客户名称 客户背景
号 账款余额 金额 比例
注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至2025年2月28日。
（3）公司截至2022年12月31日账龄1年以上应收账款的主要客户情况
单位：万元
序 1年以上应收 期后回款 期后回款
客户名称 客户背景
号 账款余额 金额 比例
上市公司天马
厦门天马显示科技有
限公司
业
**电子系统工程第 中电系统总包
二建设有限公司 商
信息产业电子第十一
无锡市国资委
下属总包商
股份有限公司
益科德（上海）有限公
司
**电子系统工程第 中电系统总包
四建设有限公司 商
合计 18,100.79 13,942.44 77.03% -
注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至2025年2月28日。
（4）公司截至2021年12月31日账龄1年以上应收账款的主要客户情况
单位：万元
序 1 年以上应收 期后回款 期后回款
客户名称 客户背景
号 账款余额 金额 比例
**电子系统工程第二
建设有限公司
绵阳惠科光电科技有限 惠 科光电集 团成
公司 员
惠 科光电集 团成
员
上海环境卫生工程设计 上 海市国资 委下
院有限公司 属总包商
中 国建筑工 程股
中建三局**建设工程
有限责任公司
总包商
合计 10,945.87 10,741.20 98.13% -
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序 1 年以上应收 期后回款 期后回款
客户名称 客户背景
号 账款余额 金额 比例
注：上述回款金额系按照项目统计，期后回款金额截至2025年2月28日。
由上文可知，公司各期末账龄1年以上应收账款中，部分总承包商客户因约定
或实际执行背靠背条款结算，回款情况受终端客户回款情况影响较大；部分终端客
户回款情况则受项目进度、市场情况、宏观经济环境、项目整体联合调试、第三方
审计审核等因素影响，导致回款存在**延迟。
虽然上述客户存在回款延迟的情形，但上述终端客户和总承包商客户的集团背
景实力较为雄厚，终端客户中包括华星光电、惠科光电、天马微电子等半导体显示
领域龙头企业和客户 C、北方华创等集成电路知名企业，总包商客户中包括中电系
统、楷德电子工程设计有限公司等知名半导体厂务建设企业，整体信用度和经营情
况较好；上述客户与公司合作年限较长且持续有回款，因此应收账款损失风险较低。
综上所述，公司1年以上账龄增长较大主要系背靠背条款、付款条件未按时完
成、部分质保款回款较慢等原因导致，未回款客户主要系国央企、上市公司、行业
知名半导体显示/集成电路企业、知名半导体行业总包商等，经营规模较大，信用
良好，与公司合作时间长，出现不可回收的风险较小。公司管理层对应收账款回款
问题一直高度重视，也在积极采取相应措施进行应对。公司已根据会计政策计提坏
账准备，公司整体应收账款坏账准备计提充分。
（三）公司应收账款周转率低于同行业平均水平的原因
报告期各期，公司与同行业可比公司的应收账款周转率如下：
公司名称 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
正帆科技 2.17 3.25 4.10 4.44
至纯科技 0.99 1.39 1.84 1.91
京仪装备 2.69 3.54 3.42 2.99
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中科仪 未披露 5.66 5.12 3.64
平均值 1.95 3.46 3.62 3.25
盛剑科技 0.78 1.57 1.57 2.31
注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告。
从应收账款周转率来看，公司应收账款周转率低于正帆科技、京仪装备和中科
仪，与至纯科技接近。
正帆科技和至纯科技的系统类业务与公司绿色厂务系统业务接近。正帆科技提
供制程关键系统与装备、关键材料和专业服务等综合服务，除集成电路领域客户外，
太阳能光伏、光纤通信和生物医药等行业客户回款相对较快。至纯科技提供高纯工
艺系统的设计、安装、测试调试服务，与公司业务接近，主要客户系集成电路领域
客户。根据其**息披露，因为半导体行业整体受**环境影响，整体客户回款
不达预期，半导体设备类业务项目交付及回款均有不同程度的延迟。因此至纯科技
的应收账款周转率表现与公司接近。
中科仪及京仪装备的产品以半导体专用设备为主，项目周期短，验收之后回款
速度较快，因此应收账款周转率较高。
综上，公司应收账款周转率低于正帆科技、京仪装备和中科仪等同行业公司，
与至纯科技接近具有合理性。
（四）部分总承包项目实际按照背靠背条款执行的背景及原因，对结算周期的
具体影响
公司客户中，总承包商客户应收账款占比较大，报告期各期均超过50%。部分
总承包项目合同中约定“合同项下的合同价款来源于业主对客户的工程款支付，业
主不能按约定支付给客户的，客户应付公司款项的期限相应顺延，且不承担相应的
违约责任”。部分总承包商客户虽未约定，但按照上述方式执行。
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上述约定的原因系：公司业务集中在集成电路、半导体显示、新能源等领域，
项目周期长、复杂程度高、项目合同金额较大；项目**业主通常为国有企业、上
市公司，内部审批流程较复杂付款周期较长。总承包单位为了减小其资金压力和降
低经营风险，通常在合同约定背靠背结算条件，或者虽未约定背靠背条款但实际中
执行该条款，具有合理性，符合行业惯例。
报告期内，公司客户中执行背靠背付款方式的客户和非背靠背付款的客户的应
收账款和收入占比如下：
单位：万元
项 客户 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
目 性质 金额 占比 金额 占比 金额 占比 金额 占比
非背
应 59,776.66 42.78% 57,744.31 38.81% 55,418.27 49.74% 33,189.52 44.48%
靠背
收 背靠
账 79,946.53 57.22% 91,044.97 61.19% 55,990.29 50.26% 41,429.46 55.52%
背
款
合计 139,723.18 100.00% 148,789.29 100.00% 111,408.57 100.00% 74,618.98 100.00%
非背
销 57,296.57 57.66% 55,644.57 30.47% 70,046.83 52.73% 60,106.57 48.75%
靠背
售 背靠
收 42,070.94 42.34% 126,955.24 69.53% 62,800.85 47.27% 63,196.40 51.25%
背
入
合计 99,367.51 100.00% 182,599.81 100.00% 132,847.68 100.00% 123,302.97 100.00%
报告期内，客户回款周期差异较大，客户的回款周期除了受终端客户回款情况
影响外，还受到客户资金预算分配、内部请款流程快慢等因素影响，因此，单个客
户的回款周期并非仅仅受到背靠背结算方式的影响。综合主要客户和主要项目的回
款周期来看，背靠背结算客户的应收账款回款周期平均较长，平均比非背靠背结算
客户的应收账款回款周期长7个月左右。
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二、报告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及涉诉、
破产、逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提情况及依据，
结合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分
（一）报告期内公司应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因
报告期内，公司应收账款回款情况如下：
单位：万元
项目
应收账款余额 139,723.18 148,790.69 111,407.17 74,618.98
期后回款金额 55,729.95 82,628.81 75,300.78 67,170.44
回款比例 39.89% 55.53% 67.59% 90.02%
注：上述期后回款系统计截至2025年2月28日，各期末应收账款余额对应项目的回款金额。
公司与客户签订合同，约定分阶段付款，部分客户存在因预算管理、资金安排、
付款审批流程复杂、背靠背结算等原因，导致回款较慢，部分客户大额未回款的具
体情况参见本题回复之“一”之“（二）”之“2、账龄1年以上应收账款占比提升的
原因及合理性”。
（二）部分客户涉诉、破产、逾期情况，是否已出现较大信用风险，对于该类
客户的坏账计提情况及依据
报告期各期末，公司将债务人信用状况明显恶化、未来回款可能性较低、已经
发生信用减值等信用风险特征明显不同的应收账款单独进行减值测试。
由于公司客户主要系半导体行业内的头部厂商，公司业务单个项目规模较大，
受客户项目立项、审批、实施进度安排及资金安排的影响，回款存在延迟。公司在
与主要客户的销售合同中约定的收款方式如下：
序号 客户名称 合同约定 备注
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序号 客户名称 合同约定 备注
**电子
本合同所有付款将在甲方收到发包人相应款项后，按照如下
系统工程 存在背靠背
第四建设 条款
上价款支付方式必须以发包人资金到位为前提条件。
有限公司
预付款、到货款、调试款、质保款均在满足**条件后支付。
**电子 本合同项下的合同价款来源于业主对甲方的工程款支付,甲
系统工程 方支付价款的前提是乙方已经交付甲方有效合格的发票及 存在背靠背
第二建设 付款相关文件，且买卖合同价款的支付比例必须滞后于甲方 条款
有限公司 从业主的收款比例。业主不能按约定支付给甲方的，甲方应
付乙方款项的期限相应顺延，且不承担相应的违约责任。
北京京东
方创元科
技有限公
司
益 科 德
月进度款工程完成款、验收测试合格款、质保金均在满足特 存在背靠背
定条件及收到业主（终端客户）付款后支付。 条款
有限公司
预付款、重要设备材料到场款、工程进度款、设备材料安装
及调试款、工程竣工验收款、结算款、保修金均在满足特定
条件后支付。发包方（客户）完成款项审批程序通知分包单
才能提交合格增值税专用发票，发包方收到合格增值税专用
发票后10个工作日内以银行转账方式向分包单位支付上述
款项。
预付款、工程进度款、竣工验收款等均在满足特定条件后支
付。发包方（客户）完成款项审批程序通知分包单位开具发
合格增值税专用发票，发包方收到合格增值税专用发票后无
赎期以转账方式向分包单位支付上述款项。
预付款、重要设备材料到场款、工程进度款、设备材料安装
及调试款、工程竣工验收款、结算款、保修金均在满足特定
条件后支付。发包方（客户）完成款项审批程序通知分包单
才能提交合格增值税专用发票，发包方收到合格增值税专用
发票后10个工作日内以银行转账方式向分包单位支付上述
款项。
甲方（客户）收到乙方（盛剑科技）的货物并**验收完成
北京北方 之后，①乙方于下月10日前将上月已发货物的全额增值税专
华创微电 用发票交付于甲方，甲方于收到发票当月完成记账，甲方自 实际执行背
子装备有 记账完成的次月一日起90日内支付全款。②若乙方于下月10 靠背条款
限公司 日之后交付发票到甲方，则甲方于收到发票的次月完成记
账，甲方自记账完成的次月一日起90日内支付全款。
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序号 客户名称 合同约定 备注
武汉华星
预付款、到货款、验收款、结算款、质保款均在满足特定条
件后支付。
有限公司
预付款、到货款、验收款、质量保证金均在满足特定条件后
支付。甲方（客户）对投标人（盛剑科技）的所有付款均是
建立业主（终端客户）支付甲方工程款为前提下发生的。若
楷德电子
有由于业主未按时支付甲方工程款或未**支付甲方工程 存在背靠背
款、而导致甲方无法向乙方付款的情况，此情况属于甲乙双 条款
有限公司
方共同承担项目建设风险，甲乙双方一致同意在业主按照项
目承包合同支付工程款后甲方向乙方支付本合同约定的款
项，不视为甲方违约。
厦门天马
预付款、工程验收款、质量保证金均在满足特定条件后支付。
工程进度款根据双方审核的工程量每月一支付。
限公司
厦门天马
预付款、工程验收款、质量保证金均在满足特定条件后支付。
工程进度款根据双方审核的工程量每月一支付。
有限公司
预付款、设备到货款、系统调试款、系统验收款、项目竣工
信息产业
验收款、工程结算款均在满足特定条件后支付。因归属于建
电子第十
设单位（终端客户）的原因，建设单位（终端客户）未及时
一设计研 存在背靠背
究院科技 条款
能按照本购销合同约定足额向乙方支付相应时点的工程款
工程股份
时，乙方表示理解，不视为甲方违约，付款责任由建设单位
有限公司
承担，甲方不承担付款责任。
由上表可知，报告期内公司主要客户主要采用“收款节点 收款比例”的里程
碑式收款方式，未明确约定信用期。为统一应收账款信用期管理，提高相关内部控
制制度的执行效率，公司将已达合同收款里程碑但尚未回款的款项视为逾期。截至
比20.98%，上述逾期应收账款尚未回款主要原因系：
（1）部分客户受宏观经济或经
营情况变化、其下游客户回款情况等影响，回款能力减弱；
（2）公司承接的部分项
目系国有资本投资项目，该类客户预算管理制度和采购审批制度严格，受上述客户
项目立项、审批、实施进度安排及资金安排的影响，回款存在延迟。公司已加强应
收账款催收工作，逾期应收账款回款情况预计将逐步改善。
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计提情况及依据
报告期内，出现较大信用风险（涉诉、破产等）的客户的坏账计提情况及依据
如下：
单位：万元
减值迹
客户名称 账面余额 坏账准备 计提依据
象时间
停产、资金链断裂等负面新闻，且涉
深圳柔宇显示技
术有限公司
收账款单项计提坏账准备。
因该客户回款状况较差，公司多次催
云谷（固安）科技 收未果，达成回款协议后客户未执
有限公司 行。经管理层谨慎判断，对该客户应
收账款单项计提坏账准备。
江苏省建筑工程 该客户回款状况较差，公司多次催收
集团有限公司 未果，2023年客户进入破产重整。
该客户回款状况较差，公司多次催收
济宁神州轮胎有
限公司
款未收回。
合计 998.24 893.24 - -
由上表可知，公司关注客户涉诉、破产或很可能破产、以及发生重大财务困难
的情况，谨慎判断其可收回性，并对该类出现较大信用风险的应收账款单项计提坏
账准备。
（三）结合同行业可比公司计提，分析公司坏账准备计提是否充分
公司应收账款坏账计提政策与同行业可比公司对比如下：
账龄 正帆科技 至纯科技 京仪装备 中科仪 盛剑科技
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由上表可见，公司应收款项坏账计提政策与同行业可比公司不存在明显差异。
报告期各期末，公司应收账款坏账计提比例与可比上市公司的对比情况如下：
名称 2024年9月30日 2023年12月31日 2022年12月31日 2021年12月31日
正帆科技 11.36% 9.45% 10.46% 11.23%
至纯科技 11.23% 14.15% 12.64% 14.30%
京仪装备 5.05% 5.12% 6.37% 2.77%
中科仪 9.17% 9.74% 8.95% 8.64%
平均值 9.20% 9.61% 9.61% 9.24%
盛剑科技 11.80% 10.83% 9.67% 7.93%
由上表可知，报告期各期末，公司应收账款坏账准备计提比例为7.93%、9.67%、
年至2024年9月末，公司应收账款坏账计提比例均高于可比公司平均值，坏账准备
计提较为充分。
三、公司存货规模持续增长的原因，在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年存
货的形成背景、尚未结转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，相关设备
尚未安装或完成调试的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期是否
存在差异；结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌价计
提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异
（一）公司存货规模持续增长的原因
报告期各期末，公司存货账面价值分别为18,273.70万元、34,951.62万元、
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及34.28%。
报告期内，公司存货余额不断增加，主要原因系公司绿色厂务系统等业务在集
成电路领域及新能源领域持续拓展，在手订单持续增加，期末相关订单尚未执行完
成。
报告期各期末，公司存货账面余额明细情况如下：
单位：万元
项目
账面余额 跌价准备 账面价值
合同履约成本 56,615.42 628.56 55,986.87
库存商品 13,542.81 78.58 13,464.22
原材料 18,137.87 - 18,137.87
发出商品 249.88 - 249.88
委托加工物资 499.16 - 499.16
在产品 2,674.48 - 2,674.48
合计 91,719.63 707.14 91,012.49
项目
账面余额 跌价准备 账面价值
合同履约成本 37,623.76 1,182.27 36,441.49
库存商品 10,490.55 107.62 10,382.93
原材料 14,915.30 - 14,915.30
发出商品 605.26 - 605.26
委托加工物资 199.53 - 199.53
在产品 2,961.64 - 2,961.64
合计 66,796.04 1,289.89 65,506.15
项目
账面余额 跌价准备 账面价值
合同履约成本 19,709.15 459.59 19,249.56
库存商品 9,295.00 49.95 9,245.05
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原材料 5,639.89 - 5,639.89
委托加工物资 458.50 - 458.50
在产品 358.62 - 358.62
合计 35,461.16 509.54 34,951.62
项目
账面余额 跌价准备 账面价值
合同履约成本 11,702.82 - 11,702.82
库存商品 2,999.99 95.76 2,904.23
原材料 3,002.43 - 3,002.43
委托加工物资 117.05 - 117.05
在产品 547.17 - 547.17
合计 18,369.46 95.76 18,273.70
公司存货中合同履约成本主要系绿色厂务系统业务已发生但尚未安装、调试完
成的存货和成本，该业务成本包括在安装过程中实际发生的直接材料、直接人工和
制造费用，其中设备及材料、劳务服务和制造费用均按项目归集。报告期内，随着
业务规模逐步扩大，公司能够参与及承接的单个项目规模也逐渐变大，部分较大规
模项目截至报告期末尚未验收，使得期末项目合同履约成本金额增大。
公司库存商品主要包括半导体附属设备、工艺排气管道和**废气治理设备
等。2022年，公司库存商品期末余额增长较大，主要原因是公司预计 L/S 设备的市
场需求将有所增加，考虑到设备生产需要**的周期，为快速响应客户缩短交货周
期的需求，相应进行战略性备货。2023年末和2024年9月末，公司库存商品期末余
额增长，主要原因系：1、公司根据项目执行需求，工艺排气管道和**废气治理
设备产品增加所致；2、公司2022年度为某集成电路生产项目进行备货，但该项目
由于客户自身原因延期启动，致使2023年末和2024年9月末对应存货余额较高，相
关备货产品主要构成为通用型标准化产品，公司已逐步开展上述备货产品的模块改
造及销售。
公司原材料主要包括钢材、氟涂料、电气元件、阀类、仪器仪表等材料和风机
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及配件、洗涤塔及配件、转轮及配件、储罐、电控盘柜等设备及配件，公司材料、
设备及配件采购主要用于设备及关键零部件的生产以及绿色厂务系统项目的实施。
由于公司绿色厂务系统业务定制化程度较高，因此原材料呈现品种丰富的特点。随
着报告期内公司收入规模的增长，公司原材料金额逐年提升。此外，公司对氟涂料、
润滑油脂等部分关键原材料进行备货，亦使得原材料金额上升。
（二）在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年存货的形成背景、尚未结转的合
理性
报告期各期末，公司存货库龄情况如下：
单位：万元
项目
账面余额 跌价准备 1年以内 1年以上
合同履约成本 56,615.42 628.56 47,322.67 9,292.76
库存商品 13,542.81 78.58 9,382.85 4,159.96
原材料 18,137.87 - 14,752.95 3,384.92
发出商品 249.88 - 249.88 -
委托加工物资 499.16 - 499.16 -
在产品 2,674.48 - 2,674.48 -
合计 91,719.63 707.14 74,881.99 16,837.64
项目
账面余额 跌价准备 1年以内 1年以上
合同履约成本 37,623.76 1,182.27 31,066.08 6,557.68
库存商品 10,490.55 107.62 6,320.11 4,170.44
原材料 14,915.30 - 13,634.48 1,280.82
发出商品 605.26 - 605.26 -
委托加工物资 199.53 - 199.53 -
在产品 2,961.64 - 2,961.64 -
合计 66,796.04 1,289.89 54,787.10 12,008.94
项目 2022年12月31日
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账面余额 跌价准备 1年以内 1年以上
合同履约成本 19,709.15 459.59 15,083.08 4,626.07
库存商品 9,295.00 49.95 9,150.83 144.17
原材料 5,639.89 - 5,354.10 285.80
委托加工物资 458.50 - 458.50 -
在产品 358.62 - 358.62 -
合计 35,461.16 509.54 30,405.13 5,056.03
项目
账面余额 跌价准备 1年以内 1年以上
合同履约成本 11,702.82 - 10,638.74 1,064.08
库存商品 2,999.99 95.76 2,584.58 415.41
原材料 3,002.43 - 2,468.59 533.84
委托加工物资 117.05 - 117.05 -
在产品 547.17 - 547.17 -
合计 18,369.46 95.76 16,356.13 2,013.33
由上表可知，报告期各期末，公司库龄超过1年的存货系合同履约成本、库存
商品和原材料。
主要系建设周期超过1年的绿色厂务系统业务项目
截至2024年9月30日，公司库龄超过1年的前五大期末合同履约成本金额合计为
司已相应计提坏账准备568.62万元，具体情况如下：
单位：万元
库龄1年以 截至2024年12 预计可变 存货跌价
项目名称 原因及背景
上的金额 月31日情况 现净值 准备
公司剥离液循环利用的产
剥离液循环 成品系客户产线的原材料，
已于2024年12
利用系统包 3,238.27 由于客户产线一直处于产 3,172.57 65.71
月验收结转
一期项目 能高峰，未给予公司充足时
间调试，故项目周期较长
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库龄1年以 截至2024年12 预计可变 存货跌价
项目名称 原因及背景
上的金额 月31日情况 现净值 准备
公司剥离液循环利用的产
尚未验收，预
剥离液循环 成品系客户产线的原材料，
计2025年上半
利用系统包 818.42 由于客户产线一直处于产 801.81 16.61
年能获得客户
二期项目 能高峰，未给予公司充足时
验收
间调试，故项目周期较长
薄膜晶体管 尚未结算，预
液晶显示器 合同外变更追加，截至2024 计2025年上半
件工艺废气 年9月30日尚未结算 年能获得客户
工程项目 结算
尚未结算，预
PC 集成电
合同外变更追加，截至2024 计2025年上半
路工艺废气 572.45 1,000.00 -
年9月30日尚未结算 年能获得客户
包
结算
尚未结算，预
合同外变更追加，截至2024 计2025年上半
FAB-C 项目 317.84 330.00 -
年9月30日尚未结算 年能获得客户
结算
公司绿色厂务系统业务的建设周期因项目规模、项目现场条件、客户整体安排
等不同而有所差异，整体而言，公司系统类业务从开工到完工基本在一年以内，少
部分项目由于业主施工周期安排、现场协调等多因素影响，使得其建设周期超过一
年。该等库龄超过1年的合同履约成本有合同和订单支持，公司对报告期末库龄超
过1年的合同履约成本进行了减值测试，并相应计提坏账准备。截至报告期末上述
合同履约成本尚未结转具有合理性。
项目延期影响，相关备货产品主要构成为通用型标准化产品，公司已逐步开展上述
备货产品的模块改造及销售
的周期，为快速响应客户缩短交货周期的需求，相应进行战略性备货，公司2022
年 L/S 设备销售收入较2021年大幅增长80.95%。其中，由于部分客户项目延期，部
分批次的 L/S 设备备货延迟交付，截至报告期末形成库龄超过1年的库存商品。上
述批次产品系等离子水洗式和电加热水洗式 L/S 设备，报告期内已部分通过模块化
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改造交付至其他项目。即使上述项目**未能执行，公司能够通过对该批设备进行
模块化改造以适配其他客户需求。
公司对截至2024年9月30日库龄超过1年的库存商品中的 L/S 设备（占库龄超过
单位：万元
项目 存货账面余额 预计可变现净值 存货跌价准备
库存商品 3,468.92 6,349.86 -
由上表可知，上述库存商品的预计可变现净值大于账面余额，截至2025年2月
存储等半导体领域龙头企业，因此，公司上述库龄超过1年的库存商品未计提存货
跌价准备具有合理性。
润滑油脂、专用氟涂料等专用材料，属于公司战略型备货
公司出于应对快速增长的订单需求、减少专用材料供应不及时的风险、产品起
订量等因素考虑，对上述原材料进行战略性备货。该类原材料系易储存且可保存周
期较长，后续生产可使用性相对高。因此，在订单覆盖充足情况下，库龄超过1年
的原材料具有合理性。
（三）公司存在大额合同履约成本的原因，相关设备尚未安装或完成调试的影
响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期是否存在差异
公司各期末存在大额合同履约成本原因主要系项目合同金额较大，施工周期较
长，截至报告期各期末尚未验收所致，不涉及纠纷或质量问题。
报告期各期末，公司前五大合同履约成本情况如下：
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单位：万元
项目实际 合同约定 截至2024年12月
期间 项目名称 金额 原因及背景
周期 预计周期 31日结转情况
主合同验收完毕，
FAB2 屋 面 2024.06-2 成本结转完毕，无
截至2024年9月30日，项目仍 2024.06-2
工艺排气系 15,583.73 024.12 结存成本；变更追
处于执行中 025.03
统项目 （预计） 加部分暂未结算，
尚未结转成本
成都京东方
截至2024年9月30日，项目仍 025年上 2024.08-2 项目执行中，尚未
酸碱毒废气 4,165.46
处于执行中 半年（预 025.04 结转成本
系统包项目
计）
自发包人
发出施工
公司剥离液循环利用的产成
剥离液循环 品系客户产线的原材料，由 2021.10-2 项目验收完毕，转
月30日 起150日
利用系统包 3,336.26 于客户产线一直处于产能高 024.12 入固定资产，无结
（预计） 历天（冬
一期项目 峰，未给予公司充足时间调 存成本
季停工
试，故项目周期较长
天）。
DJ 集成电路 项目设计图纸变更导致项目 完工最晚 项目验收完毕，成
废气系统包 1,796.62 延期，截至2024年9月30日项 不晚于 本结转完毕，无结
项目 目仍执行中 2024.8 存成本
SP 集成电路
原合同内工程已于2024年9 2024.07-2 变更追加部分，暂
废气系统包 未明确约
项目（B 部 （预计） 定
同外追加工程量 成本
分）
主合同验收完毕，
SP 集成电路 该项目合同总金额较大，工
成本结转完毕，无
废气系统包 程规模和工期较长，截至 2023.10-2 2023.10-2
项目（A 部 2023年12月31日项目仍执行 024.09 024.12
加部分暂未结算，
分） 中
尚未结转成本
主合同验收完毕，
该项目合同总金额较大，工
SP 集成电路 成本结转完毕，无
程规模和工期较长，截至 2023.10-2 2023.10-2
废气系统包 3,325.86 结存成本；变更追
中
月31日 尚未结转成本
自发包人
发出施工
公司剥离液循环利用的产成
指令之日
剥离液循环 品系客户产线的原材料，由 2021.10-2
起150日 项目验收完毕，无
利用系统包 3,268.00 于客户产线一直处于产能高 024.12
历天（冬 结存成本
一期项目 峰，未给予公司充足时间调 （预计）
季停工
试，故项目周期较长
天）。
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项目实际 合同约定 截至2024年12月
期间 项目名称 金额 原因及背景
周期 预计周期 31日结转情况
SP 集成电路 该项目合同总金额较大，工
主合同验收完毕，
废气系统包 程规模和工期较长，截至 2023.10-2 2023.10-2
项目（C 部 2023年12月31日项目仍执行 024.09 024.12
结存成本
分） 中
主合同验收完毕，
SP 集成电路 该项目合同总金额较大，工
成本结转完毕，无
废气系统包 程规模和工期较长，截至 2023.10-2 2023.10-2
项目（B 部 2023年12月31日项目仍执行 024.09 024.12
加部分暂未结算，
分） 中
尚未结转成本
自发包人
该项目系 BOT 项目，公司剥 发出施工
离液循环利用的产成品系客 指令之日
剥离液循环 2021.10-2 项目验收完毕，转
户产线的原材料，由于客户 起150日
利用系统包 3,131.54 024.12 入固定资产，无结
产线一直处于产能高峰，未 历天（冬
一期项目 （预计） 存成本
给予公司充足时间调试，故 季停工
项目周期较长 105日历
天）。
主合同验收完毕，
PC 集 成 电 成本结转完毕；变
合同外变更追加，截至2022 025年上 更追加部
路工艺废气 1,772.06 更追加部分暂未
年12月31日尚未结算 半年（预 分未约定
包 结算，尚未结转成
计） 工期
月31日 主合同验收完毕，
成本结转完毕，无
集成电路系 截至2022年12月31日项目仍 2022.11-2 2022.12-2
统工程包 在执行中 023.06 023.06
加部分暂未结算，
尚未结转成本
薄膜晶体管 2021.07-2 合同外变
变更追加部分暂
液晶显示器 合同外变更追加，截至2022 025年上 更追加部
件工艺废气 年12月31日尚未结算 半年（预 分未约定
成本
工程项目 计） 工期
根据总包方要求工程量增 合同外变
项目结算完毕，成
集成电路一 加，使得项目周期延长，截 2021.11-2 更追加部
期项目 至2022年12月31日，尚未结 024.08 分未约定
存成本
算 工期
合同外变
半导体显示 项目结算完毕，成
工艺排气系 1,572.04 本已经结转，无结
月31日 年12月31日尚未结算 023.12 分未约定
统项目 存成本
工期
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合同约定 截至2024年12月 项目实际
期间 项目名称 金额 原因及背景
预计周期 31日结转情况 周期
长沙惠科液 021.12
二次配项目，执行周期长， 项目验收完毕，成
晶显示器件 2020.10-2 （具体时
项目工艺废 022.06 间以机台 本已**结转，无
行中 到场时间 结存成本
气项目
为准）
根据总包方要求工程量增 合同外变
项目结算完毕，成
集成电路一 加，使得项目周期延长，截 2021.11-2 更追加部
期项目 至2021年12月31日该工程仍 024.08 分未约定
结存成本
在执行中 工期
绵阳惠科液 020.11
二次配项目，施工周期长， （具体时 项目验收完毕，成
晶显示器件 2019.10-2
项目工艺废 022.03 间以机台
行中 到场时间 结存成本
气项目
为准）
进厂时
半导体显示 二次配项目，施工周期长， 间： 项目验收完毕，成
排风工程施 508.51 截至2021年12月31日仍在执 2021.06 本已**结转，无
工项目 行中 总工期： 结存成本
注：二次配项目，即公司根据客户合同指令追加供应的工艺排气管道等设备。对于该类项
目，公司通常需根据客户的产线建设或制程工艺设备搬入及安装计划，分阶段执行交付，执行
周期较长。
由上表可知，公司各期末存在大额合同履约成本原因主要系项目合同金额较
大，施工周期较长，截至报告期各期末尚未验收所致，不涉及纠纷或质量问题。公
司项目实施周期与合同约定周期存在**差异的原因主要系项目合同外变更追加，
或根据客户产线建设或制程设备搬入及安装计划变更交付时间等原因所致，具有合
理性。
截至2024年12月31日，公司尚未结转的大额合同履约成本主要原因为：
（1）该
项目尚未验收，符合合同约定工期；
（2）该项目发生合同变更追加，变更追加未明
确约定工期，项目进度和工期符合公司预计实施工期。因此，公司期末未结转的合
同履约成本整体上符合约定建设周期或预计实施工期。
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（四）结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌价计
提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异
公司的绿色厂务系统均为非标定制产品，以设计和管理为核心，通过系统集成
的方式进行生产。公司的绿色厂务系统中产品具体型号较多，主要采用以销定产的
生产模式。公司的设备及关键零部件、电子化学品材料类产品具体型号、规格较多，
主要采用以销定产的生产模式，同时公司根据未来市场预期、原材料价格波动、生
产计划排期等因素，进行适量的备货。
报告期期末，公司在手订单情况充足，具体情况如下：
单位：万元
截至2024年9月30日在手订
项目 截至2024年9月30日余额
单金额（含税）
合同履约成本（绿色厂务系统） 56,615.42 89,113.78
库存商品中的工艺排气管道及**
废气治理设备
库存商品中的工艺废气处理设备 4,771.79 5,597.80
库存商品中的电子化学品材料 325.60 576.71
合计 64,962.46 109,349.60
截至2024年9月30日，公司库龄超过1年的存货系合同履约成本、库存商品和原
材料，公司库龄超过1年的合同履约成本主要系建设周期超过1年的绿色厂务系统业
务项目以及部分已完工项目追加指令且尚未决算的投入，均有合同和订单支持；库
龄超过1年的库存商品主要系根据客户项目备货的 L/S 设备，公司能够通过对该批
设备进行简单改造以适配其他客户需求；库龄超过1年的原材料主要系设备及关键
零部件生产过程中用到的专用润滑油脂、专用氟涂料等专用材料，该类原材料系易
储存且可保存周期较长。公司对存货根据其成本与可变现净值孰低计量，并相应计
提跌价准备。
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公司存货库龄情况详见本题回复之“三”之“（二）”内容。
单位：万元
期后结转/ 期后结转/
项目 报表截止日 报表截止日余额
销售金额 销售比例
合同履约
成本
库存商品 2022年12月31日 9,295.00 6,265.24 67.40%
注：期后结转销售金额系截至2024年9月30日累计结转/销售金额。
公司2022年12月31日合同履约成本期后未结转的项目主要系剥离液循环利用
系统包项目，该项目周期较长，公司预计该项目将于2025年验收结转，该项目涉及
存货余额3,131.54万元，占期末合同履约成本余额比例为15.89%。公司2023年12月
整体规模较大，项目实施周期较长，截至报告期末未结转具有合理性。
公司2022年12月31日和2023年12月31日库存商品期后未结转的设备主要系部
分客户项目延期，使得公司生产的部分 L/S 设备库龄较长。即使上述项目**未能
执行，公司能够通过对该批设备进行简单改造以适配其他客户需求。
综上所述，公司存货期后结转情况良好，公司对存货根据其成本与可变现净值
孰低计量，并相应计提跌价准备。
公司存货跌价准备计提会计政策如下：资产负债表日，存货采用成本与可变现
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净值孰低计量。存货可变现净值是按存货的估计售价减去至完工时估计将要发生的
成本、估计的销售费用以及相关税费后的金额。
（1）产成品、商品和用于出售的材
料等直接用于出售的商品存货，在正常生产经营过程中以该存货的估计售价减去估
计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值；
（2）需要经过加工的材料存
货，在正常生产经营过程中以所生产的产成品的估计售价减去至完工时估计将要发
生的成本、估计的销售费用和相关税费后的金额确定其可变现净值；计提存货跌价
准备后，如果以前减记存货价值的影响因素已经消失，导致存货的可变现净值高于
其账面价值的，在原已计提的存货跌价准备金额内予以转回，转回的金额计入当期
损益。
存在减值情形的库存商品、合同履约成本统计如下：
单位：万元
存货类 2024年9月30 2023年12月 2022年12月 2021年12月
项目
别 日 31日 31日 31日
账面余额 121.48 144.14 101.66 148.00
库存商
预计可变现净值 42.90 36.52 51.71 52.24
品
存货跌价准备 78.58 107.62 49.95 95.76
账面余额 5,615.27 6,378.38 1,347.82 -
合同履
预计可变现净值 4,986.72 5,196.11 888.23 -
约成本
存货跌价准备 628.56 1,182.27 459.59 -
公司根据减值测试结果对可变现净值低于账面余额的存货计提跌价准备，存货
跌价准备计提充分。
报告期各期末，公司与同行业可比公司存货跌价准备余额占存货余额的比例情
况如下：
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公司名称 2023年12月31日 2022年12月31日 2021年12月31日
正帆科技 0.34% 0.87% 1.06%
至纯科技 0.85% 0.74% 0.98%
京仪装备 2.46% 2.65% 2.73%
中科仪 10.14% 16.83% 26.94%
剔除中科仪的算术平均数 1.22% 1.42% 1.59%
发行人 1.97% 1.44% 0.52%
根据中科仪披露的信息，中科仪因部分存货库龄较长、旧型号维修用零部件较
多、存在质保期内向客户提供备用泵等情形，其存货跌价准备比例较高。
除中科仪外，公司存货跌价准备计提比例与同行业可比公司不存在明显差异。
公司2021年末存货跌价准备余额占存货余额的比例低于同行业（剔除中科仪的算术
平均数），主要是合同履约成本未出现减值迹象；2023年末存货跌价准备余额占存
货余额的比例高于同行业（剔除中科仪的算术平均数），主要是部分合同履约成本
出现减值迹象。
综上所述，公司综合考虑在手订单、存货库龄情况，对存货采用成本与可变现
净值孰低计量，并相应计提存货跌价准备，公司存货跌价准备计提比例与同行业可
比公司不存在明显差异。
四、公司固定资产规模持续增加的原因，相关折旧摊销政策与同行业公司是否
存在较大差异；公司在建工程和使用权资产变动原因，在建工程中相关项目情况，
建设进度是否符合预期，是否存在延期转固情形
（一）公司固定资产规模持续增加的原因
报告期内，公司固定资产变动情况如下表所示：
单位：万元
项目 月31日期
期末原值 变动比例 期末原值 变动比例 期末原值 变动比例 末原值
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房屋及建筑物 29,347.86 1.23% 28,991.55 4.62% 27,710.79 306.59% 6,815.35
机器设备 14,789.91 7.52% 13,756.00 64.33% 8,371.18 64.84% 5,078.29
运输工具 1,073.01 3.74% 1,034.36 13.02% 915.23 58.86% 576.14
电子及其他设备 3,214.40 11.77% 2,875.90 93.32% 1,487.65 312.17% 360.93
合计 48,425.19 3.79% 46,657.81 21.24% 38,484.85 199.94% 12,830.71
由上表可知，2022年固定资产规模增加主要原因系公司 IPO 募投项目上海总
部运营**建设项目达到预定可使用状态，房屋及建筑物大幅增加；同时，公司
IPO 募投项目环保装备智能制造项目等项目购进机器设备和电子及其他设备，综合
使得固定资产规模大幅增加。2023年和2024年1-9月，公司固定资产继续增加，主
要系公司继续购置机器设备、电子及其他设备用于满足设备及关键零部件和电子化
学品材料等产品的生产和研发需求所致。
（二）相关折旧摊销政策与同行业公司不存在较大差异
公司固定资产折旧年限主要根据自身经营状况进行确定，并综合考虑行业内的
普遍状况，具体折旧年限与同行业可比公司比较情况如下：
类型 项目 正帆科技 至纯科技 京仪装备 中科仪 盛剑科技
折旧方法 年限平均法 年限平均法 - 年限平均法 年限平均法
房屋及建
折旧年限（年） 20 20 - 40 20-30
筑物
残值率（%） 5 5 - 5 5
折旧方法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法
机器设备 折旧年限（年） 5-10 10 10 5-14 5-10
残值率（%） 5 5 5 5 5
折旧方法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法
电子及其
折旧年限（年） 3-5 3-5 3-5 5-8 3-5
他设备
残值率（%） 5 5 5 5 5
折旧方法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法
运输工具 折旧年限（年） 4 4-7 10 5-10 3-5
残值率（%） 5 5 5 5 5
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注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告
报告期内，公司固定资产折旧执行的会计估计与公司实际经营情况相符，固定
资产折旧方法、折旧年限、残值率等与同行业公司不存在重大差异。
（三）公司在建工程和使用权资产变动原因，在建工程中相关项目情况，建设
进度是否符合预期，是否存在延期转固情形；
情形
报告期内，公司主要在建工程项目变动情况具体如下：
单位：万元
建设进度
计划建 2024年9月 2023年12 2022年12 2021年12
项目 预算金额 是否符合
设周期 30日 月31日 月31日 月31日
预期
国产半导体制程
附属设备及关键 60,000.00 24个月 是 10,733.15 - - -
零部件项目
上海盛剑电子专
用材料研发制造
及相关资源化项
目
嘉定研发**及
配套办公基地建 - - 是 1,453.78 384.09 2,498.09 16,126.96
设工程
其他零星工程 - - - 107.17 123.54 95.53 619.75
待安装设备 - - - 2,787.73 107.13 702.38 11.95
合计 - - - 24,808.43 906.79 3,296.00 16,758.66
由上表可知，2022年，公司在建工程金额减少，主要系嘉定研发**及配套办
公基地建设工程项目主要区域达到预定可使用状态转固所致；2023年，公司在建工
程金额进一步减少，主要系嘉定研发**及配套办公基地建设工程项目部分研发区
域设备、装修等达到预定可使用状态转固所致；2024年1-9月，公司在建工程金额
大幅增加，主要系国产半导体制程附属设备及关键零部件项目、上海盛剑电子专用
材料研发制造及相关资源化项目等多个项目建设，项目投资金额较大，尚未达到可
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使用状态所致；此外，嘉定研发**及配套办公基地新增部分区域改造施工，使得
该项目在建工程增加。
国产半导体制程附属设备及关键零部件项目系公司本次向不特定对象发行可
转换公司债券募投项目之一，旨在建造高度自动化的生产线，打造先进国产半导体
制程附属设备平台，建设国产半导体制程附属设备及关键零部件生产基地，以进一
步扩大设备及关键零部件产品的生产能力，并同步提升运维服务能力；上海盛剑电
子专用材料研发制造及相关资源化项目系公司致力于化学品供应与回收系统解决
方案拓展力度，着眼于客户需求，持续精进工艺技术，推广循环经济生产模式。
综上所述，截至报告期末，公司主要在建工程正处于施工建设阶段，建设进度
符合预期，不存在延期转固情形。
报告期内，公司使用权资产账面价值情况如下表所示：
单位：万元
项目
湖北孝感新生产基地 10,082.91 - - -
广东惠州生产基地 1,263.07 - - -
江苏盛剑生产基地 1,813.78 1,777.21 2,271.89 -
电子化学品材料生产基地 629.73 150.35 267.76 81.40
四川广汉生产基地 - 79.73 54.26 217.04
其他 - - 57.68 101.76
合计 13,789.49 2,007.29 2,651.59 400.20
由上表可知，公司2022年末较2021年末使用权资产账面价值有较大程度上升，
主要系公司租赁昆山工厂和孝感工厂导致，用于设备及关键零部件产能扩张；2023
年末较2022年末基本保持稳定；2024年1-9月，公司为加强属地化配套，新建广东
惠州基地和湖北孝感新基地，通过引入新型生产设备提升产品生产效率并节省材料
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损耗，广东惠州基地和湖北孝感新基地厂房租赁使得当期使用权资产大幅增加。
五、公司同时持有**规模货币资金及有息负债的原因及合理性，利息收入及
支出与存**规模是否匹配，公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等是否
匹配
（一）公司同时持有**规模货币资金及有息负债的原因及合理性
最近一期末，公司同时持有货币资金32,007.02万元和有息负债83,156.72万元
（包括租赁负债）；货币资金中，非受限货币资金余额17,058.42万元。公司非受限
货币资金余额及有息负债余额情况如下：
单位：万元
项目 2024/9/30 2023/12/31 2022/12/31 2021/12/31
非受限货币资金 17,058.42 50,064.22 40,100.77 48,680.24
有息负债 83,156.72 41,813.87 19,874.31 6,252.24
非受限货币资金占
有息负债比重
注：此处有息负债包括短期借款、长期借款、一年内到期的非流动负债和租赁负债。
由上表可知，公司存在公司最近一期末非受限货币资金余额较低而有息负债余
额较高的情形，主要原因系：
维管理等业务，主要终端客户为**半导体行业集团企业。半导体项目建设的投资
周期较长，整体付款周期相对较长，使得公司对营运资金需求较高，随着发行人近
年收入规模的逐渐增加，自有资金无法满足对营运资金的需求，因而通过有息负债
的方式满足部分资金需求。
制造及相关资源化项目”“国产半导体制程附属设备及关键零部件项目”等项目，
资金需求较高。
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综上所述，截至报告期末，公司同时持有**规模货币资金及有息负债具有一
定合理性。
（二）利息收入与存款规模匹配
报告期内，公司利息收入与货币资金匹配情况如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
财务费用-利息收入 240.72 366.29 521.48 675.84
年均货币资金余额 48,707.15 58,183.86 54,211.51 46,664.46
平均收益率 0.66% 0.63% 0.96% 1.45%
注1：年均货币资金余额=（期初货币资金余额 期末货币资金余额）/2；
注2：2024年1-9月涉及的平均收益率指标计算均已年化处理。
报告期内，**人民银行公布的存款基准利率情况如下表所示：
项目 活期存款
存款 存款 款 款 款
存款基准利
率
由上表可知，公司存款利息平均收益率高于人民银行公布的活期存款基准利
率，处于合理收益率区间。
报告期内，公司货币资金主要用于日常经营管理流动资金收支及项目建设，利
息收入为流动资金、受限资金等产生的法定孳息。2021年度平均收益较其他三年偏
高，系2021年3月收到 IPO 募集资金，年均货币资金余额基数较低，同时当期进行
闲置资金现金管理，使得整体平均收益率偏高。2022年至2024年9月，公司积极开
展“上海盛剑电子专用材料研发制造及相关资源化项目”“国产半导体制程附属设
备及关键零部件项目”等项目，流动资金需求较高，使得整体平均收益率下降。整
体上看，发行人货币资金平均收益率、利息收入水平合理，货币资金与利息收入匹
配。
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（三）利息支出与**规模匹配
报告期内，公司利息支出与有息负债规模匹配情况如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
有息负债**利息 1,111.10 831.69 467.42 219.36
有息负债平均余额 62,485.30 30,844.09 13,063.28 6,880.31
平均资金成本率 2.37% 2.70% 3.58% 3.19%
注1：有息负债平均余额=（期初有息负债余额 期末有息负债余额）/2；
注2：2024年1-9月涉及的平均资金成本率指标计算均已年化处理；
注3：有息负债**利息包括租赁负债利息费用、借款利息支出等。
报告期内，**人民银行公布的一年期 LPR 情况如下表所示：
项目 2024/9/30 2023/12/31 2022/12/31 2021/12/31
一年期 LPR 3.35% 3.45% 3.65% 3.70%
报告期内，公司综合平均资金成本率分别为3.19%、3.58%、2.70%和1.78%。
均资金成本率整体呈下降趋势，与一年期 LPR 变化趋势一致。整体上看，发行人
平均资金成本率、利息支出水平合理，有息负债与利息支出匹配。
（四）公司受限资金规模与银行承兑汇票、借款规模等匹配
报告期内，公司受限资金为信用证保证金及孳息、银行承兑汇票保证金及孳息、
保函保证金及孳息、诉讼冻结款，公司受限资金未用于借款担保。
公司银行承兑汇票保证金及孳息与银行承兑汇票规模匹配情况如下：
单位：万元
项目 2024/9/30 2023/12/31 2022/12/31 2021/12/31
银行承兑汇票保证金
及孳息余额
期末应付票据余额 36,042.73 38,179.35 28,509.32 27,458.67
应付票据保证金比率 12.73% 12.39% 12.61% 10.24%
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报告期内，公司保证金金额与开具的票据金额比率维持在12%左右，公司需缴
纳保证金的银行承兑汇票与无需缴纳保证金的银行承兑汇票比例较为稳定，应付票
据保证金规模与票据支付规模相匹配。
报告期内，公司信用证保证金及孳息与开立信用证规模匹配情况如下：
单位：万元
项目 2024/9/30 2023/12/31 2022/12/31 2021/12/31
信用证保证金及孳息
余额
开立信用证余额 20,000.00 20,000.00 - -
信用证保证金比例 7.50% 7.50% - -
报告期内，公司缴纳信用证保证金金额根据开立信用证银行要求有所不同，信
用证保证金规模与开立信用证规模相匹配。
六、报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异较大的
原因，结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在短期偿债
风险
（一）报告期内公司经营活动产生的现金流净额波动较大、与净利润差异较大
的原因
报告期内，公司净利润和经营性现金流量净额之间的匹配情况如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
净利润 9,187.82 16,542.13 13,031.11 15,235.10
加：资产减值准备 75.39 1,175.90 -711.41 -303.03
信用减值损失 1,681.55 5,263.37 4,936.25 2,912.57
固定资产折旧、油气资产折耗、
生产性生物资产折旧
使用权资产摊销 986.69 883.48 717.63 296.02
无形资产摊销 304.94 196.43 163.00 141.02
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项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
长期待摊费用摊销 262.70 266.20 73.28 -
处置固定资产、无形资产和其他
长期资产的损失（收益以“-” 45.87 0.67 - 6.81
号填列）
固定资产报废损失（收益以“-”
号填列）
公允价值变动损失（收益以“-”
- - - -72.90
号填列）
财务费用（收益以“-”号填列） 1,107.46 806.14 224.37 236.19
投资损失（收益以“-”号填列） 31.94 -46.03 -324.50 -461.74
递延所得税资产减少（增加以
-1,860.32 -1,058.61 -1,177.57 -285.03
“-”号填列）
递延所得税负债增加（减少以
“-”号填列）
存货的减少（增加以“-”号填
-25,506.34 -31,334.88 -17,187.46 -4,043.58
列）
经营性应收项目的减少（增加以
-540.76 -41,143.77 -42,522.25 -28,058.63
“-”号填列）
经营性应付项目的增加（减少以
-28,730.69 45,521.22 23,476.93 16,297.31
“-”号填列）
其他 1,171.85 160.82 943.10 579.92
经营活动产生的现金流量净额 -38,921.71 22.75 -17,088.84 3,442.82
报告期内，公司经营性净现金流分别为3,442.82万元、-17,088.84万元、22.75
万元和-38,921.71万元，低于各期净利润金额，主要原因系：
一方面，公司收入和回款受下游客户立项及投资建设进度影响较大。2022年，
公司经营性应收项目增加较快，主要原因系公司向集成电路领域拓展，相关项目和
销售收入增加，该类项目受终端客户回款情况、客户内部请款流程等因素影响，回
款相对较慢，使得应收账款规模增长较快；同时公司因项目实施而向供应商支付的
现金上升，使得经营活动现金流出增加。2023年，公司积极催收应收账款，并根据
回款情况相应调整了上游供应商付款周期，使得经营活动产生的现金流量净额转
正。
另一方面，随着公司2021年至2023年订单和经营业绩增长，公司存货余额增加，
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存货对经营活动资金占用增大，减少了经营活动产生的现金流量净额。
应付项目减少所致，其中存货增加主要系为响应下游客户需求适当备货，经营性应
付项目减少系备货等原因集中支付了部分供应商欠款。
此外，公司2024年1-9月收入回款相对较少，主要由于下游客户结算周期存在
**的季节性，下游在第四季度通常回款规模较大。同时又因备货等原因增加部分
付款，使得经营活动产生的现金流量净额为负。
报告期内，公司积极催收应收账款，截至2025年2月28日，各期应收账款期后
回款情况如下：
单位：万元
项目
应收账款余额 139,723.18 148,790.69 111,407.17 74,618.98
期后回款金额 55,729.95 82,628.81 75,300.78 67,170.44
期后回款比例 39.89% 55.53% 67.59% 90.02%
报告期内，公司应收账款期后催收情况良好，截至2025年2月28日，公司2024
年三季度末应收账款余额的期后回收率为39.89%。
（二）结合公司资产负债情况、未来偿债安排等，说明公司后续是否存在短期
偿债风险
报告期各期末，公司有息负债的构成情况如下表：
单位：万元
项目
短期借款 42,693.84 34,688.72 15,971.93 4,504.25
一年内到期的长期借款 700.51 204.28 501.37 251.98
长期借款 25,342.34 4,800.00 650.00 1,150.00
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项目
一年内到期的租赁负债 3,158.28 677.59 677.39 276.06
租赁负债 11,261.75 1,443.29 2,073.61 69.95
合计 83,156.72 41,813.88 19,874.30 6,252.24
公司有息负债主要包括短期借款、长期借款及租赁负债等。报告期内，因公司
处于业务扩张期，报告期各期末，公司短期借款余额分别为4,504.25万元、15,971.93
万元、34,688.72万元和42,693.84万元，呈逐年上升趋势，主要系随着公司经营规模
的增长，公司对流动资金（包括应付供应商款项和应付职工薪酬等）的需求上升，
导致公司短期借款有所增加。
报告期各期末，公**期借款余额分别为1,150.00万元、650.00万元、4,800.00
万元和25,342.34万元，金额持续增加，主要系随着上海盛剑电子专用材料研发制造
及相关资源化项目、国产半导体制程附属设备及关键零部件项目建设推进，资金需
求量增加，长期借款提款额增加所致。
截至2024年9月30日，公**短期借款的余额合计为68,736.69万元，预计于未
来一年需要偿还的金额约为24,771.15万元，整体规模可控。
报告期各期，公司主要偿债能力指标如下：
项目
流动比率（倍） 1.56 1.57 1.79 2.23
速动比率（倍） 1.02 1.20 1.49 2.02
资产负债率（合并） 55.62% 53.76% 45.19% 38.35%
资产负债率（母公司） 54.41% 54.67% 45.26% 37.10%
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
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息税折旧摊销前利润（万
元）
利息保障倍数（倍） 9.34 22.79 31.18 79.86
注：息税折旧摊销前利润＝利润总额 财务费用中的利息支出 折旧 摊销
利息保障倍数=（利润总额 费用化利息支出）/（费用化利息支出 资本化利息支出）
报告期各期末，公司流动比率分别为2.23倍、1.79倍、1.57倍和1.56倍，速动比
率分别为2.02倍、1.49倍、1.20倍和1.02倍，均呈下降趋势；公司资产负债率呈**
上升趋势。公司于2021年上市并筹得募集资金，流动比率和速动比率较高，随着报
告期内公司营业收入规模的扩张以及厂房项目的建设，公司通过短期借款、票据等
方式补充流动资金，使得偿债能力指标存在**下降。
报告期内，发行人与同行业上市公司偿债能力指标比较如下：
公司名称 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
正帆科技 1.37 1.36 1.39 1.72
至纯科技 1.37 1.51 1.52 1.73
流动比率 京仪装备 2.23 3.28 1.81 2.14
中科仪 未披露 3.57 2.66 1.89
平均值 1.66 2.43 1.85 1.87
发行人 1.56 1.57 1.79 2.23
公司名称 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
正帆科技 0.68 0.65 0.81 1.04
至纯科技 0.85 0.96 1.08 1.30
速动比率 京仪装备 1.18 2.15 0.79 1.22
中科仪 未披露 2.82 2.16 1.40
平均值 0.90 1.65 1.21 1.24
发行人 1.02 1.20 1.49 2.02
资产负债 公司名称 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
率（合并） 正帆科技 62.57% 62.13% 59.47% 46.77%
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至纯科技 62.73% 57.49% 52.13% 45.92%
京仪装备 45.38% 32.41% 58.44% 49.44%
中科仪 未披露 40.63% 44.24% 49.42%
平均值 56.89% 48.17% 53.57% 47.89%
发行人 55.62% 53.76% 45.19% 38.35%
注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告。中科仪未披露2024年1-9月数据。
报告期各期末，公司的流动比率、速动比率和合并资产负债率与同行业可比公
司整体接近，其中流动比率、速动比率除2021年外略低于可比公司平均值，资产负
债率除2021年外略高于可比公司平均值。主要原因系：2021年公司**公开发行募
集资金到位，公司流动比率、速动比率较高；2022年起，随着公司业务扩张以及固
定资产投入，绿色厂务系统业务项目周期较长，对公司营运资本占用加大，使得流
动比率、速动比率有所下降，低于可比公司平均值。
可比公司中，京仪装备2023年完成**公开发行，募集资金到位使得其2023
年和2024年偿债能力指标较优。正帆科技和至纯科技2022年起业务规模扩张较快，
在执行订单备货及营运资金需求增加使得其2022年起流动比率、速动比率持续下
降，资产负债率持续上升。中科仪主要从事真空泵设备的研发生产和销售，业务执
行对营运资本占用相对较小，使得其偿债能力指标在报告期内保持稳定水平。
（1）银行授信额度充足
截至2024年12月31日，公司尚未使用的银行授信额度为13.22亿元，授信额度
主要来源于**工商银行、**银行、**建设银行等主要国有银行和**性股份
制银行。公司资信情况较好，尚未使用的银行授信额度充足。因此，即使未来公司
的业绩出现**波动，公司持有的货币资金、应收账款、存货等流动资产可以较快
变现，充足的银行授信额度能够保障公司及时获取银行借款，满足公司日常生产经
营活动所需的周转资金，**公司的经营风险，提升公司的偿债能力。随着相关募
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投项目的落地投产，以及公司综合运用包括可转债在内的多种融资工具，公司资本
结构将得到持续改善，公司重大短期偿债风险及流动性风险较小。
为4,500.00万元、15,923.54万元、55,578.94万元及48,031.91万元，公司偿还债务支
付的现金分别为6,100.00万元、4,750.00万元、33,150.00万元及19,325.35万元，债务
融资系公司筹资活动中重要的融资方式。另外，公司目前尚未使用的授信额度，能
够充分覆盖一年内到期的借款。
（2）销售规模持续增长
报 告 期 内 ， 公 司 实 现营 业 收 入 分 别 为 123,302.97 万 元 、 132,847.68 万 元 、
势。发行人日常经营活动的资金需求预计也可通过经营活动产生的现金流入及现有
货币资金进行补充，未来的日常经营活动现金流可保持良性周转。
（3）偿债风险
针对公司的偿债风险，公司已经在募集说明书“第三节 风险因素”之“一、
与发行人相关的风险”之“（三）财务风险”之“4、偿债能力风险”进行充分披露。
七、中介机构核查情况
（一）核查程序
针对上述问题，申报会计师执行了以下核查程序：
情况；获取主要客户应收账款的账龄、逾期和期后回款、坏账计提情况；通过**
息查询主要客户的涉诉、破产信息。
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情况及业务合同中的付款安排；了解报告期内主要客户的结算方式，核查各年度主要
客户的收入确认凭证和回款凭证等，判断客户的回款情况是否发生显著变化；对主要
客户的信用政策、回款情况进行分析，了解公司信用政策并分析报告期内应收账款变
动原因及一年以上未回款的原因。
靠背结算项目与一般项目的回款周期，分析背靠背结算对公司结算周期的影响。
动合理性以及应收账款坏账计提比率与同行业可比公司是否存在重大差异，分析发行
人应收账款坏账准备计提是否充分。
获取公司各报告期末在手订单情况，并与对应期末存货进行比较；查阅公司库龄超
过1年的存货明细，了解公司库龄超过1年存货的形成背景并分析尚未结转的合理
性，分析公司存在大额合同履约成本的合理性；查询可比上市公司存货跌价准备计
提情况，并与公司相关指标进行对比分析，核实公司存货跌价准备计提是否充分；
检查公司存货期后结转情况。
合同，分析公司固定资产、在建工程及使用权资产变动的原因；查阅同行业上市公司
折旧摊销政策，并与公司折旧摊销政策比对分析；分析公司在建工程变动的原因，实
地查看公司主要在建工程的施工状态，了解工程建设进度、预计转固时间，判断是否
存在延期转固情形。
资金的存放情况、受限情况进行复核，银行函证核查比例为100%；查阅**人民银
行存**利率等信息，结合**人民银行公布的存**基准利率，分别对利息收入与
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货币资金的匹配性、利息支出与有息负债的匹配性进行复核；查阅报告期内公司有息
负债明细和相关协议，分析有息负债利息支出的合理性；核查其他货币资金对应的银
行承兑汇票、信用证和保函的相关合同或协议，对票据开立、信用证开立与保证金缴
纳比例进行复核。
细表，对现金流量表各项目的变动趋势进行分析；分析现金流量表中影响经营活动现
金净流量变动的因素，核实经营活动现金净流量波动的原因及合理性，分析经营活动
产生的现金流净额与净利润差异较大的原因以及合理性；查询同行业可比上市公司偿
债能力指标，结合公司资产负债情况及未来偿债安排，分析公司的短期偿债能力及短
期偿债风险。
（二）核查意见
经核查，申报会计师认为：
算管理、资金安排、付款审批流程复杂、背靠背结算等原因回款较慢，使得账龄1
年以上应收账款占比提升。公司应收账款周转率低于正帆科技、京仪装备和中科仪
等同行业公司，与至纯科技接近具有合理性；部分总承包项目实际按照背靠背条款
执行的背景主要系总承包单位为了减小其资金压力和**经营风险，符合行业惯
例，背靠背条款执行使得结算周期拉长。
靠背结算等原因所致；部分客户存在逾期、涉诉、破产等特殊情况，公司对该类信
用状况明显恶化、未来回款可能性较低、已经发生信用减值等信用风险特征明显不
同的应收账款单独进行减值测试，计提坏账准备依据充分；公司与同行业可比公司
的坏账准备计提政策不存在重大差异，公司坏账准备计提充分。
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年的存货形成背景、尚未结转的原因具有合理性；公司存在大额合同履约成本的原
因具有合理性，相关设备尚未安装或完成调试主要系项目合同外变更追加等原因所
致，不涉及纠纷或质量问题，部分项目与合同约定周期存在差异，具有合理性；公
司存货跌价计提充分，与同行业公司不存在较大差异。
和电子及其他设备购入等所致，具有合理性，相关折旧摊销政策与同行业公司不存
在较大差异；公司在建工程变动主要系项目建设所致，在建工程中相关项目建设进
度符合预期，不存在延期转固情形。
目建设资金需求较大，具有合理性，利息收入及支出与存**规模匹配，公司受限
资金规模与银行承兑汇票、借款规模等匹配。
要系经营性应收项目的增加、存货的增加所致，原因具有合理性。公司短期偿债风
险较小。
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问题3.3：关于业务及经营情况
根据申报材料，2021至2023年度，公司加权平均净资产收益率（扣非后）分别
为12.05%、8.61%及9.66%。
请发行人结合**业绩情况、折旧摊销、费用确认、减值计提等具体内容，分
析公司是否存在可能影响加权平均净资产收益率的因素，是否持续满足向不特定对
象发行可转债相关条件。
请保荐机构及申报会计师进行核查并发表明确意见，说明核查方法、核查比例
及核查依据。
【回复】
一、报告期内公司业绩情况和**业绩情况
（一）最近三年及一期公司业绩情况
报告期内，公司整体业绩经营情况较好，其中2021年至2023年度年均实现营业
收入规模为14.63亿元，年均实现净利润规模为1.49亿元，具体情况如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
营业收入 99,367.51 182,599.81 132,847.68 123,302.97
营业成本 70,446.14 134,026.16 95,637.24 89,746.06
税金及附加 450.86 985.98 607.57 604.18
销售费用 5,398.45 8,347.52 6,909.23 4,439.09
管理费用 6,427.83 7,351.00 5,250.30 4,336.52
研发费用 6,627.59 10,215.76 7,333.12 5,618.64
财务费用 875.02 708.75 -200.39 -323.51
其他收益 2,190.99 3,414.99 737.64 850.96
投资收益（损失以“-”
-31.94 -7.06 264.45 295.20
号填列）
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项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
公允价值变动收益
- - - 72.90
（损失以“-”号填列）
信用减值损失（损失
-1,681.55 -5,263.37 -4,936.25 -2,912.57
以“-”填列）
资产减值损失（损失
-75.39 -1,175.90 711.41 303.03
以“-”填列）
资产处置收益（损失
以“-”填列）
营业利润 9,544.07 17,932.65 14,087.86 17,484.70
营业外收入 6.80 76.74 96.08 0.50
营业外支出 179.52 49.19 34.00 121.00
利润总额 9,371.34 17,960.19 14,149.94 17,364.20
所得税费用 183.53 1,418.06 1,118.84 2,129.10
净利润 9,187.82 16,542.13 13,031.11 15,235.10
归属于母公司股东
的净利润
非经常性损益 1,204.36 1,996.18 1,091.76 1,035.54
归属于母公司股东
的扣除非经常性损 7,942.66 14,548.05 11,939.35 14,199.56
益的净利润
扣除非经常性损益
前加权平均净资产 5.66% 10.98% 9.40% 12.93%
收益率
扣除非经常性损益
后加权平均净资产 4.92% 9.66% 8.61% 12.05%
收益率
益后的净利润呈现**波动。
系2021年下半年开始，随着需求增长放缓，面板价格开始回调；2022年以来**局
势动荡、全球通胀等影响消费预期，使得下游需求回落，半导体显示相关项目投产
减少，半导体显示领域毛利率受行业周期影响存在**下滑，因此当期公司大力开
拓集成电路和新能源领域客户，公司绿色厂务系统毛利率下降1.62个百分点，同时
销售费用率和研发费用率合计上升2.56个百分点。
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利润上升趋势基本一致，净利润增幅略低于营业收入的增幅主要原因系公司绿色厂
务系统毛利率下降1.61个百分点，同时研发费用率上升2.17个百分点。
属地化配套，新建广东惠州基地和湖北孝感基地，通过引入新型生产设备提升产品
生产效率并节省材料损耗，有效**单位生产成本、节省产品物流运输费用。
报告期内，公司业务毛利率变动分析详见本问询回复之“问题3.1：关于业务
及经营情况”之“一”之“（一）
”内容，公司期间费用率变动分析详见本问询回复
之“问题3.3：关于业务及经营情况”之“二”之“（二）”内容。
（二）报告期内公司非经常性损益变动情况
报告期内，公司非经常性损益整体对净利润影响较小，2021年至2023年年均归
属于母公司股东的非经常性损益净额为1,374.49万元，占归属于母公司股东的净利
润的比例平均为9.08%，具体明细如下：
单位：万元
项目
月 年度 年度 年度
非流动性资产处置损益，包括已计提资产减值
-197.63 -48.85 - -6.81
准备的冲销部分
计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营
业务密切相关、符合**政策规定、按照确定
的标准享有、对公司损益产生持续影响的政府
补助除外
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业
务外，非金融企业持有金融资产和金融负债产
- 46.03 324.50 534.64
生的公允价值变动损益以及处置金融资产和金
融负债产生的损益
单独进行减值测试的应收款项减值准备转回 192.54 - - -
因税收、会计等法律、法规的调整对当期损益
- - 175.67 -
产生的一次性影响
除上述各项之外的其他营业外收入和支出 -20.63 -0.01 -25.19 -120.50
其他符合非经常性损益定义的损益项目 16.40 18.58 15.49 6.92
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项目
月 年度 年度 年度
小计 1,392.35 2,328.96 1,299.89 1,258.28
减：所得税影响额 157.47 327.24 208.13 222.74
少数股东损益影响额(税后) 30.51 5.54 - -
归属于母公司股东的非经常性损益净额 1,204.36 1,996.18 1,091.76 1,035.54
占归属于母公司股东的净利润的比例 13.17% 12.07% 8.38% 6.80%
报告期内，公司非经常性损益金额占归属于母公司股东的净利润的比例相对较
小，对加权平均净资产收益率的波动影响较小，公司非经常损益主要来自于政府补
助。
二、报告期内公司折旧摊销、费用、减值计提情况
（一）报告期内公司折旧摊销情况
报告期内，公司折旧摊销金额整体规模较小，对净利润的影响较小，其中公司
平均为1.68%，具体情况如下：
单位：万元
项目 占营业 占营业 占营业 占营业
金额 收入比 金额 收入比 金额 收入比 金额 收入比
例 例 例 例
固定资
产折旧
使用权
资产折 986.69 0.99% 883.48 0.48% 717.63 0.54% 296.02 0.24%
旧
无形资
产折旧
长期待
摊费用 262.70 0.26% 266.20 0.15% 73.28 0.06% - 0.00%
摊销
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合计 3,946.64 3.97% 4,064.10 2.23% 2,222.59 1.67% 1,399.83 1.14%
报告期内，公司折旧摊销金额随营业收入规模增长而持续增加，折旧摊销占营
业收入比重呈持续上升趋势。公司固定资产、无形资产和长期待摊费用增加主要系
公司为生产、研发所购置的厂房、设备、软件和装修等增加所致；公司使用权资产
增加主要系公司为生产、研发所租赁的厂房等增加所致。
为固定资产，导致2022年和2023年折旧摊销金额较2021年大幅增长。
公司折旧摊销金额影响**的因素是固定资产折旧，公司固定资产折旧年限主
要根据自身经营状况进行确定，并综合考虑行业内的普遍状况，具体折旧年限与同
行业可比公司比较情况如下：
类型 项目 正帆科技 至纯科技 京仪装备 中科仪 盛剑科技
折旧方法 年限平均法 年限平均法 - 年限平均法 年限平均法
房屋及建
折旧年限（年） 20 20 - 40 20-30
筑物
残值率（%） 5 5 - 5 5
折旧方法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法
机器设备 折旧年限（年） 5-10 10 10 5-14 5-10
残值率（%） 5 5 5 5 5
折旧方法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法
电子及其
折旧年限（年） 3-5 3-5 3-5 5-8 3-5
他设备
残值率（%） 5 5 5 5 5
折旧方法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法 年限平均法
运输工具 折旧年限（年） 4 4-7 10 5-10 3-5
残值率（%） 5 5 5 5 5
注：同行业可比公司数据来源于公开披露的定期报告
报告期内，公司固定资产折旧执行的会计估计与公司实际经营情况相符，固定
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资产折旧方法、折旧年限、残值率等与同行业公司不存在重大差异。
（二）报告期内公司期间费用率变化
报告期内，公司期间费用整体规模较大，对公司净利润影响金额较大，具体情
况如下：
单位：万元
项目
金额 费用率 金额 费用率 金额 费用率 金额 费用率
销售费用 5,398.45 5.43% 8,347.52 4.57% 6,909.23 5.20% 4,439.09 3.60%
管理费用 6,427.83 6.47% 7,351.00 4.03% 5,250.30 3.95% 4,336.52 3.52%
研发费用 6,627.59 6.67% 10,215.76 5.59% 7,333.12 5.52% 5,618.64 4.56%
财务费用 875.02 0.88% 708.75 0.39% -200.39 -0.15% -323.51 -0.26%
合计 19,328.89 19.45% 26,623.02 14.58% 19,292.26 14.52% 14,070.73 11.41%
注：费用率=期间费用/营业总收入
呈上升趋势。
报告期内，公司销售费用分别为4,439.09万元、6,909.23万元、8,347.52万元和
模扩大，销售人员增加，工资及福利费用随之增长；2、为增加销售规模，公司加
大客户开拓力度，导致业务招待费增加；3、随着公司业务规模扩大，相关安装及
售后维护费用增加。
报告期内，公司管理费用分别为4,336.52万元、5,250.30万元、7,351.00万元和
发**及配套办公基地建设工程达到预定可使用状态，公司管理和研发等部门搬入
新办公室，使得折旧摊销及办公费用增加；2、公司业务规模增加，管理人员职工
薪酬增加。
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报告期内，公司研发费用分别为5,618.64万元、7,333.12万元、10,215.76万元和
司技术迭代和产品升级，公司通过持续加大研发投入，以保持产品的市场竞争力，
公司研发人员数量持续增加，职工薪酬随之增长；2、公司秉持“行业延伸 产品
延伸”的发展战略，进一步深化在半导体产业链的延伸布局，加大在半导体附属设
备及关键零部件相关领域的研发及验证测试投入。
报告期内，公司财务费用分别为-323.51万元、-200.39万元、708.75万元和875.02
万元，主要包括利息费用、利息收入、手续费支出和汇兑损益等，财务费用一直保
持在较低水平。2021年至2023年，公司利息费用呈**上升趋势，主要系公司根据
业务发展和项目建设需求，银行借款增加所致。
（三）报告期内公司减值计提情况
报告期内，公司信用减值和资产减值整体对公司净利润影响较大，其中2021
年至2023年信用减值损失和资产减值损失平均金额为4,424.55万元，对净利润的平
均影响比例为-29.49%，具体情况如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
一、信用减值损失
应收票据坏账损失 -31.52 -8.75 -6.25 6.21
应收账款坏账损失 -1,578.73 -5,347.22 -4,849.44 -2,887.54
其他应收款坏账损失 -71.30 92.60 -80.56 -31.24
二、资产减值损失
存货跌价损失及合同履约
-16.13 -780.35 -509.54 -95.76
成本减值损失
合同资产减值损失 -59.26 -395.54 1,220.95 398.79
合计 -1,756.94 -6,439.27 -4,224.84 -2,609.53
由上表可知，公司减值计提主要包括应收账款坏账损失、存货跌价损失及合同
履约成本减值损失和合同资产减值损失等。
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报告期内，公司信用减值损失主要系应收账款坏账准备。
报告期内，公司应收账款坏账准备金额持续增长，主要原因系随着业务销售规
模提升，应收账款余额持续增长，使得按照账龄计提的应收账款坏账损失增加。公
司下游客户为大型国企、知名上市公司或行业龙头，信用状况较好，坏账风险可能
性较小。
报告期内，公司应收款项坏账计提政策与同行业可比公司不存在明显差异，应
收账款坏账计提比例均高于可比公司平均值，不存在应计提未计提的信用减值损
失。
公司应收账款的具体情况详见本问询回复“问题3.2”之“二、报告期内公司
应收账款回款情况，部分客户大额未回款的原因，以及涉诉、破产、逾期情况，是
否已出现较大信用风险，对于该类客户的坏账计提情况及依据，结合同行业可比公
司计提，分析公司坏账准备计提是否充分”内容。
截至报告期末，公司存货状况良好，存货跌价准备计提充分，存货跌价准备计
提比例与同行业公司相比不存在较大差异，不存在应计提未计提的资产减值损失。
公司存货跌价损失及合同履约成本减值损失具体情况详见本问询回复“问题
年存货的形成背景、尚未结转的合理性，公司存在大额合同履约成本的原因，相关
设备尚未安装或完成调试的影响因素，是否涉及纠纷或质量问题，与合同约定周期
是否存在差异；结合公司在手订单、存货库龄、期后结转情况等，说明公司存货跌
价计提是否充分，与同行业公司是否存在较大差异”内容。
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合同资产主要系尚未达到收款条件的质保金。2021年和2022年，公司合同资产
减值损失发生净转回，主要系部分质保金达到收款条件，转入应收账款或已回款所
致。公司按照信用风险特征组合计提减值准备，合同资产相关减值已充分计提。
三、分析公司是否存在可能大幅影响加权平均净资产收益率的因素，是否持续
满足向不特定对象发行可转债相关条件
发行人2021年度、2022年度和2023年度净利润（扣除非经常性损益后孰低）分
别为14,199.56万元、11,939.35万元和14,548.05万元，最近三年持续盈利；发行人2021
年度、2022年度和2023年度加权平均净资产收益率（扣除非经常性损益后孰低）分
别为12.05%、8.61%和9.66%，平均值为10.11%。2024年1-9月加权平均净资产收益
率（扣除非经常性损益后孰低）为4.92%，按年化测算公司2024年度加权平均净资
产收益率（扣除非经常性损益后孰低）为6.56%。
报告期内公司经营状况良好，业绩保持增长趋势；公司期间费用金额随营业规
模增长，与公司业务规模相匹配；公司折旧摊销政策、应收账款坏账和存货跌价计
提比例与同行业可比上市公司相比不存在较大差异，不存在可能大幅影响加权平均
净资产收益率的因素。
公司客户群体较为稳定，结合公司以前年度收入确认分布情况，第四季度收入
通常占比较大；同时，截至2024年9月30日，公司在手订单金额合计109,349.60万元
（含税），因此，公司预计2024年度业务规模将保持稳健的态势。按扣除非经常性
损益前后孰低的净利润计算，2022-2024年加权平均净资产收益率平均值预计不低
于6%，将持续满足向不特定对象发行可转债的盈利要求。
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四、中介机构核查情况
（一）核查程序
针对上述问题，申报会计师执行了以下核查程序：
常性损益具体内容以及折旧摊销、费用确认、减值计提等具体内容。
变化情况、企业市场开拓能力等分析业绩变化情况。
（二）核查意见
经核查，申报会计师认为：
业务规模增长匹配，不存在可能大幅影响加权平均净资产收益率的因素。
益前后孰低的净利润计算，公司预计2022-2024年加权平均净资产收益率平均值不
低于6%，能够满足向不特定对象发行可转债的盈利要求。
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问题4：关于财务性投资
根据申报材料，报告期末，公司其他权益工具投资为5,818.27万元，主要系投
资成都瑞波科光电有限公司、西安奕斯伟材料科技股份有限公司。
请发行人说明：
（1）相关对外投资标的在业务、技术等方面与公司主营业务的
具体关联及协同情况，是否属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资；
（2）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财务性投
资情况，是否从本次募集资金总额中扣除，结合相关投资情况分析公司是否满足最
近一期末不存在金额较大财务性投资的要求。
请保荐机构及申报会计师根据《证券期货法律适用意见**8号》**条进行核
查并发表明确意见。
【回复】
一、相关对外投资标的在业务、技术等方面与公司主营业务的具体关联及协同
情况，是否属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资
截至报告期末，公司其他权益工具投资为5,818.27万元，主要为公司对成都瑞
波科和西安奕斯伟的股权投资。
（一）成都瑞波科在业务、技术等方面与公司主营业务的具体关联及协同情况，
公司对其投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资
成都瑞波科光电有限公司提供半导体显示领域的光学解决方案，该公司致力于
显示光学解决方案（OLED 位相延迟片等）的研究和生产，主要的技术方向为显示
屏表面处理技术、显示屏位相差膜和车载抬头显示光波导解决方案。
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提升公司产品在成都瑞波科后续业务合作的竞争力
成都瑞波科是半导体行业新型显示科技企业，其“瑞波科总部及高机能半导体
材料研发制造基地项目”之一期拟建设光学膜生产线，光学膜生产线之首条产线已
于2024年上半年完成设备安装。
成都瑞波科生产过程中会产生酸性废气、碱性废气和有机废气等工艺废气，因
此其生产经营中需绿色厂务系统进行工艺废气处理，本次投资可以提升公司产品在
成都瑞波科后续业务合作的竞争力。
截至本问询回复出具之日，公司已与成都瑞波科全资子公司成都瑞波科材料科
技有限公司签署《战略合作框架协议》，双方约定成都瑞波科在其新工厂投建和现
有工厂改扩建前，优先与公司进行技术交流，优先采购公司绿色厂务系统产品与服
务。
户基本一致，双方在客户渠道上可以进一步协同
成都瑞波科主要客户为半导体显示公司，公司深耕半导体工艺废气治理领域多
年，持续服务于京东方、华星光电、惠科光电、天马微电子等业内领军企业，成都
瑞波科主要客户与公司在半导体显示领域主要客户基本一致，双方在客户渠道上可
以进一步协同。
截至本问询回复出具之日，公司已与成都瑞波科全资子公司成都瑞波科材料科
技有限公司签署《战略合作框架协议》，双方约定将积极交流、分享丰富的行业经
验、优质的客户资源，促进双方业务的快速发展。
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导体显示材料的技术交流，提升公司在半导体显示材料的技术竞争力
公司积极布局电子化学品材料业务，公司电子化学品材料主要规划聚焦于剥离
液、蚀刻液、清洗液等，下游应用领域包括集成电路、半导体显示等，主要用于显
影、蚀刻、清洗等制造工艺。
成都瑞波科产品为半导体显示前端关键材料，本次投资可以加强双方在半导体
显示材料的技术交流，提升公司在半导体显示材料的技术竞争力。
截至本问询回复出具之日，公司已与成都瑞波科全资子公司成都瑞波科材料科
技有限公司签署《战略合作框架协议》，双方约定在半导体附属设备及关键零部件
新产品开发、新技术探讨、客户验证、产品采购及售后运维服务体系搭建等领域加
强交流探讨与业务合作，促进各自技术与管理水平的进一步提升；在半导体材料领
域联合攻关、联合研发及共同开发进一步深化合作。
因此，公司对成都瑞波科的投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产
业投资。
（二）西安奕斯伟在业务、技术等方面与公司主营业务的具体关联及协同情况，
公司对其投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资
西安奕斯伟专注于12英寸硅片的研发、生产和销售，基于截至2024年三季度末
产能和2023年月均出货量统计，西安奕斯伟均为**大陆**的12英寸硅片厂商，
相应产能和月均出货量同期全球占比分别约为7%和4%。西安奕斯伟产品广泛应用
于 NAND Flash/DRAM/Nor Flash 等存储芯片、CPU/GPU/手机 SOC/嵌入式 MCU
等逻辑芯片、电源管理、显示驱动、CIS 等多个品类芯片制造，**应用于智能手
机、个人电脑、数据**、物联网、智能汽车等终端产品。
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次投资可以提升公司产品在西安奕斯伟及其关联方业务合作的竞争力
西安奕斯伟生产过程中会产生酸性废气、碱性废气、外延废气等工艺废气，因
此其生产经营中需绿色厂务系统进行工艺废气处理。西安奕斯伟控股股东为北京奕
斯伟科技集团有限公司，除12英寸硅片业务外，北京奕斯伟科技集团有限公司其他
业务为芯片研发设计及销售业务、板级系统封测业务、显示驱动芯片封测业务等相
关业务。报告期内，公司对西安奕斯伟及其关联方销售绿色厂务系统形成收入情况
如下：
单位：万元
项目 2024年1-9月 2023年度 2022年度 2021年度
销售收入 1,665.49 3,310.59 1,376.29 -
根据西安奕斯伟未来发展规划，其到2035年将打造2至3个核心制造基地、若干
座现代化的智能制造工厂，实现更优经济规模。
公司深耕半导体工艺废气治理领域多年，持续服务于半导体领军企业，积累了
**的设计能力、专业的管理团队及丰富的实战经验，奠定了公司在**半导体产
业工艺废气治理领域较高的行业地位。本次投资可以提升公司产品在西安奕斯伟及
其关联方业务合作的竞争力。
截至本问询回复出具之日，公司已与西安奕斯伟达成战略合作关系，如西安奕
斯伟后续有绿色厂务系统相关需求，双方将深入进行业务合作探讨。
致，双方在客户渠道上可以进一步协同
西安奕斯伟主要客户为集成电路晶圆代工厂商和存储 IDM 厂商，公司深耕半
导体工艺废气治理领域多年，持续服务于中芯**、华虹半导体、格科微、卓胜微、
长电科技、士兰微电子等业内领军企业，西安奕斯伟主要客户与公司在集成电路领
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域主要客户基本一致，双方在客户渠道上可以进一步协同。
制造行业的技术竞争力
基于**明确的晶圆厂扩建计划，预计2026年**大陆地区对12英寸硅片的需
求将超过300万片/月，占届时全球12英寸硅片需求的1/3，其中以中芯**、华虹
集团、长江存储、长鑫存储为代表的**内资晶圆厂12英寸硅片需求将超过260万
片/月。
本次投资后，公司将加强双方在半导体制造行业的技术交流，提高公司在半导
体制造行业的技术竞争力。
截至本问询回复出具之日，公司已与西安奕斯伟达成战略合作关系，西安奕斯
伟积极为公司半导体制程附属设备及关键零部件产品（工艺废气处理设备、温控设
备、真空设备等）提供应用场景、验证测试等便利条件；在半导体材料方面，双方
达成技术合作和产品联合开发意向。
因此，公司对西安奕斯伟的投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产
业投资。
二、本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财务性
投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除
可转债发行的相关议案，本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前，发行人不
存在新投入和拟投入的财务性投资。
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（一）财务性投资及类金融业务认定标准
根据《证券期货法律适用意见**8号》**条的相关规定，财务性投资的认定
如下：
（1）财务性投资包括但不限于：投资类金融业务；非金融企业投资金融业务
（不包括投资前后持股比例未增加的对集团财务公司的投资）；与公司主营业务无
关的股权投资；投资产业基金、并购基金；拆借资金；委托**；购买收益波动大
且风险较高的金融产品等。
（2）围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠道为目的的产业投资，以收
购或者整合为目的的并购投资，以拓展客户、渠道为目的的拆借资金、委托**，
如符合公司主营业务及战略发展方向，不界定为财务性投资。
（3）上市公司及其子公司参股类金融公司的，适用本条要求；经营类金融业
务的不适用本条，经营类金融业务是指将类金融业务收入纳入合并报表。
（4）基于历史原因，通过发起设立、政策性重组等形成且短期难以清退的财
务性投资，不纳入财务性投资计算口径。
（5）金额较大是指，公司已持有和拟持有的财务性投资金额超过公司合并报
表归属于母公司净资产的百分之三十（不包括对合并报表范围内的类金融业务的投
资金额）。
（6）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入和拟投入的财务性
投资金额应当从本次募集资金总额中扣除。投入是指支付投资资金、披露投资意向
或者签订投资协议等。
（7）发行人应当结合前述情况，准确披露截至最近一期末不存在金额较大的
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财务性投资的基本情况。
根据《监管规则适用指引――发行类第7号》**条的相关规定，除人民银行、
银**、证监会批准从事金融业务的持牌机构为金融机构外，其他从事金融活动
的机构均为类金融机构。类金融业务包括但不限于：融资租赁、融资担保、商业保
理、典当及小额**等业务。
与公司主营业务发展密切相关，符合业态所需、行业发展惯例及产业政策的融
资租赁、商业保理及供应链金融，暂不纳入类金融业务计算口径。
（二）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行前新投入的和拟投入的财务
性投资情况，是否从本次募集资金总额中扣除
公司于2024年1月22日召开第二届董事会第二十九次会议，审议通过本次向不
特定对象发行可转债的相关事项。自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今
（即自2023年7月22日至今），经过逐项对照核查，公司不存在已实施或拟实施的财
务性投资与类金融业务，具体分析如下：
公司主营业务为专注于半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工
制造、系统集成及运维管理，不属于类金融机构，未进行类金融业务。
发行人不存在投资金融业务的情况。
自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人不存在与公司主营业务
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无关的股权投资的情况。
截至最近一期期末，公司对外投资情况如下表：
出资时点 被投资方 持股比例 会计处理方法
自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人投资西安奕斯伟并持有
西安奕斯伟0.06%股权，投资金额为1,500.00万元，该项投资属于公司主营业务相
关的股权投资，具体分析详见本题回复之“一、相关对外投资标的在业务、技术等
方面与公司主营业务的具体关联及协同情况，是否属于围绕产业链上下游以获取渠
道为目的的产业投资”之“（二）西安奕斯伟在业务、技术等方面与公司主营业务
的具体关联及协同情况，公司对其投资属于围绕产业链上下游以获取渠道为目的的
产业投资”内容。
发行人投资成都瑞波科的时间为2022年6月，在自本次发行相关董事会决议日
前六个月之日（即2023年7月22日）之前。
因此，发行人上述股权投资均不属于本次发行相关董事会决议日前六个月起至
今与公司主营业务无关的股权投资，相关金额无需从本次募集资金总额中扣除。
自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人不存在设立或投资产业
基金、并购基金的情形。
自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，发行人未发生拆借资金。
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自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，公司不存在将资金以委托**
的形式借予他人的情况。
自本次发行相关董事会决议日前六个月起至今，公司不存在购买收益波动大且
风险较高的金融产品的情形。
截至本问询回复出具之日，公司不存在拟实施财务性投资的相关安排。
自本次发行董事会前六个月至本问询回复出具之日，公司不存在其他对外投资
情况，公司不存在拟实施的财务性投资。
三、公司最近一期末不存在持有财务性投资情况，满足最近一期末不存在金额
较大财务性投资的要求
公司最近一期末不存在持有财务性投资情况，截至最近一年末和最近一期末，
公司可能涉及财务性投资的主要会计科目情况如下：
单位：万元
项目 2024年9月30日 2023年12月31日 是否为财务性投资
其他应收款 1,789.09 1,182.34 否
其他流动资产 6,218.18 2,547.32 否
其他权益工具投资 5,818.27 4,318.27 否
其他非流动资产 11,354.25 6,577.43 否
（1）其他应收款
截至最近一年末和最近一期末，公司其他应收款具体如下：
单位：万元
项目 2024年9月30日 2023年12月31日 是否为财务性投资
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保证金、押金 1,046.64 1,065.80 否
备用金 858.53 157.38 否
其他 45.47 49.41 否
其他应收款余额 1,950.63 1,272.59 否
减：坏账准备 161.54 90.24 /
其他应收款账面净值 1,789.09 1,182.35 /
其他应收款按款项性质分类主要为保证金、押金及备用金等，公司保证金、押
金主要系公司业务开展过程中根据要求提供的投标保证金、租赁押金等。备用金主
要系公司员工在拓展业务过程中如出差、业务招待等提前领用的备用资金。因此，
其他应收款不属于财务性投资。
（2）其他流动资产
截至最近一年末和最近一期末，公司其他流动资产具体如下：
单位：万元
项目 2024年9月30日 2023年12月31日 是否为财务性投资
预付费用 487.10 576.55 否
待抵扣进项税 3,905.87 1,948.71 否
预缴税费 1,825.22 22.06 否
合计 6,218.18 2,547.32 /
公司其他流动资产主要为增值税待抵扣进项税、预缴所得税、房租及其他，其
他流动资产不属于财务性投资。
（3）其他权益工具投资
截至最近一年末和最近一期末，公司其他权益工具投资具体情况如下：
单位：万元
项目 2024年9月30日 2023年12月31日 是否为财务性投资
成都瑞波科光电有限
公司
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项目 2024年9月30日 2023年12月31日 是否为财务性投资
西安奕斯伟材料科技
股份有限公司
合计 5,818.27 4,318.27 /
学解决方案（OLED 位相延迟片等）的研究和生产，主要的技术方向为显示屏表面
处理技术、显示屏位相差膜和车载抬头显示光波导解决方案。该公司研发的高端光
学膜主要应用于 LCD、OLED 等半导体显示领域，其与公司半导体显示业务具有
潜在的产业协同。
主要从事12英寸硅单晶抛光片和外延片的研发、制造与销售。产品广泛应用于电子
通讯、新能源汽车、人工智能等领域所需要的存储芯片、逻辑芯片、图像传感器、
显示驱动芯片及功率器件等。其与公司集成电路业务具有潜在的产业协同。
公司其他权益工具投资属于在半导体显示及集成电路领域或产业链上下游的
产业投资，系围绕产业链上下游以获取渠道为目的的产业投资。成都瑞波科光电有
限公司、西安奕斯伟材料科技股份有限公司与公司在渠道等方面具有协同作用，符
合公司主营业务及战略发展方向，不属于财务性投资。
（4）其他非流动资产
截至最近一年末和最近一期末，公司其他非流动资产情况如下：
单位：万元
项目 2024年9月30日 2023年12月31日 是否为财务性投资
合同资产 7,005.24 6,742.29 否
预付长期资产款 5,049.54 509.37 否
合计 12,054.78 7,251.66 否
减：减值准备 700.52 674.23 /
账面净值 11,354.25 6,577.43 /
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公司其他非流动资产中，合同资产系已确认收入但尚未超过质保期且到期期限
一年以上的应收质保金款项；预付长期资产款系公司预付的设备等长期资产款项。
因此，公司其他非流动资产不属于财务性投资。
综上所述，公司最近一期末及最近一年末不存在金额较大的财务性投资。
四、中介机构核查情况
（一）核查程序
针对上述问题，申报会计师执行了以下核查程序：
发行类第7号》**条等关于财务性投资及类金融业务的相关规定及问答，了解财务
性投资（包括类金融业务）认定的要求并进行逐条核查。
议日前六个月至今，发行人是否存在实施或拟实施财务性投资及类金融业务的情
况。
和原因。
况等。
（二）核查意见
经核查，申报会计师认为：
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目的的产业投资，符合公司主营业务及战略发展方向，不属于财务性投资。
施或拟实施的财务性投资及类金融业务的情形，不涉及须扣减募集资金规模的情
形；发行人最近一期末不存在持有金额较大、期限较长的财务性投资的情形。
适用指引――发行类第7号》**条的相关规定，具体如下：
《证券期货法律适用意见**8号》**条 发行人情况
（一）财务性投资包括但不限于：投资类金融业务；
非金融企业投资金融业务（不包括投资前后持股比
截至报告期末，发行人不存在《证券期
例未增加的对集团财务公司的投资）；与公司主营业
货法律适用意见**8号》**条列示的财
务无关的股权投资；投资产业基金、并购基金；拆
务性投资。
借资金；委托**；购买收益波动大且风险较高的
金融产品等。
（二）围绕产业链上下游以获取技术、原料或者渠
公司对外投资属于围绕产业链上下游以
道为目的的产业投资，以收购或者整合为目的的并
获取技术、原料或者渠道为目的的产业
购投资，以拓展客户、渠道为目的的拆借资金、委
投资，符合公司主营业务及战略发展方
托**，如符合公司主营业务及战略发展方向，不
向，不属于财务性投资。
界定为财务性投资。
（三）上市公司及其子公司参股类金融公司的，适
截至报告期末，发行人不存在参股类金
用本条要求；经营类金融业务的不适用本条，经营
融公司的情形。
类金融业务是指将类金融业务收入纳入合并报表。
（四）基于历史原因，通过发起设立、政策性重组
截至报告期末，发行人不存在基于历史
等形成且短期难以清退的财务性投资，不纳入财务
原因形成的财务性投资。
性投资计算口径。
（五）金额较大是指，公司已持有和拟持有的财务
性投资金额超过公司合并报表归属于母公司净资产
发行人不存在财务性投资事项。
的百分之三十（不包括对合并报表范围内的类金融
业务的投资金额）。
（六）本次发行董事会决议日前六个月至本次发行
自本次发行董事会决议日前六个月至
前新投入和拟投入的财务性投资金额应当从本次募
今，发行人不存在实施或拟实施财务性
集资金总额中扣除。投入是指支付投资资金、披露
投资。
投资意向或者签订投资协议等。
（七）发行人应当结合前述情况，准确披露截至最
近一期末不存在金额较大的财务性投资的基本情 发行人不存在财务性投资事项。
况。
《监管规则适用指引――发行类第7号》**条 发行人情况
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（一）除人民银行、银**、证监会批准从事金
融业务的持牌机构为金融机构外，其他从事金融活
截至报告期末，发行人不存在类金融业
动的机构均为类金融机构。类金融业务包括但不限
务。
于：融资租赁、融资担保、商业保理、典当及小额
**等业务。
（二）发行人应披露募集资金未直接或变相用于类
金融业务的情况。对于虽包括类金融业务，但类金
融业务收入、利润占比均低于30%，且符合下列条件
后可推进审核工作：
发行人本次募集资金不存在直接或变相
投入和拟投入类金融业务的金额（包含增资、借款
用于类金融业务的情形
等各种形式的资金投入）应从本次募集资金总额中
扣除。
到位36个月内，不再新增对类金融业务的资金投入
（包含增资、借款等各种形式的资金投入）。
（三）与公司主营业务发展密切相关，符合业态所
需、行业发展惯例及产业政策的融资租赁、商业保
理及供应链金融，暂不纳入类金融业务计算口径。
发行人应结合融资租赁、商业保理以及供应链金融 截至报告期末，发行人不存在类金融业
的具体经营内容、服务对象、盈利来源，以及上述 务。
业务与公司主营业务或主要产品之间的关系，论证
说明该业务是否有利于服务实体经济，是否属于行
业发展所需或符合行业惯例。
（四）保荐机构应就发行人最近一年一期类金融业
务的内容、模式、规模等基本情况及相关风险、债
截至报告期末，发行人不存在类金融业
务偿付能力及经营合规性进行核查并发表明确意
务。
见，律师应就发行人最近一年一期类金融业务的经
营合规性进行核查并发表明确意见。
专此说明，请予审核。
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(此页无正文)
中汇会计师事务所(特殊普通合伙) **注册会计师：
**・杭州 **注册会计师：
报告日期：2025年3月13日
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